Les composants de granit ont été largement utilisés dans le processus de fabrication de semi-conducteurs en raison de leurs excellentes caractéristiques telles que la finition de surface supérieure, la rigidité élevée et l'excellent amortissement de vibration. Les composants de granit sont essentiels pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs, y compris les machines de lithographie, les machines de polissage et les systèmes de métrologie car ils offrent un positionnement et une stabilité de précision pendant le processus de fabrication. Malgré tous les avantages de l'utilisation de composants de granit, ils ont également des défauts. Dans cet article, nous discuterons des défauts des composants de granit pour les produits du processus de fabrication de semi-conducteurs.
Premièrement, les composants du granit ont un coefficient de dilatation thermique élevé. Cela signifie qu'ils se développent considérablement sous contrainte thermique, ce qui pourrait entraîner des problèmes pendant le processus de fabrication. Le processus de fabrication de semi-conducteurs nécessite une précision élevée et dimensionnelle qui pourrait être compromise en raison de la contrainte thermique. Par exemple, la déformation de la tranche de silicium due à une expansion thermique pourrait provoquer des problèmes d'alignement pendant la lithographie, ce qui pourrait compromettre la qualité du dispositif semi-conducteur.
Deuxièmement, les composants de granit ont des défauts de porosité qui pourraient provoquer des fuites de vide dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. La présence d'air ou de tout autre gaz dans le système pourrait provoquer une contamination à la surface de la tranche, entraînant des défauts qui pourraient affecter les performances du dispositif semi-conducteur. Les gaz inertes tels que l'argon et l'hélium pourraient s'infiltrer dans des composants de granit poreux et créer des bulles de gaz qui pourraient interférer avec l'intégrité du processus de vide.
Troisièmement, les composants de granit ont des microfractures qui pourraient interférer avec la précision du processus de fabrication. Le granit est un matériau cassant qui pourrait développer des microfractures au fil du temps, en particulier lorsqu'ils sont exposés à des cycles de contrainte constants. La présence de microfractures pourrait entraîner une instabilité dimensionnelle, provoquant des problèmes importants pendant le processus de fabrication, tels que l'alignement de la lithographie ou le polissage.
Quatrièmement, les composants en granit ont une flexibilité limitée. Le processus de fabrication de semi-conducteurs nécessite un équipement flexible qui pourrait s'adapter à différents changements de processus. Cependant, les composants de granit sont rigides et ne peuvent pas s'adapter à différents changements de processus. Par conséquent, tout changement dans le processus de fabrication nécessite l'élimination ou le remplacement des composants de granit, conduisant à des temps d'arrêt et à affecter la productivité.
Cinquièmement, les composants de granit nécessitent une manipulation et un transport spéciaux en raison de leur poids et de leur fragilité. Le granit est un matériau dense et lourd qui nécessite un équipement de manutention spécialisé tel que les grues et les haltérophiles. De plus, les composants de granit nécessitent un emballage et un transport soigneux pour éviter les dommages pendant l'expédition, ce qui entraîne des coûts et du temps supplémentaires.
En conclusion, les composants de granit présentent certains inconvénients qui pourraient affecter la qualité et la productivité des produits de la fabrication de semi-conducteurs. Ces défauts pourraient être minimisés grâce à une manipulation et un maintien soigneux des composants de granit, y compris une inspection périodique pour les microfractures et les défauts de porosité, un nettoyage approprié pour éviter la contamination et une manipulation soigneuse pendant le transport. Malgré les défauts, les composants du granit restent une partie vitale du processus de fabrication de semi-conducteurs en raison de leur finition de surface supérieure, de leur rigidité élevée et de leur excellent amortissement des vibrations.
Heure du poste: DEC-05-2023