Quels sont les scénarios d'application courants de la plate-forme de mouvement d'isolation active des vibrations de précision XYT avec base en granit ?

fabrication de semi-conducteurs
Lithographie : La lithographie est un procédé clé dans la fabrication de semi-conducteurs, nécessitant le transfert précis de motifs de circuits complexes sur les plaquettes. La plateforme de mouvement XYT de précision, à isolation active des vibrations et à base de granit, assure un support stable et un positionnement précis de l'équipement de lithographie. Elle garantit une précision de positionnement de la table de plaquette au nanomètre près lors de l'exposition, réduit efficacement les écarts de motif dus aux vibrations et à la déformation thermique, et améliore la précision de fabrication et le rendement de la puce.

Inspection des plaquettes : Une fois la fabrication des plaquettes terminée, elles doivent être inspectées avec une grande précision afin de détecter les petits défauts. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT peut accueillir des équipements de détection, tels qu'un microscope à faisceau électronique, un microscope à force atomique, etc., pour maintenir un mouvement stable et un positionnement précis pendant le processus de détection, afin que l'équipement puisse scanner la surface de la plaquette avec précision et améliorer la résolution et la précision de la détection.
Fabrication d'instruments optiques
Rectification et polissage des lentilles : Lors de la fabrication de lentilles optiques, il est nécessaire de les meuler et de les polir avec une grande précision afin d'obtenir de bonnes propriétés optiques. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT permet de contrôler avec précision la trajectoire des outils de meulage et de polissage, tandis que la base en granit isole les vibrations externes et réduit leur impact sur la précision d'usinage, garantissant ainsi une planéité et une finition de la lentille conformes aux exigences de conception.
Assemblage du système optique : Lors de l'assemblage du système optique, divers composants optiques doivent être installés avec précision dans une position spécifique pour garantir une propagation précise de la lumière et une qualité d'image optimale. La plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT avec base en granit peut fournir une plateforme stable pour l'installation et le réglage des composants optiques, et réaliser un alignement et un assemblage de haute précision grâce à un contrôle précis du mouvement.
aérospatial

Essais de systèmes de navigation inertielle : Les systèmes de navigation inertielle sont des équipements de navigation importants dans le domaine aérospatial, et leur précision influence directement la précision de navigation et la sécurité des vols des avions. Lors de leurs essais, il est nécessaire d'utiliser une table tournante de haute précision pour simuler les différents états de mouvement de l'avion. La plateforme de mouvement XYT à isolation active des vibrations de précision peut servir de support à la table tournante. Grâce à un contrôle précis des mouvements et à une excellente isolation des vibrations, elle offre un environnement de mouvement stable et précis pour les essais de systèmes de navigation inertielle, améliorant ainsi la précision et la fiabilité des essais.
Usinage des pales de moteurs d'avion : La précision d'usinage des pales de moteurs d'avion a un impact important sur les performances et l'efficacité du moteur. La plateforme de mouvement d'isolation active des vibrations de précision XYT peut être appliquée au processus d'usinage de la pale, comme le centre d'usinage à liaison cinq axes, en contrôlant précisément la trajectoire de mouvement de l'outil et en maintenant un environnement de traitement stable, pour obtenir un usinage de haute précision de la pale, pour garantir que la précision du profil de la pale et la qualité de surface répondent aux exigences de conception.
Tests de recherche scientifique
Recherche en nanosciences : La recherche en nanosciences nécessite l'exploitation et l'observation d'objets à l'échelle nanométrique, notamment pour la préparation de nanomatériaux et l'assemblage de nanodispositifs. La base en granit de la plateforme de mouvement à isolation active des vibrations de précision XYT offre une précision de positionnement submicronique, voire nanométrique. Elle constitue une plateforme expérimentale stable et précise pour la recherche en nanosciences et aide les scientifiques à mieux explorer les mystères du monde nanométrique.
Imagerie biomédicale : Dans le domaine biomédical, comme la microscopie à fluorescence, la microscopie confocale et d'autres dispositifs d'imagerie, afin d'obtenir des images biologiques à haute résolution, un positionnement précis et une imagerie stable de l'échantillon sont nécessaires. La plateforme de mouvement d'isolation active des vibrations de précision XYT peut transporter des échantillons biologiques, réduire les vibrations et la dérive des échantillons grâce à un contrôle précis du mouvement et à de bonnes performances d'isolation des vibrations, améliorer la qualité et la précision de l'imagerie et aider les chercheurs biomédicaux à mener des recherches approfondies sur les cellules, les tissus et d'autres structures microscopiques.