Fabrication de semi-conducteurs : Dans le processus de fabrication de puces, la photolithographie nécessite un transfert précis du motif du circuit sur la plaquette. La base en granit du module de mouvement ultra-précis à axe unique et à suspension pneumatique assure un positionnement précis et un support stable de la table de la plaquette dans l'équipement de lithographie. Par exemple, ASML et d'autres fabricants de machines de lithographie de renommée internationale utilisent des modules de mouvement à suspension pneumatique à base de granit dans leurs équipements haut de gamme. Ces modules permettent de contrôler la précision de positionnement de la plaquette à l'échelle nanométrique afin de garantir la précision du motif de lithographie, améliorant ainsi l'intégration et les performances de la puce.
Domaine de la mesure de précision : la MMT est un équipement de mesure de précision couramment utilisé en production industrielle. Elle permet de mesurer la taille, la forme et la position précises des pièces. Le module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique mono-axe sur socle en granit peut servir de plateforme de mouvement à la MMT, permettant ainsi un mouvement linéaire de haute précision et une trajectoire stable pour la sonde de mesure. Par exemple, la MMT haut de gamme d'Hexagon utilise cette combinaison pour mesurer des pièces volumineuses et complexes avec une précision de mesure allant jusqu'au micron, offrant ainsi une garantie solide pour le contrôle qualité des pièces dans les secteurs de l'automobile, de l'aéronautique et d'autres industries.
Domaine aérospatial : L'usinage et le contrôle des pièces aérospatiales requièrent une grande précision. Par exemple, l'usinage des aubes de moteurs d'avion exige un contrôle précis de la trajectoire de l'outil afin de garantir la précision du profil de l'aube. La base en granit du module de mouvement ultra-précis à flotteur pneumatique mono-axe peut être appliquée aux centres d'usinage cinq axes et autres équipements pour assurer un contrôle précis du mouvement de l'outil et garantir que la précision d'usinage de l'aube répond aux exigences de conception. Parallèlement, lors de l'assemblage des moteurs d'avion, l'utilisation d'équipements de mesure de haute précision est également nécessaire pour vérifier la précision de l'assemblage des pièces. Le module de mouvement à flotteur pneumatique de la base en granit offre un support stable et un mouvement précis à l'équipement de mesure afin de garantir la qualité de l'assemblage.
Domaine de l'inspection optique : La fabrication et le test de composants optiques nécessitent un positionnement et une mesure de haute précision. Par exemple, lors de la fabrication de composants optiques de haute précision tels que des miroirs et des lentilles, l'utilisation d'interféromètres et d'autres équipements est nécessaire pour détecter la précision de la forme de surface. La base en granit du module de mouvement ultra-précis à axe unique, flottant dans l'air, peut servir de plateforme de déplacement à l'interféromètre, permettant une précision de positionnement submicronique et fournissant des données précises pour la détection des composants optiques. De plus, dans les équipements d'usinage laser, l'utilisation d'une plateforme de mouvement de haute précision est également nécessaire pour contrôler la trajectoire de balayage du faisceau laser. La base en granit du module de mouvement à axe unique, flottant dans l'air, répond à cette exigence et permet un usinage laser de haute précision.
Date de publication : 07/04/2025