Fabrication de semi-conducteurs
Lithographie : La lithographie est un procédé clé dans la fabrication des semi-conducteurs, nécessitant le transfert précis de motifs de circuits complexes sur des plaquettes. La plateforme de déplacement XYT, dotée d'un système d'isolation active des vibrations et reposant sur un socle en granit, assure un support stable et un positionnement précis de l'équipement de lithographie. Elle garantit ainsi une précision de positionnement de la table porte-plaquettes de l'ordre du nanomètre lors de l'exposition, réduisant efficacement les écarts de motifs dus aux vibrations et aux déformations thermiques, et améliorant la précision et le rendement de fabrication des puces.
Inspection des plaquettes : Une fois la fabrication des plaquettes terminée, un contrôle de haute précision est indispensable pour détecter les défauts, même minimes. La plateforme de déplacement XYT, équipée d'un système d'isolation des vibrations actives, permet de supporter des équipements de détection tels que des microscopes à faisceau électronique ou à force atomique. Elle garantit ainsi une stabilité de mouvement et un positionnement précis durant le processus d'inspection, permettant une analyse précise de la surface des plaquettes et améliorant la résolution et la précision de l'inspection.
fabrication d'instruments optiques
Rectification et polissage des lentilles : Lors de la fabrication de lentilles optiques, une rectification et un polissage de haute précision sont indispensables pour obtenir des propriétés optiques optimales. La plateforme de déplacement XYT, équipée d’un système d’isolation active des vibrations, contrôle avec précision la trajectoire des outils de rectification et de polissage. Son socle en granit isole les vibrations externes, réduisant ainsi leur impact sur la précision d’usinage et garantissant une planéité et une finition de surface conformes aux exigences de conception.
Assemblage du système optique : Lors de l’assemblage d’un système optique, il est essentiel d’installer avec précision les différents composants optiques à un emplacement spécifique afin de garantir une propagation fidèle de la lumière et une qualité d’image optimale. La plateforme de déplacement XYT, dotée d’un système d’isolation des vibrations actives et d’une base en granit, offre une stabilité parfaite pour l’installation et le réglage des composants optiques, et permet un alignement et un assemblage de haute précision grâce à un contrôle précis des mouvements.
aérospatial
Tests de systèmes de navigation inertielle : Les systèmes de navigation inertielle sont des équipements essentiels dans le domaine aérospatial, et leur précision influe directement sur la précision de la navigation et la sécurité des vols. Lors des tests de ces systèmes, il est nécessaire d'utiliser une table tournante de haute précision afin de simuler les différents mouvements de l'aéronef. La plateforme de mouvement XYT, dotée d'un système d'isolation active des vibrations, peut servir de support à cette table tournante. Grâce à un contrôle précis du mouvement et à d'excellentes performances d'isolation des vibrations, elle offre un environnement de mouvement stable et précis pour les tests de systèmes de navigation inertielle, améliorant ainsi la précision et la fiabilité des tests.
Usinage des aubes de turboréacteurs : La précision d’usinage des aubes de turboréacteurs influe considérablement sur les performances et le rendement du moteur. La plateforme de déplacement XYT, dotée d’un système d’isolation active des vibrations, peut être utilisée pour l’usinage des aubes, notamment sur les centres d’usinage à cinq axes. Grâce à un contrôle précis de la trajectoire de l’outil et au maintien d’un environnement de traitement stable, elle permet un usinage de haute précision des aubes, garantissant ainsi que la précision du profil et la qualité de surface répondent aux exigences de conception.
tests de recherche scientifique
Recherche en nanosciences : La recherche en nanosciences nécessite la manipulation et l’observation d’objets à l’échelle nanométrique, notamment pour la préparation de nanomatériaux et l’assemblage de nanodispositifs. La plateforme de positionnement XYT, dotée d’un socle en granit et d’un système d’isolation des vibrations actif de précision, offre une précision de positionnement submicronique, voire nanométrique. Elle constitue ainsi une plateforme expérimentale stable et précise pour la recherche en nanosciences et permet aux scientifiques d’explorer plus en profondeur les mystères du monde nanométrique.
Imagerie biomédicale : En biomédecine, notamment pour la microscopie à fluorescence et la microscopie confocale, l’obtention d’images biologiques haute résolution exige un positionnement précis et une imagerie stable de l’échantillon. La plateforme de déplacement XYT, dotée d’un système d’isolation des vibrations actif de précision, permet de transporter des échantillons biologiques, de réduire leurs vibrations et leur dérive grâce à un contrôle précis du mouvement et à d’excellentes performances d’isolation des vibrations. Elle améliore ainsi la qualité et la précision de l’imagerie et aide les chercheurs en biomédecine à mener des recherches approfondies sur les cellules, les tissus et autres structures microscopiques.
Date de publication : 11 avril 2025