Le granit est utilisé depuis de nombreuses années dans la fabrication et la conception d'équipements pour semi-conducteurs. Ses excellentes propriétés en font un matériau idéal pour de nombreuses applications. Très résistant à l'usure, à la corrosion et aux chocs thermiques, il convient parfaitement aux environnements difficiles. Cet article présente quelques-unes de ses applications courantes dans le domaine des équipements pour semi-conducteurs.
1. Équipement de métrologie
Les équipements de métrologie servent à mesurer les dimensions et les propriétés des dispositifs semi-conducteurs. Le granit est souvent utilisé comme support pour ces équipements en raison de sa grande stabilité dimensionnelle. La planéité et la précision de sa surface offrent une référence idéale pour des mesures précises. De plus, sa stabilité thermique réduit les risques de variations dimensionnelles dues aux fluctuations de température.
2. Équipement optique
Le granit est également utilisé dans les équipements optiques, notamment les machines de lithographie, employées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le socle en granit offre une plateforme stable aux systèmes optiques de haute précision de ces machines. Ses excellentes propriétés d'amortissement des vibrations contribuent également à réduire les vibrations susceptibles d'affecter les performances et la précision des systèmes optiques.
3. Équipement de traitement des plaquettes
Le traitement des plaquettes de semi-conducteurs comprend plusieurs étapes, notamment le nettoyage, la gravure et le dépôt. Le granit est utilisé dans plusieurs composants des équipements de traitement. Par exemple, il sert de substrat pour les équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), utilisés pour déposer des couches minces sur des plaquettes de silicium. Le granit est également utilisé dans la construction des chambres de gravure et autres cuves de traitement, où son excellente résistance chimique et sa stabilité dimensionnelle sont essentielles.
4. Équipement de test
Les équipements de test servent à vérifier les performances et la qualité des dispositifs semi-conducteurs. Le granit est souvent utilisé comme support pour ces équipements en raison de sa grande rigidité et de sa stabilité. Il offre une plateforme non magnétique et non conductrice qui élimine les interférences avec les appareils de test sensibles. La planéité et la précision de sa surface garantissent des résultats de test d'une grande exactitude.
Conclusion
En conclusion, le granit est un matériau important dans la conception et la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs. Ses excellentes propriétés, notamment sa stabilité dimensionnelle, sa stabilité thermique, sa résistance chimique et son amortissement des vibrations, en font un matériau idéal pour de nombreuses applications. Le granit est utilisé dans plusieurs composants critiques des équipements pour semi-conducteurs, tels que les équipements de métrologie, d'optique, de traitement des plaquettes et de test. Face à la demande croissante de dispositifs semi-conducteurs plus rapides, plus petits et plus performants, l'utilisation du granit dans les équipements pour semi-conducteurs restera probablement essentielle.
Date de publication : 8 avril 2024