Dans l'industrie des semi-conducteurs, l'inspection des plaquettes est essentielle pour garantir la qualité et les performances des puces. La précision et la stabilité de la table d'inspection jouent un rôle déterminant dans les résultats de détection. La base en granit, aux caractéristiques uniques, est le choix idéal pour une table d'inspection de plaquettes de semi-conducteurs. L'analyse multidimensionnelle est faite pour vous.
Tout d’abord, la dimension de garantie de précision
1. Planéité et rectitude ultra-élevées : la base en granit est usinée grâce à une technologie de traitement avancée. La planéité peut atteindre une précision de ± 0,001 mm/m, voire plus, et la rectitude est excellente. Lors de l'inspection des plaquettes, le plan de haute précision assure un support stable et un contact précis entre la sonde de l'équipement d'inspection et les soudures à la surface de la plaquette.
2. Très faible coefficient de dilatation thermique : la fabrication des semi-conducteurs est sensible aux variations de température, et le coefficient de dilatation thermique du granit est extrêmement faible, généralement d'environ 5×10⁻⁶/℃. Lorsque la plateforme de détection fonctionne, même en cas de variation de température ambiante, la taille de la base en granit varie très peu. Par exemple, dans un atelier à haute température en été, la température de la plateforme de détection à base métallique peut entraîner un décalage de la position relative de la plaquette et de l'équipement de détection, affectant ainsi la précision de la détection. La plateforme de détection à base de granit peut maintenir la stabilité, garantir la précision de la position relative de la plaquette et de l'équipement de détection pendant le processus de détection et fournir un environnement stable pour une détection de haute précision.
Deuxièmement, la dimension de stabilité
1. Structure stable et résistance aux vibrations : Après des millions d'années de processus géologiques, le granit présente une structure interne dense et uniforme. Dans l'environnement complexe d'une usine de semi-conducteurs, les vibrations générées par le fonctionnement des équipements périphériques et la circulation du personnel sont efficacement atténuées par la base granitique.
2. Précision d'utilisation à long terme : comparé à d'autres matériaux, le granit présente une dureté élevée et une forte résistance à l'usure, avec une dureté Mohs pouvant atteindre 6-7. La surface de la base en granit est peu sujette à l'usure lors des fréquents chargements, déchargements et inspections de plaquettes. Selon les statistiques d'utilisation réelle, l'utilisation d'une table d'essai à base de granit, en fonctionnement continu après 5 000 heures, permet de maintenir la planéité et la rectitude à plus de 98 % de la précision initiale, réduisant ainsi l'usure de la base due aux étalonnages et aux maintenances réguliers, réduisant ainsi les coûts d'exploitation et garantissant la stabilité à long terme des essais.
Troisièmement, la dimension propre et anti-interférence
1. Faible production de poussière : l'environnement de fabrication des semi-conducteurs doit être extrêmement propre, et le granit lui-même est stable et ne génère pas facilement de particules de poussière. Pendant le fonctionnement de la plateforme de test, la poussière générée par la base ne pollue pas la plaquette, réduisant ainsi le risque de court-circuit et de circuit ouvert dû aux particules de poussière. Dans la zone d'inspection des plaquettes de l'atelier sans poussière, la concentration de poussière autour de la table d'inspection de la base en granit est toujours maintenue à un niveau extrêmement bas, répondant ainsi aux exigences strictes de propreté de l'industrie des semi-conducteurs.
2. Absence d'interférence magnétique : l'équipement de détection est sensible à l'environnement électromagnétique. Le granit, matériau amagnétique, n'interfère pas avec le signal électronique de l'équipement. Lors de l'utilisation de la détection par faisceau d'électrons et d'autres technologies de test exigeant un environnement électromagnétique extrêmement élevé, la base en granit assure la transmission stable du signal électronique de l'équipement de détection et garantit la précision des résultats. Par exemple, lors des tests de haute précision des performances électriques de la plaquette, la base en granit amagnétique évite toute interférence avec les signaux de courant et de tension de détection, de sorte que les données de détection reflètent fidèlement les caractéristiques électriques de la plaquette.
Date de publication : 31 mars 2025