Dans les domaines de la fabrication haut de gamme et de la recherche scientifique de pointe, la plateforme flottante pneumatique de précision à pression statique est un équipement essentiel pour un fonctionnement ultra-précis. La base de précision en granit constitue le support principal de la plateforme, et ses performances sont étroitement liées à l'environnement de travail. La compréhension et le respect de ces exigences environnementales permettent non seulement de garantir un fonctionnement de haute précision de la plateforme, mais aussi d'améliorer la compétitivité de l'entreprise dans des domaines connexes, comme décrit en détail ci-dessous.
1. Température : contrôle précis pour assurer la stabilité dimensionnelle
Bien que le granit soit réputé pour sa stabilité, son coefficient de dilatation thermique n'est pas nul et de faibles variations de température peuvent affecter sa précision dimensionnelle. En général, le coefficient de dilatation thermique du granit est de 5 à 7 × 10⁻⁶/℃. Dans le cas d'une plateforme de mouvement flottante à air comprimé de précision, cette légère variation est amplifiée par la plateforme, ce qui peut entraîner une variation de la précision du mouvement. Par exemple, dans le processus de fabrication de puces semi-conductrices, le procédé de lithographie pour les exigences de précision de positionnement de niveau danami, une fluctuation de température ambiante de 1 °C, la longueur latérale d'une base en granit d'un mètre peut produire une dilatation ou une contraction linéaire de 5 à 7 microns, ce qui est suffisant pour entraîner une variation du motif de lithographie de la puce et réduire le rendement. Par conséquent, la plate-forme flottante à air à pression statique de précision équipée d'une base de précision en granit, la température idéale de l'environnement de travail doit être strictement contrôlée à 20 ° C ± 1 ° C, les entreprises peuvent installer un système de climatisation à température constante de haute précision, surveiller en continu et ajuster avec précision la température ambiante, maintenir la stabilité de la taille de la base en granit, pour garantir un fonctionnement de haute précision de la plate-forme.
2. humidité : contrôle raisonnable, protéger les performances de base
L'humidité a également un impact significatif sur les bases de précision en granit. Dans un environnement très humide, le granit absorbe facilement la vapeur d'eau, ce qui peut entraîner de la condensation à la surface, ce qui non seulement perturbe le fonctionnement normal du système de flottation à air, mais entraîne également une érosion à long terme de la surface du granit, réduisant ainsi sa précision et sa durée de vie. Prenons l'exemple d'un atelier de rectification de lentilles optiques : si l'humidité relative est supérieure à 60 % HR pendant une période prolongée, la vapeur d'eau adsorbée à la surface du granit altère l'uniformité du film de flottation à air, ce qui entraîne une diminution de la précision de rectification des lentilles et des défauts de surface. Par conséquent, l'humidité relative de l'environnement de travail doit être maintenue entre 40 % et 60 % HR. Les entreprises peuvent utiliser des déshumidificateurs, des capteurs d'humidité et d'autres équipements pour surveiller et contrôler l'humidité en temps réel, créer un environnement d'humidité adapté au système de flottation à air et garantir le fonctionnement stable de la plateforme de mouvement de précision à pression statique.
3. propreté : contrôler strictement, éliminer les interférences des particules
Les particules de poussière sont l'ennemi juré des plateformes de précision à air comprimé et à pression statique, et endommagent gravement la base de précision en granit. Une fois que ces particules pénètrent dans l'espace entre le coulisseau et la base, elles peuvent altérer l'uniformité du film gazeux, augmenter la friction et même rayer la surface de la base, affectant gravement la précision du mouvement de la plateforme. Dans les ateliers d'usinage de haute précision de pièces aéronautiques, si des particules de poussière en suspension dans l'air tombent sur la base en granit, la trajectoire de l'outil peut être déviée, affectant ainsi la précision d'usinage des pièces. Par conséquent, la zone de travail doit être maintenue parfaitement propre et atteindre un niveau de propreté de 10 000 ou plus. Les entreprises peuvent filtrer les particules de poussière en suspension dans l'air en installant des filtres à air haute efficacité (HEPA) et exiger du personnel le port de vêtements et de couvre-chaussures anti-poussière, etc., afin de réduire la poussière apportée par l'homme et de maintenir un environnement de travail de haute précision pour les plateformes de précision à air comprimé et à pression statique.
4. Vibration : Isolation efficace pour créer un espace lisse
Les vibrations externes peuvent sérieusement perturber la précision de la plateforme flottante à air comprimé de précision. Bien que la base en granit de précision présente une certaine capacité d'atténuation des vibrations, des vibrations de forte intensité peuvent néanmoins dépasser sa limite d'amortissement. Les vibrations générées par la circulation autour de l'usine et le fonctionnement des gros équipements mécaniques sont transmises à la base en granit par le sol, ce qui perturbe la précision du mouvement de la plateforme. Sur les MMT haut de gamme, les vibrations peuvent rendre le contact entre la sonde de mesure et la pièce à mesurer instable, entraînant une distorsion des données de mesure. Pour résoudre ce problème, il est nécessaire d'adopter des mesures d'isolation vibratoire efficaces, telles que la pose de plots antivibratoires dans la zone d'installation des équipements, la construction de fondations antivibratoires ou l'utilisation d'un système d'isolation active des vibrations pour compenser activement les vibrations externes, et ainsi créer un environnement de travail silencieux et stable pour la base en granit et la plateforme flottante à air comprimé de précision.
Répondre aux exigences environnementales susmentionnées permet d'exploiter pleinement les avantages de la base de précision en granit de la plateforme de mouvement flottant à air comprimé de précision, garantissant ainsi des services de contrôle de mouvement de haute précision et de haute stabilité pour divers secteurs. En intégrant ces aspects dans leur environnement de production, les entreprises saisiront les opportunités offertes par la fabrication de précision, la recherche scientifique et d'autres domaines, renforceront leur compétitivité et favoriseront un développement durable.
Date de publication : 10 avril 2025