Le granite est largement utilisé depuis de nombreuses années dans la fabrication et la conception d’équipements semi-conducteurs.Cela est dû à ses excellentes propriétés, qui en font un matériau idéal pour de nombreuses applications.Le granit est très résistant à l’usure, à la corrosion et aux chocs thermiques, ce qui le rend adapté à une utilisation dans des environnements difficiles.Dans cet article, nous aborderons certaines des applications courantes du granit dans les équipements semi-conducteurs.
1. Équipement de métrologie
Les équipements de métrologie sont utilisés pour mesurer les dimensions et les propriétés des dispositifs semi-conducteurs.Le granit est souvent utilisé comme base pour de tels équipements en raison de sa grande stabilité dimensionnelle.La planéité et la précision de la surface du granit constituent une référence idéale pour des mesures précises.De plus, la stabilité thermique du granit réduit le risque de changements dimensionnels dus aux variations de température.
2. Équipement optique
Le granit est également utilisé dans les équipements optiques tels que les machines de lithographie, utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.La base en granit fournit une plate-forme stable pour les optiques de haute précision utilisées dans ces machines.Les excellentes propriétés d'amortissement des vibrations du granit contribuent également à réduire les vibrations qui peuvent affecter les performances et la précision des optiques.
3. Équipement de traitement de plaquettes
Le traitement des plaquettes semi-conductrices implique plusieurs étapes, notamment le nettoyage, la gravure et le dépôt.Le granit est utilisé dans plusieurs composants de l’équipement de traitement des plaquettes.Par exemple, le granit est utilisé comme substrat pour les équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui servent à déposer des films minces sur des tranches de silicium.Le granit est également utilisé dans la construction de chambres de gravure et d’autres cuves de traitement, où son excellente résistance chimique et sa stabilité dimensionnelle sont essentielles.
4. Équipement d'essai
L'équipement de test est utilisé pour vérifier les performances et la qualité des dispositifs semi-conducteurs.Le granit est souvent utilisé comme base pour les équipements de test en raison de sa rigidité et de sa stabilité élevées.Granite fournit une plate-forme non magnétique et non conductrice qui élimine les interférences avec les équipements de test sensibles.La planéité et la précision de la surface du granit permettent des résultats de tests très précis.
Conclusion
En conclusion, le granit est un matériau important dans la conception et la fabrication d’équipements semi-conducteurs.Ses excellentes propriétés, notamment la stabilité dimensionnelle, la stabilité thermique, la résistance chimique et l’amortissement des vibrations, en font un matériau idéal pour de nombreuses applications.Le granit est utilisé dans plusieurs composants critiques des équipements semi-conducteurs, notamment les équipements de métrologie, les équipements optiques, les équipements de traitement de plaquettes et les équipements de test.Alors que la demande de dispositifs semi-conducteurs plus rapides, plus petits et plus puissants continue de croître, l’utilisation du granit dans les équipements semi-conducteurs restera probablement essentielle.
Heure de publication : 08 avril 2024