Le granit est un matériau prisé dans l'industrie du traitement des plaquettes de silicium grâce à ses propriétés mécaniques exceptionnelles et à sa grande durabilité. Pierre naturelle extraite de carrières du monde entier, elle est utilisée depuis des siècles dans divers domaines de la construction, notamment pour la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs. Cet article présente les propriétés du granit et ses différentes applications dans le domaine des équipements de traitement des plaquettes.
Propriétés du granit
Le granit est une roche ignée composée de mica, de feldspath et de quartz. Reconnu pour son exceptionnelle résistance, sa dureté et sa durabilité, il constitue un matériau idéal pour les applications exigeant une grande précision. Son faible coefficient de dilatation thermique lui confère une excellente stabilité, car il ne se dilate ni ne se contracte sous l'effet des variations de température. De plus, sa résistance à la corrosion et aux produits chimiques en fait un matériau de choix pour les environnements difficiles.
Applications du granit dans les équipements de traitement des plaquettes
Le granit est un matériau largement utilisé dans l'industrie du traitement des plaquettes de silicium en raison de ses propriétés uniques. Voici quelques applications du granit dans les équipements de traitement des plaquettes :
1. Outils de métrologie
Le granit est couramment utilisé dans la fabrication d'instruments de métrologie, tels que les machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) et les systèmes de mesure optiques. Ces instruments requièrent des surfaces stables, résistantes aux vibrations et à la chaleur. La grande rigidité et le faible coefficient de dilatation thermique du granit en font un matériau idéal pour de telles applications.
2. Mandrins à plaquettes
Les plateaux porte-plaquettes servent à maintenir les plaquettes de silicium pendant le processus de fabrication. Ces plateaux nécessitent une surface plane et stable afin d'éviter toute déformation ou flexion de la plaquette. Le granit offre une surface plane, très stable et résistante à la déformation, ce qui en fait un excellent matériau pour les plateaux porte-plaquettes.
3. Outils de polissage chimico-mécanique (CMP)
Les outils de polissage chimico-mécanique (CMP) servent à polir les plaquettes de silicium lors de leur fabrication. Ces outils nécessitent une plateforme stable, résistante aux vibrations et à la chaleur. L'excellente rigidité et le faible coefficient de dilatation thermique du granit en font un matériau idéal pour les outils CMP.
4. Équipement d'inspection des plaquettes
Les équipements d'inspection de plaquettes servent à détecter les défauts et imperfections de ces dernières. Ces outils nécessitent une surface stable et plane pour garantir des mesures précises. Le granit offre une surface stable et plane, résistante à la déformation, ce qui en fait un matériau idéal pour les équipements d'inspection de plaquettes.
Conclusion
En conclusion, le granit est un matériau largement utilisé dans l'industrie du traitement des plaquettes grâce à ses propriétés mécaniques exceptionnelles et à sa durabilité. Il est couramment employé dans la fabrication d'outils de métrologie, de porte-plaquettes, d'outils de polissage chimico-mécanique (CMP) et d'équipements d'inspection de plaquettes. La combinaison unique de ses propriétés en fait un matériau idéal pour les applications exigeant une haute précision. Fort de ses nombreux avantages, le granit demeure un choix privilégié pour les équipements de traitement des plaquettes, et son utilisation devrait continuer de croître à l'avenir.
Date de publication : 27 décembre 2023