Quels sont les scénarios d'application courants de la plate-forme de mouvement d'isolation active des vibrations de précision XYT avec base en granit ?

Fabrication de semi-conducteurs
Lithographie : La lithographie est un procédé clé de la fabrication de semi-conducteurs, nécessitant le transfert précis de motifs de circuits complexes sur les wafers. La plateforme de mouvement XYT de précision, à isolation active des vibrations et à base de granit, assure un support stable et un positionnement précis de l'équipement de lithographie. Elle garantit une précision de positionnement de la table de wafer au nanomètre près lors de l'exposition, réduit efficacement les écarts de motif dus aux vibrations et à la déformation thermique, et améliore la précision de fabrication et le rendement de la puce.

Inspection des plaquettes : Une fois la fabrication des plaquettes terminée, elles doivent être inspectées avec une grande précision afin de détecter les petits défauts. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT peut accueillir des équipements de détection tels qu'un microscope à faisceau électronique ou un microscope à force atomique, afin de maintenir un mouvement stable et un positionnement précis pendant la détection. Ces équipements peuvent ainsi scanner la surface des plaquettes avec précision et améliorer la résolution et la précision de la détection.
Fabrication d'instruments optiques
Rectification et polissage des lentilles : Lors de la fabrication de lentilles optiques, il est nécessaire de les rectifier et de les polir avec une grande précision pour obtenir de bonnes propriétés optiques. La plateforme de mouvement XYT à isolation active des vibrations de précision permet de contrôler avec précision la trajectoire des outils de meulage et de polissage. La base en granit isole les vibrations externes et réduit leur impact sur la précision d'usinage, garantissant ainsi une planéité et une finition de la lentille conformes aux exigences de conception.
Assemblage du système optique : Lors de l'assemblage du système optique, différents composants optiques doivent être installés avec précision dans une position spécifique afin de garantir une propagation précise de la lumière et une qualité d'image optimale. La plateforme de mouvement XYT à isolation active des vibrations, avec base en granit, offre une plateforme stable pour l'installation et le réglage des composants optiques, et permet un alignement et un assemblage de haute précision grâce à un contrôle précis des mouvements.
aérospatial

Essais de systèmes de navigation inertielle : Les systèmes de navigation inertielle sont des équipements de navigation essentiels dans le domaine aérospatial, et leur précision influence directement la précision de navigation et la sécurité des vols des avions. Lors de leurs essais, il est nécessaire d'utiliser une table tournante de haute précision pour simuler les différents états de mouvement de l'avion. La plateforme de mouvement XYT à isolation active des vibrations de précision peut servir de support à la table tournante. Grâce à un contrôle précis des mouvements et à une excellente isolation des vibrations, elle offre un environnement de mouvement stable et précis pour les essais de systèmes de navigation inertielle, améliorant ainsi la précision et la fiabilité des essais.
Usinage des aubes de moteurs d'avion : La précision d'usinage des aubes de moteurs d'avion a un impact important sur les performances et le rendement du moteur. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT peut être appliquée à l'usinage des aubes, comme le centre d'usinage à liaison cinq axes, en contrôlant précisément la trajectoire de l'outil et en maintenant un environnement d'usinage stable. L'usinage de haute précision garantit que la précision du profil et la qualité de surface de l'aube répondent aux exigences de conception.
Tests de recherche scientifique
Recherche en nanosciences : La recherche en nanosciences nécessite l'exploitation et l'observation d'objets nanométriques, notamment pour la préparation de nanomatériaux et l'assemblage de nanodispositifs. La base en granit de la plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT offre une précision de positionnement submicronique, voire nanométrique. Elle constitue une plateforme expérimentale stable et précise pour la recherche en nanosciences et aide les scientifiques à mieux explorer les mystères du monde nanométrique.
Imagerie biomédicale : Dans le domaine biomédical, notamment en microscopie à fluorescence, en microscopie confocale et autres dispositifs d'imagerie, l'obtention d'images biologiques haute résolution exige un positionnement précis et une imagerie stable de l'échantillon. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT permet de transporter des échantillons biologiques, de réduire les vibrations et la dérive des échantillons grâce à un contrôle précis du mouvement et à une bonne isolation des vibrations, d'améliorer la qualité et la précision de l'imagerie et d'aider les chercheurs biomédicaux à mener des recherches approfondies sur les cellules, les tissus et autres structures microscopiques.