Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, la découpe des plaquettes est une étape cruciale qui exige une précision et une stabilité élevées de la part des équipements. Les socles de machines en granit ZHHIMG® offrent de nombreux avantages pour les machines de découpe de plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour cette application exigeante.
Stabilité exceptionnelle : avec sa densité d'environ 3 100 kg/m³, le granit ZHHIMG® offre une base solide pour les machines de découpe de wafers. Sa haute densité assure une excellente stabilité, minimisant tout mouvement ou vibration pendant la découpe. Cette stabilité est cruciale, car la moindre vibration peut entraîner une déviation de l'outil de coupe, entraînant des coupes imprécises et des wafers défectueux. Contrairement aux matériaux de densité inférieure, le granit ZHHIMG® garantit un positionnement précis de la tête de coupe, permettant ainsi des coupes de haute qualité et uniformes sur toute la surface du wafer.
Faible dilatation thermique. Les installations de fabrication de semi-conducteurs sont souvent soumises à un contrôle strict de la température, mais de légères fluctuations peuvent néanmoins se produire. Le granit ZHHIMG® présente un très faible coefficient de dilatation thermique. Ainsi, même en cas de légère variation de température dans l'environnement de fabrication, la base de la machine en granit ne se dilate ni ne se contracte de manière significative. Lors de la découpe de plaquettes, où les tolérances de précision sont de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre, les variations dimensionnelles induites par la chaleur peuvent être désastreuses. La faible dilatation thermique du granit ZHHIMG® permet de maintenir l'alignement des composants de la machine, garantissant ainsi la précision du processus de découpe, quelles que soient les variations de température.
Amortissement supérieur des vibrations : lors de la découpe de plaquettes, l'outil de coupe génère des vibrations. Si ces vibrations ne sont pas efficacement amorties, elles peuvent se propager à la plaquette et provoquer des éclats ou d'autres dommages. Le granit ZHHIMG® possède des propriétés naturelles d'amortissement des vibrations. Sa structure interne, formée au cours de longues périodes géologiques, lui permet d'absorber et de dissiper rapidement les vibrations. C'est un avantage considérable par rapport à certains socles de machines métalliques, qui peuvent transmettre les vibrations plus facilement. En réduisant les vibrations, les socles de machines en granit ZHHIMG® contribuent à des opérations de découpe plus fluides, pour des coupes plus nettes et des plaquettes de meilleure qualité.
Haute résistance à l'usure. Les machines de découpe de plaquettes sont utilisées en continu dans la fabrication de semi-conducteurs en grande série. Le processus de découpe soumet la base de la machine à des contraintes mécaniques et à des frottements. La dureté élevée et la résistance à l'usure du granit ZHHIMG® permettent à la base de la machine de supporter ces forces sur de longues périodes sans usure significative. Cette durabilité permet à la base de la machine de conserver sa précision dimensionnelle et ses performances tout au long de sa durée de vie. Elle réduit les remplacements fréquents et les coûts de maintenance coûteux liés à l'usure, ce qui permet aux fabricants de semi-conducteurs de gagner du temps et de l'argent.
Inertie chimique : Les environnements de fabrication de semi-conducteurs peuvent exposer les équipements à divers produits chimiques utilisés lors du nettoyage, de la gravure ou d'autres procédés. Le granit ZHHIMG® est chimiquement inerte et résiste à la corrosion causée par ces produits. Cette propriété garantit l'intégrité de la base de la machine, même exposée à des substances chimiques agressives. Elle contribue à maintenir la stabilité et la précision de la machine de découpe de wafers au fil du temps, car la corrosion chimique pourrait entraîner une déformation ou une dégradation des performances de la base de la machine.
En résumé, les socles de machine en granit ZHHIMG® allient stabilité, résistance thermique, amortissement des vibrations, résistance à l'usure et inertie chimique, deux atouts majeurs pour les machines de découpe de wafers. Lors de l'achat d'une nouvelle machine ou d'une mise à niveau de votre équipement de découpe de wafers, choisir une machine équipée d'un socle en granit ZHHIMG® est une décision judicieuse qui peut améliorer la qualité et l'efficacité des processus de fabrication de semi-conducteurs.
Date de publication : 03/06/2025