Les composants en granit sont largement utilisés dans les équipements semi-conducteurs en raison de leur grande stabilité et durabilité.Ils sont responsables du maintien de la précision et de l’exactitude des processus de fabrication des semi-conducteurs.Cependant, l'efficacité et la fiabilité des composants en granit dépendent des normes et spécifications respectées lors de leur conception, de leur fabrication et de leur installation.
Voici quelques-unes des normes et spécifications qui doivent être respectées lors de l’utilisation de composants en granit dans des équipements semi-conducteurs :
1. Densité du matériau : La densité du matériau granit utilisé dans la fabrication des composants en granit doit être d’environ 2,65 g/cm3.Il s'agit de la densité du matériau naturel du granit et elle garantit la cohérence et la fiabilité des propriétés des composants du granit.
2. Planéité : La planéité est l’une des spécifications les plus cruciales pour les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs.La planéité de la surface du granit doit être inférieure à 0,001 mm/m2.Cela garantit que la surface du composant est plate et de niveau, ce qui est essentiel pour les processus de fabrication de semi-conducteurs.
3. Finition de surface : La finition de surface des composants en granit doit être de haute qualité, avec une rugosité de surface inférieure à 0,4 µm.Cela garantit que la surface du composant en granit présente un faible coefficient de frottement, ce qui est essentiel au bon fonctionnement des équipements semi-conducteurs.
4. Coefficient de dilatation thermique : Les équipements semi-conducteurs fonctionnent à différentes températures et les composants en granit doivent être capables de résister aux fluctuations thermiques sans déformation.Le coefficient de dilatation thermique du granit utilisé dans les équipements semi-conducteurs doit être inférieur à 2 x 10^-6 /°C.
5. Tolérance dimensionnelle : La tolérance dimensionnelle est cruciale pour les performances des composants en granit.La tolérance dimensionnelle des composants en granit doit être inférieure à ± 0,1 mm pour toutes les dimensions critiques.
6. Dureté et résistance à l'usure : La dureté et la résistance à l'usure sont des spécifications essentielles pour les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs.Le granit a une dureté de Mohs sur l'échelle 6-7, ce qui en fait un matériau approprié pour une utilisation dans les applications d'équipements semi-conducteurs.
7. Performances d'isolation : les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs doivent avoir d'excellentes performances d'isolation pour éviter d'endommager les composants électroniques sensibles.La résistance électrique doit être supérieure à 10^9 Ω/cm.
8. Résistance chimique : les composants en granit doivent être résistants aux produits chimiques couramment utilisés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que les acides et les alcalis.
En conclusion, les normes et spécifications relatives aux composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs sont cruciales pour garantir la longévité et la fiabilité des composants et des équipements dans lesquels ils sont utilisés. Les directives ci-dessus doivent être strictement respectées lors de la conception, de la fabrication et de l'installation. processus pour garantir que les composants sont de la plus haute qualité.En respectant ces normes et spécifications, les fabricants de semi-conducteurs peuvent garantir que les performances de leurs équipements restent optimales, ce qui entraîne une productivité et une rentabilité accrues.
Heure de publication : 20 mars 2024