♦Alumine(Al2O3)
Les pièces en céramique de précision produites par ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) peuvent être constituées de matières premières céramiques de haute pureté, 92 ~ 97 % d'alumine, 99,5 % d'alumine, > 99,9 % d'alumine et un pressage isostatique à froid CIP.Frittage à haute température et usinage de précision, précision dimensionnelle de ± 0,001 mm, douceur jusqu'à Ra0,1, température d'utilisation jusqu'à 1600 degrés.Différentes couleurs de céramique peuvent être fabriquées selon les exigences des clients, telles que : noir, blanc, beige, rouge foncé, etc. Les pièces en céramique de précision produites par notre société sont résistantes aux températures élevées, à la corrosion, à l'usure et à l'isolation, et peuvent être utilisé pendant longtemps dans un environnement de gaz à haute température, sous vide et corrosif.
Largement utilisé dans une variété d'équipements de production de semi-conducteurs : cadres (support en céramique), substrat (base), bras/pont (manipulateur), composants mécaniques et roulements à air en céramique.
Nom du produit | Tube/tuyau/tige carrés en céramique d'alumine de haute pureté 99 | |||||
Indice | Unité | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Densité | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorption de l'eau | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Température frittée | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Dureté | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Résistance à la flexion (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Résistance à la compression | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Température de fonctionnement de longue durée | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max.Température de fonctionnement | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Résistivité volumique | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Application de céramiques d'alumine de haute pureté :
1. Appliqué aux équipements semi-conducteurs : mandrin à vide en céramique, disque de coupe, disque de nettoyage, MANDRIN en céramique.
2. Pièces de transfert de plaquettes : mandrins de manipulation de plaquettes, disques de coupe de plaquettes, disques de nettoyage de plaquettes, ventouses d'inspection optique de plaquettes.
3. Industrie des écrans plats LED/LCD : buse en céramique, disque de meulage en céramique, goupille de levage, rail de goupille.
4. Communication optique, industrie solaire : tubes en céramique, tiges en céramique, grattoirs en céramique pour sérigraphie de circuits imprimés.
5. Pièces résistantes à la chaleur et électriquement isolantes : roulements en céramique.
À l'heure actuelle, les céramiques d'oxyde d'aluminium peuvent être divisées en céramiques de haute pureté et céramiques communes.La série de céramiques d'oxyde d'aluminium de haute pureté fait référence au matériau céramique contenant plus de 99,9 % d'Al₂O₃.En raison de sa température de frittage allant jusqu'à 1650 - 1990°C et de sa longueur d'onde de transmission de 1 ~ 6 μm, il est généralement transformé en verre fondu au lieu d'un creuset en platine : qui peut être utilisé comme tube de sodium en raison de sa transmission lumineuse et de sa résistance à la corrosion. métal alcalin.Dans l'industrie électronique, il peut être utilisé comme matériau isolant haute fréquence pour les substrats IC.Selon différentes teneurs en oxyde d'aluminium, la série commune de céramiques d'oxyde d'aluminium peut être divisée en 99 céramiques, 95 céramiques, 90 céramiques et 85 céramiques.Parfois, les céramiques contenant 80 % ou 75 % d’oxyde d’aluminium sont également classées dans la série courante de céramiques à base d’oxyde d’aluminium.Parmi eux, 99 matériaux céramiques à base d'oxyde d'aluminium sont utilisés pour produire des creusets à haute température, des tubes de four ignifuges et des matériaux spéciaux résistants à l'usure, tels que des roulements en céramique, des joints en céramique et des plaques de soupape.La céramique d'aluminium 95 est principalement utilisée comme pièce résistante à l'usure et à la corrosion.La céramique 85 est souvent mélangée dans certaines propriétés, améliorant ainsi les performances électriques et la résistance mécanique.Il peut utiliser du molybdène, du niobium, du tantale et d'autres joints métalliques, et certains sont utilisés comme dispositifs d'aspiration électrique.
Article de qualité (valeur représentative) | Nom du produit | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composition chimique Produit de frittage facile à faible teneur en sodium | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Mdr | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diamètre de particule moyen (MT-3300, méthode d'analyse laser) | µm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Taille des cristaux | µm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densité de formage** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Densité de frittage** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Taux de rétrécissement de la ligne de frittage** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO n'est pas inclus dans le calcul de pureté d'Al₂O₃.
* Pas de poudre calcaire 29,4MPa (300kg/cm²), la température de frittage est de 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F : ajoutez 0,05 ~ 0,1 % de MgO, la frittabilité est excellente, elle est donc applicable aux céramiques d'oxyde d'aluminium d'une pureté supérieure à 99 %.
AES-22S : Caractérisé par une densité de formage élevée et un faible taux de rétrécissement de la ligne de frittage, il est applicable au moulage par forme glissante et à d'autres produits à grande échelle avec la précision dimensionnelle requise.
AES-23 / AES-31-03 : Il a une densité de formage, une thixotropie et une viscosité plus faibles que l'AES-22S.le premier est utilisé pour la céramique tandis que le second est utilisé comme réducteur d'eau pour les matériaux ignifuges, gagnant en popularité.
♦Caractéristiques du carbure de silicium (SiC)
Caractéristiques générales | Pureté des composants principaux (% en poids) | 97 | |
Couleur | Noir | ||
Densité (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorption de l'eau (%) | 0 | ||
Charactéristiques mécaniques | Résistance à la flexion (MPa) | 400 | |
Module de Young (GPa) | 400 | ||
Dureté Vickers (GPa) | 20 | ||
Caractéristiques thermiques | Température maximale de fonctionnement (°C) | 1600 | |
Coefficient de dilatation thermique | TA~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | TA~800°C | 4.3 | |
Conductivité thermique (W/m x K) | 130 110 | ||
Résistance aux chocs thermiques ΔT (°C) | 300 | ||
Caractéristiques électriques | Résistivité volumique | 25°C | 3x106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Constante diélectrique | 10 GHz | - | |
Perte diélectrique (x 10-4) | - | ||
Facteur Q (x 104) | - | ||
Tension de claquage diélectrique (KV/mm) | - |
♦Céramique de nitrure de silicium
Matériel | Unité | Si₃N₄ |
Méthode de frittage | - | Pression de gaz frittée |
Densité | g/cm³ | 3.22 |
Couleur | - | Gris foncé |
Taux d'absorption d'eau | % | 0 |
Module d'Young | Gpa | 290 |
Dureté Vickers | Gpa | 18 - 20 |
Résistance à la compression | Mpa | 2200 |
Résistance à la flexion | Mpa | 650 |
Conductivité thermique | W/mK | 25 |
Résistance aux chocs thermiques | Δ (°C) | 450 - 650 |
Température de fonctionnement maximale | °C | 1200 |
Résistivité volumique | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Constante diélectrique | - | 8.2 |
Résistance diélectrique | kV/mm | 16 |