Fabrication de semi-conducteurs : Lors de la fabrication de puces, le procédé de photolithographie nécessite le transfert précis du motif du circuit sur la plaquette. Le module de déplacement ultra-précis à coussin d'air sur socle en granit assure un positionnement de haute précision et un support stable pour la table porte-plaquette dans l'équipement de lithographie. Par exemple, ASML et d'autres fabricants de machines de lithographie de renommée internationale utilisent des modules de déplacement à coussin d'air sur socle en granit dans leurs équipements haut de gamme. Ces modules permettent de contrôler la précision de positionnement de la plaquette au nanomètre près, garantissant ainsi la précision du motif lithographié et améliorant l'intégration et les performances de la puce.
Domaine de la mesure de précision : La machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) est un équipement de mesure de précision couramment utilisé dans la production industrielle. Elle permet de mesurer la taille, la forme et la précision de position des pièces. Le module de déplacement ultra-précis à coussin d'air mono-axe sur base en granit sert de plateforme de déplacement à la MMT, assurant un mouvement linéaire de haute précision et une trajectoire stable pour le palpeur. Par exemple, la MMT haut de gamme d'Hexagon utilise cette combinaison pour mesurer des pièces volumineuses et complexes avec une précision micrométrique, garantissant ainsi un contrôle qualité rigoureux dans les secteurs de l'automobile, de l'aérospatiale et autres.
Domaine aérospatial : L’usinage et le contrôle des pièces aérospatiales exigent une haute précision. Par exemple, l’usinage des aubes de moteurs d’avion nécessite un contrôle précis de la trajectoire de l’outil afin de garantir la précision du profil de l’aube. Le module de mouvement ultra-précis à coussin d’air mono-axe, monté sur une base en granit, peut être utilisé sur les centres d’usinage cinq axes et autres équipements pour assurer un contrôle de mouvement de haute précision de l’outil et garantir ainsi que la précision d’usinage de l’aube réponde aux exigences de conception. Parallèlement, lors de l’assemblage des moteurs d’avion, l’utilisation d’équipements de mesure de haute précision est indispensable pour contrôler la précision d’assemblage des pièces. Le module de mouvement à coussin d’air monté sur une base en granit assure un support stable et un mouvement précis de ces équipements de mesure, garantissant ainsi la qualité de l’assemblage.
Domaine de l'inspection optique : Lors de la fabrication et du contrôle des composants optiques, un positionnement et une mesure de haute précision sont indispensables. Par exemple, pour la fabrication de composants optiques de haute précision tels que les miroirs et les lentilles, l'utilisation d'interféromètres et d'autres équipements est nécessaire pour vérifier la précision de la forme de surface. Le module de déplacement ultra-précis mono-axial à suspension pneumatique, reposant sur une base en granit, peut servir de plateforme de déplacement pour l'interféromètre. Il permet d'atteindre une précision de positionnement submicronique et fournit des données précises pour le contrôle des composants optiques. De plus, dans les équipements de traitement laser, une plateforme de déplacement de haute précision est également nécessaire pour contrôler la trajectoire du faisceau laser. Le module de déplacement à suspension pneumatique reposant sur une base en granit répond à cette exigence et permet un traitement laser de haute précision.
Date de publication : 7 avril 2025