Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, la découpe des plaquettes est une étape cruciale qui exige une grande précision et une excellente stabilité de la part des équipements. Les socles de machines en granit ZHHIMG® offrent plusieurs avantages distincts lorsqu'ils sont utilisés dans les machines de découpe de plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour cette application exigeante.
Stabilité exceptionnelle : le granit ZHHIMG®, d'une densité d'environ 3 100 kg/m³, offre une base extrêmement stable aux machines de découpe de plaquettes. Cette densité élevée garantit une excellente stabilité, minimisant ainsi tout mouvement ou vibration pendant la découpe. Cette stabilité est cruciale, car même la plus infime vibration peut entraîner une déviation de l'outil de coupe, provoquant des découpes imprécises et des plaquettes défectueuses. Contrairement aux matériaux de plus faible densité, le granit ZHHIMG® assure un positionnement précis de la tête de coupe, permettant ainsi de réaliser des découpes de haute qualité et homogènes sur toute la plaquette.
Faible dilatation thermique : Les installations de fabrication de semi-conducteurs sont souvent soumises à un contrôle strict de la température, mais de légères fluctuations peuvent néanmoins survenir. Le granit ZHHIMG® présente un coefficient de dilatation thermique très faible. Ainsi, même en cas de légères variations de température dans l'environnement de production, le socle en granit de la machine ne se dilate ni ne se contracte de manière significative. Lors de la découpe de plaquettes, où les tolérances de précision sont de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre, les variations dimensionnelles induites par la température peuvent être catastrophiques. La faible dilatation thermique du granit ZHHIMG® contribue à maintenir l'alignement des composants de la machine de découpe, garantissant ainsi la précision du processus de découpe malgré de faibles variations de température.
Amortissement supérieur des vibrations : Lors de la découpe de plaquettes, l’outil de coupe génère des vibrations. Si ces vibrations ne sont pas efficacement amorties, elles peuvent se transmettre à la plaquette et provoquer des ébréchures ou d’autres dommages. Le granit ZHHIMG® possède des propriétés naturelles d’amortissement des vibrations. Sa structure interne, formée sur de longues périodes géologiques, lui permet d’absorber et de dissiper rapidement les vibrations. Il s’agit d’un avantage significatif par rapport à certains socles de machines en métal, qui peuvent transmettre les vibrations plus facilement. En réduisant les vibrations, les socles de machines en granit ZHHIMG® contribuent à des opérations de découpe plus fluides, pour des coupes plus nettes et des plaquettes de qualité supérieure.
Haute résistance à l'usure : Les machines de découpe de plaquettes sont utilisées en continu dans la production de semi-conducteurs à grande échelle. Le processus de découpe soumet le bâti de la machine à des contraintes mécaniques et à des frottements. La dureté élevée et la résistance à l'usure du granit ZHHIMG® permettent au bâti de supporter ces contraintes pendant de longues périodes sans usure significative. Cette durabilité garantit le maintien de la précision dimensionnelle et des performances du bâti tout au long de sa durée de vie. Elle réduit ainsi la fréquence des remplacements et les coûts de maintenance liés à l'usure, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de réaliser des économies de temps et d'argent.
Inertie chimique : Dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs, les équipements peuvent être exposés à divers produits chimiques utilisés pour le nettoyage, la gravure ou d'autres procédés. Le granit ZHHIMG® est chimiquement inerte et résistant à la corrosion par ces produits. Cette propriété garantit l'intégrité du bâti de la machine, même en présence de substances chimiques agressives. Elle contribue à maintenir la stabilité et la précision de la machine de découpe de plaquettes dans le temps, car la corrosion chimique pourrait sinon entraîner une déformation ou une dégradation des performances du bâti.
En résumé, les socles en granit ZHHIMG® offrent une combinaison de stabilité, de résistance thermique, d'amortissement des vibrations, de résistance à l'usure et d'inertie chimique, autant d'atouts précieux pour les machines de découpe de plaquettes. Lors de la modernisation ou de l'acquisition d'un équipement de découpe de plaquettes, opter pour une machine dotée d'un socle en granit ZHHIMG® représente un choix judicieux, gage d'une meilleure qualité et d'une efficacité accrue des processus de fabrication de semi-conducteurs.
Date de publication : 3 juin 2025