Les composants en granit sont largement utilisés dans les équipements pour semi-conducteurs en raison de leur grande stabilité et durabilité. Ils contribuent à la précision des procédés de fabrication. Toutefois, leur efficacité et leur fiabilité dépendent du respect des normes et spécifications lors de leur conception, de leur fabrication et de leur installation.
Voici quelques-unes des normes et spécifications à respecter lors de l'utilisation de composants en granit dans les équipements pour semi-conducteurs :
1. Densité du matériau : La densité du granit utilisé pour la fabrication des composants doit être d’environ 2,65 g/cm³. Cette densité, propre au granit naturel, garantit la constance et la fiabilité des propriétés des composants.
2. Planéité : La planéité est l’une des spécifications les plus importantes pour les composants en granit utilisés dans les équipements pour semi-conducteurs. La planéité de la surface du granit doit être inférieure à 0,001 mm/m². Ceci garantit que la surface du composant est plane et de niveau, ce qui est essentiel pour les procédés de fabrication des semi-conducteurs.
3. État de surface : L’état de surface des composants en granit doit être de haute qualité, avec une rugosité inférieure à 0,4 µm. Ceci garantit un faible coefficient de frottement, essentiel au bon fonctionnement des équipements pour semi-conducteurs.
4. Coefficient de dilatation thermique : Les équipements pour semi-conducteurs fonctionnent à différentes températures, et les composants en granit doivent pouvoir résister aux variations thermiques sans se déformer. Le coefficient de dilatation thermique du granit utilisé dans les équipements pour semi-conducteurs doit être inférieur à 2 × 10⁻⁶ /°C.
5. Tolérance dimensionnelle : La tolérance dimensionnelle est cruciale pour la performance des composants en granit. Elle doit être inférieure à ±0,1 mm pour toutes les dimensions critiques.
6. Dureté et résistance à l'usure : La dureté et la résistance à l'usure sont des spécifications essentielles pour les composants en granit utilisés dans les équipements pour semi-conducteurs. Le granit présente une dureté de 6 à 7 sur l'échelle de Mohs, ce qui en fait un matériau adapté aux applications dans le domaine des semi-conducteurs.
7. Performances d'isolation : Les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs doivent présenter d'excellentes performances d'isolation afin de prévenir tout dommage aux composants électroniques sensibles. La résistance électrique doit être supérieure à 10⁹ Ω/cm.
8. Résistance chimique : Les composants en granit doivent être résistants aux produits chimiques couramment utilisés dans les processus de fabrication des semi-conducteurs, tels que les acides et les bases.
En conclusion, les normes et spécifications relatives aux composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs sont essentielles pour garantir la longévité et la fiabilité de ces composants et des équipements qui les intègrent. Il est impératif de respecter scrupuleusement les directives susmentionnées lors des processus de conception, de fabrication et d'installation afin d'assurer la qualité optimale des composants. En suivant ces normes et spécifications, les fabricants de semi-conducteurs peuvent garantir des performances optimales de leurs équipements, ce qui se traduit par une productivité et une rentabilité accrues.
Date de publication : 20 mars 2024