Les systèmes de paliers à air en granit sont largement utilisés dansultra-précisionPlateformes de mouvement pour la fabrication de semi-conducteurs, l'alignement optique et la métrologie à l'échelle nanométrique.
Ces systèmes éliminent le contact mécanique grâce à un mince film d'air sous pression, permettant un mouvement à friction quasi nulle.
Principe du palier à air
Les paliers à air fonctionnent en introduisant de l'air comprimé entre deux surfaces, formant un film d'air de 2 à 20 μm.
Cela élimine :
- frottement mécanique
- Porter
- Comportement stick-slip
Le système repose sur la dynamique des films fluides et un écoulement laminaire stable.
Rôle du granit
Granite fournit :
- Stabilité structurelle
- Suppression de la dérive thermique
- amortissement des vibrations
Elle sert de base de référence mécanique pour le système de mouvement.
Composants du système
- Socle en granit
- coussinets à air
- Système d'alimentation en air
- codeurs de précision
- Système de contrôle de mouvement
Caractéristiques de performance
Les performances typiques comprennent :
- Précision de positionnement submicronique
- Grande rectitude sur de longues distances
- Aucun jeu mécanique
Les principales sources d'erreur comprennent l'instabilité de la pression atmosphérique, la dérive thermique et l'erreur de l'encodeur.
Applications
- Inspection des plaquettes de semi-conducteurs
- systèmes de lithographie
- Plateformes d'alignement optique
- Machines de métrologie haut de gamme
FAQ
Les coussins d'air s'usent-ils ?
L'absence de contact mécanique élimine l'usure.
Pourquoi utiliser du granit ?
Pour la stabilité et l'amortissement des vibrations.
Qu’est-ce qui limite la précision ?
Stabilité de l'air et effets thermiques.
Peuvent-ils transporter des charges lourdes ?
Oui, cela dépend du modèle.
Date de publication : 3 juillet 2026