Le granit est un matériau dur et durable, fréquemment utilisé dans le secteur de la construction. Cependant, ses propriétés le rendent également utile dans la fabrication de semi-conducteurs, notamment pour la production et le traitement des circuits intégrés. Les éléments en granit, tels que les tables et les blocs de granit, sont largement utilisés pour leur stabilité, leur planéité et leur faible coefficient de dilatation thermique.
L'une des principales applications des éléments en granit dans la fabrication des semi-conducteurs réside dans le processus de fabrication. Les plaquettes de silicium, composants de base des circuits intégrés, doivent être fabriquées avec une grande précision. Toute distorsion ou mouvement durant ce processus peut engendrer des défauts susceptibles d'affecter la qualité et le fonctionnement des circuits intégrés. Les tables en granit, grâce à leur grande stabilité et leur planéité, constituent un support idéal pour les équipements de traitement des plaquettes. Elles résistent également à la dilatation et à la contraction thermiques induites par les cycles de chauffage et de refroidissement nécessaires au processus.
Les blocs de granit sont également utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs pour leur stabilité thermique. Lors des procédés de gravure ou de dépôt, des gaz chauds ou des plasmas sont utilisés pour modifier la surface des plaquettes de silicium. La température de la plaquette doit être contrôlée afin de garantir l'efficacité et la précision du processus. Grâce à leur faible coefficient de dilatation thermique, les blocs de granit contribuent à stabiliser la température de la plaquette, réduisant ainsi le risque de fluctuations thermiques susceptibles d'affecter la qualité du matériau traité.
Outre les procédés de fabrication et de traitement, les composants en granit sont également utilisés lors des étapes de métrologie et de contrôle de la production de semi-conducteurs. Les mesures métrologiques permettent de s'assurer que la taille, la forme et la position des structures sur la plaquette sont conformes aux spécifications requises. Les blocs de granit servent de référence pour ces mesures en raison de leur stabilité et de leur précision dimensionnelles. Ils sont également utilisés lors des étapes de contrôle, où la qualité des circuits intégrés est vérifiée à fort grossissement.
Globalement, l'utilisation de composants en granit dans la fabrication de semi-conducteurs a progressé ces dernières années. Le besoin de haute précision, d'exactitude et de stabilité dans la fabrication et le traitement des circuits intégrés a incité les fabricants de semi-conducteurs à adopter ce matériau. Les propriétés uniques du granit, telles que sa dureté, sa stabilité et son faible coefficient de dilatation thermique, en font un excellent choix pour ces procédés. Avec le développement et l'amélioration continus de la technologie des semi-conducteurs, l'utilisation de composants en granit devrait encore croître à l'avenir.
Date de publication : 5 décembre 2023