Dans les équipements laser à grande vitesse utilisés pour la fabrication de puces et de pièces de précision, une base en granit, apparemment ordinaire, est en réalité la clé pour éviter les problèmes cachés. Quels « tueurs de précision » invisibles peut-elle réellement résoudre ? Aujourd'hui, examinons-les ensemble.
I. Repousser le « fantôme des tremblements » : dites adieu aux interférences vibratoires
Lors de la découpe laser à grande vitesse, la tête laser se déplace des centaines de fois par seconde. La moindre vibration peut rendre le bord de coupe rugueux. La base en acier, telle une « chaîne audio agrandie », amplifie les vibrations causées par le fonctionnement de l'équipement et le passage des véhicules. La densité de la base en granit atteint 3 100 kg/m³, et sa structure interne, aussi dense que du béton armé, absorbe plus de 90 % de l'énergie vibratoire. Des mesures réalisées par une entreprise d'optoélectronique ont révélé qu'après le passage à une base en granit, la rugosité des bords des plaquettes de silicium découpées est passée de Ra1,2 µm à 0,5 µm, avec une précision améliorée de plus de 50 %.
Deuxièmement, résistez au « piège de la déformation thermique » : la température ne pose plus de problème
Lors de l'usinage laser, la chaleur générée par l'équipement peut provoquer une dilatation et une déformation de la base. Le coefficient de dilatation thermique des métaux courants est deux fois supérieur à celui du granit. Une augmentation de température de 10 °C peut entraîner une déformation de la base métallique de 12 μm, soit l'équivalent d'un cinquième du diamètre d'un cheveu humain ! Le granit présente un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible. Même en cas d'utilisation prolongée, la déformation peut être contrôlée à 5 μm près. C'est comme si l'équipement était protégé par une « armure thermique constante » pour garantir une focalisation laser toujours précise et sans erreur.
III. Éviter la « crise de l'usure » : prolonger la durée de vie des équipements
La tête laser mobile à grande vitesse entre fréquemment en contact avec la base de la machine, ce qui use les matériaux de qualité inférieure comme du papier de verre. Le granit, d'une dureté de 6 à 7 sur l'échelle de Mohs, est encore plus résistant à l'usure que l'acier. Après 10 ans d'utilisation normale, l'usure superficielle est inférieure à 1 μm. En revanche, certaines bases métalliques doivent être remplacées tous les 2 à 3 ans. Les statistiques d'une usine de semi-conducteurs montrent qu'après l'utilisation de bases de machines en granit, les coûts de maintenance des équipements ont diminué de 300 000 yuans par an.
Quatrièmement, éliminer les « risques d'installation » : achèvement précis en une seule étape
La précision d'usinage des socles de machines traditionnels est limitée, et l'erreur de positionnement des trous d'installation peut atteindre ± 0,02 mm, ce qui peut entraîner un mauvais alignement des composants de l'équipement. Le socle en granit ZHHIMG® est usiné par CNC cinq axes, avec une précision de positionnement des trous de ± 0,01 mm. Grâce à une conception préfabriquée CAO/FAO, il s'adapte parfaitement à l'installation, comme une construction Lego. Un institut de recherche a signalé que le temps de débogage de l'équipement a été réduit de 3 jours à 8 heures après utilisation.
Date de publication : 19 juin 2025