Le granit est largement utilisé depuis de nombreuses années dans la fabrication et la conception d'équipements semi-conducteurs. Ses excellentes propriétés en font un matériau idéal pour de nombreuses applications. Très résistant à l'usure, à la corrosion et aux chocs thermiques, il est donc adapté aux environnements difficiles. Cet article présente quelques-unes des applications courantes du granit dans les équipements semi-conducteurs.
1. Équipement de métrologie
Les équipements de métrologie servent à mesurer les dimensions et les propriétés des semi-conducteurs. Le granit est souvent utilisé comme support pour ces équipements en raison de sa grande stabilité dimensionnelle. La planéité et la précision de sa surface constituent une référence idéale pour des mesures précises. De plus, sa stabilité thermique réduit le risque de variations dimensionnelles dues aux variations de température.
2. Équipement optique
Le granit est également utilisé dans les équipements optiques tels que les machines de lithographie, utilisées pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa base en granit offre une plateforme stable pour les optiques de haute précision utilisées dans ces machines. Les excellentes propriétés d'amortissement des vibrations du granit contribuent également à réduire les vibrations susceptibles d'affecter les performances et la précision des optiques.
3. Équipement de traitement des plaquettes
Le traitement des plaquettes de semi-conducteurs comprend plusieurs étapes, dont le nettoyage, la gravure et le dépôt. Le granit entre dans la composition de plusieurs composants des équipements de traitement des plaquettes. Par exemple, il sert de substrat aux équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui permettent de déposer des couches minces sur les plaquettes de silicium. Il est également utilisé dans la construction de chambres de gravure et autres cuves de traitement, où son excellente résistance chimique et sa stabilité dimensionnelle sont essentielles.
4. Équipement de test
Les équipements de test servent à vérifier les performances et la qualité des semi-conducteurs. Le granit est souvent utilisé comme base pour ces équipements en raison de sa grande rigidité et de sa stabilité. Il offre une plateforme non magnétique et non conductrice qui élimine les interférences avec les équipements de test sensibles. La planéité et la précision de sa surface permettent d'obtenir des résultats de test d'une grande précision.
Conclusion
En conclusion, le granit est un matériau important pour la conception et la fabrication d'équipements semi-conducteurs. Ses excellentes propriétés, notamment sa stabilité dimensionnelle, sa stabilité thermique, sa résistance chimique et son amortissement des vibrations, en font un matériau idéal pour de nombreuses applications. Le granit est utilisé dans plusieurs composants critiques des équipements semi-conducteurs, notamment les équipements de métrologie, les équipements optiques, les équipements de traitement des plaquettes et les équipements de test. Face à la demande croissante de dispositifs semi-conducteurs plus rapides, plus compacts et plus puissants, l'utilisation du granit dans ces équipements devrait rester essentielle.
Date de publication : 08/04/2024