Les zones d'application de l'assemblage de granit pour les produits de dispositifs de processus de fabrication de semi-conducteurs

Le granit est un type de roche dure qui est devenu un matériau indispensable dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ses propriétés lui permettent de résister à des températures élevées, ce qui le rend idéal pour une utilisation à différentes étapes des processus de fabrication de l'appareil semi-conducteur. En conséquence, l'assemblage de granit a trouvé de vastes zones d'application dans les produits de dispositifs de processus de fabrication de semi-conducteurs.

L'une des applications les plus utilisées de l'assemblage de granit réside dans la construction de structures de machines-outils de haute précision. La rigidité et la stabilité du granit permettent de produire des outils précis et précis avec peu ou pas de déformation. Ce niveau de précision est nécessaire dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que l'implantation d'ions, où le faisceau doit être dirigé avec précision sur la tranche.

Une autre application de l'assemblage de granit dans la fabrication de semi-conducteurs réside dans la construction d'équipements de métrologie. L'équipement de métrologie est vital dans les processus de fabrication de semi-conducteurs car il mesure et vérifie la précision des appareils produits. La stabilité dimensionnelle du granit, la faible extension thermique et les excellentes propriétés d'amortissement des vibrations en font le matériau de choix dans la construction de l'équipement de métrologie. Cela comprend les grandes surfaces de granit utilisées dans la mise en scène et l'inspection des plaquettes.

Les tables optiques sont encore un autre domaine d'application approfondie de l'assemblage de granit dans l'industrie des semi-conducteurs. Les tables optiques sont utilisées dans le test de dispositifs optiques tels que les guides d'ondes pour la communication de données. La planéité du granit, la faible extension thermique, la rigidité élevée et la stabilité mécanique lui permettent de fournir une surface très stable pour le montage et le positionnement de l'optique. Les tables optiques en granit peuvent fournir la stabilité et la rigidité nécessaires pour effectuer des tests précis et précis des dispositifs optiques.

Le granit trouve également une application dans la construction de chucks et de stades de plaquettes. Pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs, l'alignement de précision et le contrôle de la position sont cruciaux. Les déchucks à la plaque, qui maintiennent les plaquettes en place pendant le traitement, doivent maintenir la précision de la position tout en résumant des températures élevées et des conditions d'aspirateur. Le granit a une excellente stabilité dimensionnelle sur une large gamme de températures et peut résister à des conditions de vide, ce qui le rend idéal pour la construction de enfants à la plaque. Les étapes utilisées dans le mouvement des plaquettes d'une position à une autre passent par une séquence de cyclisme de mouvements pendant un processus de fabrication de semi-conducteurs. L'assemblage de granit assure la stabilité et la durabilité nécessaires pour supporter les cycles de mouvement continus et répétitifs.

En résumé, l'application de l'assemblage de granit dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs est vaste. Ses propriétés telles que la stabilité dimensionnelle, la faible extension thermique, la rigidité élevée et l'amortissement des vibrations en font un matériau idéal pour une utilisation à divers stades des processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. De la construction de machines-outils de haute précision et d'équipement de métrologie aux tables optiques et aux scènes de plaquettes et aux enfants, les attributs de Granite jouent un rôle crucial dans l'offre de stabilité, de précision et de répétabilité nécessaire pour réaliser la fabrication de dispositifs de semi-conducteurs de haute qualité.

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Heure du poste: DEC-06-2023