Le granit est un matériau dur et durable, souvent utilisé dans le secteur de la construction. Cependant, ses propriétés le rendent également utile dans la fabrication de semi-conducteurs, notamment pour la fabrication et le traitement des circuits intégrés. Les composants en granit, tels que les tables et les blocs de granit, sont largement utilisés pour leur stabilité, leur planéité et leur faible coefficient de dilatation thermique.
L'une des principales utilisations des composants en granit dans la fabrication de semi-conducteurs réside dans le processus de fabrication. Les plaquettes de silicium, éléments de base des circuits intégrés, doivent être fabriquées avec une précision et une exactitude élevées. Toute déformation ou mouvement pendant le processus peut entraîner des défauts susceptibles d'affecter la qualité et la fonctionnalité des circuits intégrés. Les tables en granit, grâce à leur grande stabilité et à leur planéité, constituent une excellente plateforme pour les équipements de traitement des plaquettes. Elles résistent également à la dilatation et à la contraction thermiques causées par le chauffage et le refroidissement nécessaires au processus.
Les blocs de granit sont également utilisés dans le traitement des semi-conducteurs pour leur stabilité thermique. Lors des processus de gravure ou de dépôt, des gaz chauds ou des plasmas sont utilisés pour modifier la surface de la plaquette de silicium. La température de la plaquette doit être contrôlée pour garantir l'efficacité et la précision du processus. Grâce à leur faible coefficient de dilatation thermique, les blocs de granit contribuent à stabiliser la température de la plaquette, réduisant ainsi le risque de fluctuations de température susceptibles d'affecter la qualité du matériau traité.
Outre les processus de fabrication et de traitement, les composants en granit sont également utilisés lors des étapes de métrologie et d'inspection de la fabrication des semi-conducteurs. Des mesures métrologiques sont effectuées pour garantir que la taille, la forme et la position des structures sur la plaquette sont conformes aux spécifications requises. Les blocs de granit servent d'étalons de référence pour ces mesures en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur précision. Ils sont également utilisés lors des étapes d'inspection, où la qualité des circuits intégrés est vérifiée sous fort grossissement.
Globalement, l'utilisation de composants en granit dans la fabrication de semi-conducteurs a augmenté ces dernières années. Le besoin de haute précision, d'exactitude et de stabilité dans la fabrication et le traitement des circuits intégrés a incité les fabricants de semi-conducteurs à adopter ces matériaux. Les propriétés uniques du granit, telles que sa dureté, sa stabilité et son faible coefficient de dilatation thermique, en font un excellent choix pour ces procédés. Avec le développement et l'amélioration continus de la technologie des semi-conducteurs, l'utilisation de composants en granit devrait encore croître à l'avenir.
Date de publication : 05/12/2023