Les équipements de traitement des plaquettes font partie intégrante du processus de fabrication des semi-conducteurs. Ces machines sont composées de divers composants, dont des composants en granit. Le granit est un matériau idéal pour ces composants grâce à son excellente stabilité et sa durabilité. Cependant, comme tout autre matériau, les composants en granit sont sujets à des défauts qui peuvent affecter les performances et l'efficacité des équipements de traitement des plaquettes. Dans cet article, nous aborderons quelques défauts courants des composants en granit dans les équipements de traitement des plaquettes.
1. Fissures :
Les fissures sont l'un des défauts les plus courants des éléments en granit. Ces fissures peuvent résulter de divers facteurs, notamment de fortes variations de température, des contraintes mécaniques, une mauvaise manipulation et un entretien inadéquat. Elles peuvent altérer l'intégrité structurelle des éléments en granit, les rendant plus vulnérables aux défaillances. De plus, elles peuvent favoriser la concentration des contraintes, aggravant ainsi les dommages.
2. Écaillage :
L'écaillage est un autre défaut susceptible d'apparaître sur les composants en granit. Il peut résulter de divers incidents, tels que des collisions accidentelles, une mauvaise manipulation ou l'usure. Les composants en granit écaillés peuvent présenter une surface rugueuse et des bords irréguliers, susceptibles d'endommager les plaquettes lors de la fabrication. De plus, l'écaillage peut compromettre la précision dimensionnelle du composant, entraînant un dysfonctionnement des équipements et des arrêts de production.
3. Usure :
L'utilisation continue et l'exposition constante à des matériaux abrasifs peuvent entraîner l'usure des composants en granit. Avec le temps, l'usure peut entraîner une baisse des performances et de l'efficacité de l'équipement de traitement des plaquettes. De plus, elle peut entraîner une augmentation des coûts de maintenance et de remplacement.
4. Désalignement :
Les composants en granit, tels que les tables et les mandrins de traitement des plaquettes, doivent être alignés avec précision pour maintenir la précision et la régularité requises lors du processus de fabrication. Cependant, un mauvais alignement peut survenir pour diverses raisons, comme une installation incorrecte, l'exposition aux vibrations ou l'endommagement des composants. Ce défaut d'alignement peut entraîner des imprécisions lors de la fabrication des plaquettes, et donc des produits défectueux.
5. Corrosion :
Le granit est un matériau inerte résistant à la plupart des produits chimiques et solvants. Cependant, une exposition prolongée à des produits chimiques agressifs, tels que les acides ou les alcalis, peut entraîner la corrosion des composants en granit. Cette corrosion peut entraîner des piqûres de surface, une décoloration ou une perte de précision dimensionnelle.
Conclusion:
Les composants en granit sont essentiels à la stabilité et à la fiabilité des équipements de traitement des plaquettes. Cependant, des défauts tels que fissures, écaillages, usure, défauts d'alignement et corrosion peuvent altérer les performances et l'efficacité de ces composants. Un entretien approprié, une manipulation adéquate et des inspections régulières peuvent contribuer à prévenir et à atténuer l'impact de ces défauts. En les corrigeant efficacement, nous pouvons garantir le fonctionnement continu de ces composants critiques et maintenir la qualité et la précision des équipements de traitement des plaquettes.
Date de publication : 02/01/2024