Les composants de granit sont largement utilisés dans l'équipement semi-conducteur en raison de leur stabilité élevée et de leur durabilité. Ils sont responsables du maintien de la précision et de la précision des processus de fabrication de semi-conducteurs. Cependant, l'efficacité et la fiabilité des composants de granit dépendent des normes et des spécifications qui sont confirmées lors de leur conception, de leur fabrication et de leur installation.
Voici quelques-unes des normes et spécifications qui doivent être respectées lors de l'utilisation de composants de granit dans l'équipement semi-conducteur:
1. Densité du matériau: La densité du matériau de granit utilisé dans la fabrication de composants de granit doit être d'environ 2,65 g / cm3. Il s'agit de la densité du matériau de granit naturel, et il garantit la cohérence et la fiabilité des propriétés des composants du granit.
2. Planéité: La planéité est l'une des spécifications les plus cruciales pour les composants de granit utilisés dans l'équipement semi-conducteur. La planéité de la surface du granit doit être inférieure à 0,001 mm / m2. Cela garantit que la surface du composant est plate et niveau, ce qui est essentiel pour les processus de fabrication de semi-conducteurs.
3. Finition de surface: La finition de surface des composants de granit doit être de haute qualité, avec une rugosité de surface inférieure à 0,4 µm. Cela garantit que la surface du composant de granit a un faible coefficient de frottement, qui est essentiel pour le fonctionnement en douceur de l'équipement semi-conducteur.
4. Coefficient de dilatation thermique: l'équipement semi-conducteur fonctionne à différentes températures, et les composants de granit devraient être capables de résister aux fluctuations thermiques sans déformation. Le coefficient d'extension thermique du granit utilisé dans l'équipement semi-conducteur doit être inférieur à 2 x 10 ^ -6 / ° C.
5. Tolérance dimensionnelle: la tolérance dimensionnelle est cruciale pour les performances des composants du granit. La tolérance dimensionnelle des composants de granit doit être à moins de ± 0,1 mm pour toutes les dimensions critiques.
6. DURYNESS ET RÉSISTANCE DE L'ARRÊT: La dureté et la résistance à l'usure sont des spécifications essentielles pour les composants de granit utilisés dans l'équipement semi-conducteur. Le granit a une dureté de l'échelle de Mohs 6-7, ce qui en fait un matériau approprié pour une utilisation dans les applications d'équipement semi-conducteur.
7. Performance d'isolation: les composants de granit utilisés dans l'équipement semi-conducteur doivent avoir d'excellentes performances d'isolation pour éviter d'endommager les composants électroniques sensibles. La résistance électrique doit être supérieure à 10 ^ 9 Ω / cm.
8. Résistance chimique: les composants du granit doivent être résistants aux produits chimiques courants utilisés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que les acides et les alcalis.
En conclusion, les normes et les spécifications des composants de granit utilisées dans l'équipement semi-conducteur sont cruciales pour garantir la longévité et la fiabilité des composants et des équipements dans lesquels ils sont utilisés. Les directives ci-dessus doivent être strictement respectées pendant la conception, la fabrication et les processus d'installation pour s'assurer que les composants sont de la plus haute qualité. En suivant ces normes et spécifications, les fabricants de semi-conducteurs peuvent garantir que les performances de leur équipement restent optimales, conduisant à une productivité et une rentabilité accrues.
Heure du poste: mars 20-2024