Les composants en granit sont largement utilisés dans les équipements de semi-conducteurs en raison de leur grande stabilité et de leur durabilité. Ils assurent la précision et l'exactitude des procédés de fabrication des semi-conducteurs. Cependant, leur efficacité et leur fiabilité dépendent des normes et spécifications respectées lors de leur conception, de leur fabrication et de leur installation.
Voici quelques-unes des normes et spécifications qui doivent être respectées lors de l’utilisation de composants en granit dans les équipements semi-conducteurs :
1. Densité du matériau : La densité du granit utilisé pour la fabrication des composants doit être d'environ 2,65 g/cm³. Cette densité, propre au granit naturel, garantit la constance et la fiabilité des propriétés des composants.
2. Planéité : La planéité est l'une des spécifications les plus cruciales pour les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs. La planéité de la surface en granit doit être inférieure à 0,001 mm/m². Cela garantit la planéité et l'uniformité de la surface du composant, essentielles à la fabrication des semi-conducteurs.
3. Finition de surface : La finition de surface des composants en granit doit être de haute qualité, avec une rugosité inférieure à 0,4 µm. Cela garantit un faible coefficient de frottement, essentiel au bon fonctionnement des équipements semi-conducteurs.
4. Coefficient de dilatation thermique : Les équipements semi-conducteurs fonctionnent à différentes températures, et les composants en granit doivent pouvoir supporter les fluctuations thermiques sans se déformer. Le coefficient de dilatation thermique du granit utilisé dans les équipements semi-conducteurs doit être inférieur à 2 x 10^-6 /°C.
5. Tolérance dimensionnelle : La tolérance dimensionnelle est essentielle à la performance des composants en granit. Elle doit être de ± 0,1 mm pour toutes les dimensions critiques.
6. Dureté et résistance à l'usure : La dureté et la résistance à l'usure sont des caractéristiques essentielles des composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs. Le granit présente une dureté de 6 à 7 sur l'échelle de Mohs, ce qui en fait un matériau idéal pour les applications d'équipements semi-conducteurs.
7. Performances d'isolation : Les composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs doivent présenter d'excellentes performances d'isolation afin de prévenir tout dommage aux composants électroniques sensibles. Leur résistance électrique doit être supérieure à 10^9 Ω/cm.
8. Résistance chimique : les composants en granit doivent être résistants aux produits chimiques courants utilisés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que les acides et les alcalis.
En conclusion, les normes et spécifications relatives aux composants en granit utilisés dans les équipements semi-conducteurs sont essentielles pour garantir la longévité et la fiabilité des composants et des équipements. Ces directives doivent être scrupuleusement respectées lors de la conception, de la fabrication et de l'installation afin de garantir la plus haute qualité des composants. En suivant ces normes et spécifications, les fabricants de semi-conducteurs peuvent garantir des performances optimales de leurs équipements, ce qui accroît leur productivité et leur rentabilité.
Date de publication : 20 mars 2024