Le granit est un matériau dur et durable souvent utilisé dans le secteur de la construction.Cependant, il possède également des propriétés qui le rendent utile dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans la fabrication et le traitement de circuits intégrés.Les composants en granit, tels que les tables en granit et les blocs de granit, sont largement utilisés pour leur stabilité, leur planéité et leur faible coefficient de dilatation thermique.
L’une des principales utilisations des composants en granit dans la fabrication de semi-conducteurs réside dans le processus de fabrication.Les plaquettes de silicium, éléments de base des circuits intégrés, doivent être fabriquées avec une grande précision et exactitude.Toute distorsion ou mouvement au cours du processus peut entraîner des défauts pouvant affecter la qualité et la fonctionnalité des circuits intégrés.Les tables en granit, avec leur grande stabilité et leur planéité, constituent une bonne plate-forme pour l'équipement de traitement des plaquettes.Ils résistent également à la dilatation et à la contraction thermiques provoquées par le chauffage et le refroidissement nécessaires au processus.
Les blocs de granit sont également utilisés dans le traitement des semi-conducteurs pour leur stabilité thermique.Lors des processus de gravure ou de dépôt, des gaz chauds ou des plasmas sont utilisés pour modifier la surface de la plaquette de silicium.La température de la plaquette doit être contrôlée pour garantir que le processus est effectué de manière efficace et précise.Les blocs de granit, avec leur faible coefficient de dilatation thermique, aident à stabiliser la température de la plaquette, réduisant ainsi le risque de fluctuations de température qui pourraient affecter la qualité du matériau traité.
Outre les processus de fabrication et de traitement, les composants en granit sont également utilisés dans les étapes de métrologie et d'inspection de la fabrication des semi-conducteurs.Des mesures métrologiques sont effectuées pour garantir que la taille, la forme et la position des structures sur la tranche sont conformes aux spécifications requises.Les blocs de granit sont utilisés comme étalons de référence dans ces mesures en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur précision.Ils sont également utilisés lors des étapes d'inspection, où la qualité des circuits intégrés est vérifiée sous un fort grossissement.
Dans l’ensemble, l’utilisation de composants en granit dans la fabrication de semi-conducteurs a augmenté ces dernières années.Le besoin de haute précision, exactitude et stabilité dans la fabrication et le traitement des circuits intégrés a conduit à l’adoption de ces matériaux par les fabricants de semi-conducteurs.Les propriétés uniques du granit, telles que sa dureté, sa stabilité et son faible coefficient de dilatation thermique, en font un excellent choix pour une utilisation dans ces procédés.Avec le développement et l’amélioration continus de la technologie des semi-conducteurs, l’utilisation de composants en granit devrait encore se développer à l’avenir.
Heure de publication : 05 décembre 2023