Le granit est un matériau dur et durable qui est souvent utilisé dans l'industrie de la construction. Cependant, il possède également des propriétés qui le rendent utile dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans la fabrication et le traitement des circuits intégrés. Les composants de granit, tels que les tables en granit et les blocs de granit, sont largement utilisés pour leur stabilité, leur planéité et leur faible coefficient de détension thermique.
L'une des principales utilisations des composants de granit dans la fabrication de semi-conducteurs est le processus de fabrication. Les tranches de silicium, les éléments de base des circuits intégrés, doivent être fabriqués avec une haute précision et une précision. Toute distorsion ou mouvement pendant le processus peut entraîner des défauts qui peuvent affecter la qualité et la fonctionnalité des circuits intégrés. Les tables en granit, avec leur stabilité élevée et leur planéité, fournissent une bonne plate-forme pour l'équipement de traitement des plaquettes. Ils sont également résistants à l'expansion thermique et à la contraction causée par le chauffage et le refroidissement requis dans le processus.
Les blocs de granit sont également utilisés dans le traitement des semi-conducteurs pour leur stabilité thermique. Pendant les processus de gravure ou de dépôt, les gaz chauds ou les plasmas sont utilisés pour modifier la surface de la tranche de silicium. La température de la tranche doit être contrôlée pour garantir que le processus est effectué efficacement et avec précision. Les blocs de granit, avec leur faible coefficient de dilatation thermique, aident à stabiliser la température de la tranche, ce qui réduit le risque de fluctuations de température qui pourraient affecter la qualité du matériau traité.
Outre les processus de fabrication et de traitement, les composants de granit sont également utilisés dans les étapes de métrologie et d'inspection de la fabrication de semi-conducteurs. Des mesures de métrologie sont effectuées pour garantir que la taille, la forme et la position des structures sur la plaquette sont dans les spécifications requises. Les blocs de granit sont utilisés comme normes de référence dans ces mesures en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur précision. Ils sont également utilisés dans les étapes d'inspection, où la qualité des circuits intégrés est vérifiée sous un grossissement élevé.
Dans l'ensemble, l'utilisation de composants de granit dans la fabrication de semi-conducteurs a augmenté ces dernières années. La nécessité de haute précision, de précision et de stabilité dans la fabrication et le traitement des circuits intégrés a entraîné l'adoption de ces matériaux par les fabricants de semi-conducteurs. Les propriétés uniques du granit, telles que sa dureté, sa stabilité et son coefficient d'extension thermique faible, en font un excellent choix pour une utilisation dans ces processus. Avec le développement continu et l'amélioration de la technologie des semi-conducteurs, l'utilisation de composants de granit devrait croître davantage à l'avenir.
Heure du poste: DEC-05-2023