Le granit est une roche dure devenue un matériau indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses propriétés lui permettent de résister à de hautes températures, ce qui le rend idéal pour différentes étapes de la fabrication des dispositifs semi-conducteurs. De ce fait, l'assemblage de granit trouve de nombreuses applications dans la production de dispositifs semi-conducteurs.
L'une des applications les plus courantes de l'assemblage de granit réside dans la construction de structures de machines-outils de haute précision. La rigidité et la stabilité du granit permettent de produire des outils précis et exacts, avec une déformation minimale voire nulle. Ce niveau de précision est indispensable dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, comme l'implantation ionique, où le faisceau doit être dirigé avec exactitude sur la plaquette.
L'assemblage de granit trouve également une application dans la fabrication de semi-conducteurs, notamment pour la construction d'équipements de métrologie. Ces équipements sont essentiels aux procédés de fabrication des semi-conducteurs, car ils permettent de mesurer et de vérifier la précision des dispositifs produits. La stabilité dimensionnelle du granit, sa faible dilatation thermique et ses excellentes propriétés d'amortissement des vibrations en font un matériau de choix pour la construction de ces équipements. On l'utilise notamment pour les grandes surfaces de granit servant à la préparation et au contrôle des plaquettes de silicium.
Les tables optiques constituent un autre domaine d'application important de l'assemblage en granit dans l'industrie des semi-conducteurs. Elles servent notamment au test de dispositifs optiques tels que les guides d'ondes pour les communications de données. La planéité, la faible dilatation thermique, la grande rigidité et la stabilité mécanique du granit lui confèrent une surface extrêmement stable pour le montage et le positionnement des optiques. Les tables optiques en granit offrent ainsi la stabilité et la rigidité nécessaires à des tests précis et exacts de ces dispositifs.
Le granit est également utilisé dans la fabrication de plateaux et de platines porte-plaquettes. Lors de la fabrication de semi-conducteurs, la précision de l'alignement et du positionnement est cruciale. Les plateaux porte-plaquettes, qui maintiennent les plaquettes en place pendant le traitement, doivent garantir une précision de positionnement optimale tout en résistant aux hautes températures et au vide. Le granit présente une excellente stabilité dimensionnelle sur une large plage de températures et résiste au vide, ce qui le rend idéal pour la fabrication de plateaux porte-plaquettes. Les platines utilisées pour le déplacement des plaquettes effectuent une séquence de mouvements cycliques lors du processus de fabrication de semi-conducteurs. L'assemblage en granit offre la stabilité et la durabilité nécessaires pour supporter ces cycles de mouvement continus et répétitifs.
En résumé, l'utilisation du granit dans l'assemblage est très répandue dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses propriétés, telles que la stabilité dimensionnelle, la faible dilatation thermique, la grande rigidité et l'amortissement des vibrations, en font un matériau idéal pour diverses étapes de la fabrication des dispositifs semi-conducteurs. De la construction de machines-outils de haute précision et d'équipements de métrologie aux tables optiques, en passant par les porte-plaquettes et les mandrins, les atouts du granit sont essentiels pour garantir la stabilité, la précision et la répétabilité nécessaires à une fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
Date de publication : 6 décembre 2023