Le granit est une roche dure devenue un matériau incontournable dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses propriétés lui permettent de résister à des températures élevées, ce qui le rend idéal pour une utilisation à différentes étapes de la fabrication de semi-conducteurs. De ce fait, l'assemblage du granit a trouvé de nombreuses applications dans la fabrication de semi-conducteurs.
L'une des applications les plus courantes de l'assemblage du granit est la construction de structures de machines-outils de haute précision. La rigidité et la stabilité du granit permettent de produire des outils précis et exacts avec peu ou pas de déformation. Ce niveau de précision est nécessaire dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs tels que l'implantation ionique, où le faisceau doit être dirigé avec précision sur la plaquette.
L'assemblage du granit est également utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour la construction d'équipements de métrologie. Ces équipements sont essentiels aux processus de fabrication des semi-conducteurs, car ils permettent de mesurer et de vérifier la précision des dispositifs produits. La stabilité dimensionnelle du granit, sa faible dilatation thermique et ses excellentes propriétés d'amortissement des vibrations en font un matériau de choix pour la construction d'équipements de métrologie. Cela inclut les grandes surfaces de granit utilisées pour la préparation et l'inspection des plaquettes.
Les tables optiques constituent un autre domaine d'application important de l'assemblage en granit dans l'industrie des semi-conducteurs. Elles sont utilisées pour tester des dispositifs optiques tels que les guides d'ondes pour la communication de données. La planéité, la faible dilatation thermique, la grande rigidité et la stabilité mécanique du granit lui confèrent une surface extrêmement stable pour le montage et le positionnement des optiques. Les tables optiques en granit offrent la stabilité et la rigidité nécessaires à la réalisation de tests précis et précis des dispositifs optiques.
Le granit est également utilisé dans la construction de mandrins et d'étages de wafers. Lors de la fabrication des semi-conducteurs, la précision de l'alignement et du contrôle du positionnement est cruciale. Les mandrins, qui maintiennent les wafers en place pendant le traitement, doivent maintenir leur positionnement précis tout en résistant aux températures élevées et au vide. Le granit présente une excellente stabilité dimensionnelle sur une large plage de températures et peut supporter le vide, ce qui le rend idéal pour la construction de mandrins de wafers. Les étages utilisés pour déplacer les wafers d'une position à une autre subissent une séquence de mouvements cycliques lors du processus de fabrication des semi-conducteurs. L'assemblage en granit offre la stabilité et la durabilité nécessaires pour supporter les cycles de mouvement continus et répétitifs.
En résumé, les applications de l'assemblage en granit dans l'industrie des semi-conducteurs sont vastes. Ses propriétés, telles que la stabilité dimensionnelle, la faible dilatation thermique, la grande rigidité et l'amortissement des vibrations, en font un matériau idéal pour les différentes étapes de la fabrication des semi-conducteurs. De la construction de machines-outils et d'équipements de métrologie de haute précision aux tables optiques, aux platines et mandrins de plaquettes, les propriétés du granit jouent un rôle crucial pour assurer la stabilité, la précision et la répétabilité nécessaires à la fabrication de semi-conducteurs de haute qualité.
Date de publication : 6 décembre 2023