Le lit de granit est un composant important dans divers dispositifs semi-conducteurs.En tant que matériau hautement stable et rigide, le granit est largement utilisé comme base pour les équipements de traitement des semi-conducteurs.Il se caractérise par son faible coefficient de dilatation thermique, sa stabilité dimensionnelle élevée et ses excellentes propriétés mécaniques.En raison de ces propriétés, le lit de granit est le plus couramment utilisé dans trois types différents de dispositifs à semi-conducteurs : les équipements de métrologie, les équipements de lithographie et les équipements d'inspection.
L'équipement de métrologie est utilisé pour mesurer et détecter les dimensions critiques des dispositifs semi-conducteurs.Il joue un rôle crucial dans le maintien de la qualité et de la cohérence du processus de fabrication des semi-conducteurs.L'équipement de métrologie comprend des instruments tels que des microscopes optiques, des microscopes électroniques et des microscopes à force atomique (AFM).Étant donné que les performances de ces instruments de mesure dépendent de leur stabilité, de leur précision et de leur résistance aux vibrations, le granit est le choix idéal pour le matériau de leur lit.L'uniformité et la stabilité du lit de granit fournissent une plate-forme stable pour les instruments, ce qui améliore leur précision et leur fiabilité.
Un équipement de lithographie est utilisé pour créer les motifs de micropuces sur la plaquette.Le processus de lithographie nécessite un haut niveau de précision et d’exactitude pour créer des circuits complexes et améliorer les performances des puces.L'équipement de lithographie comprend des systèmes pas à pas et un scanner qui utilisent la lumière pour transférer des images sur la tranche.Le processus de lithographie étant très sensible aux vibrations et aux changements thermiques, un lit de haute qualité est essentiel pour garantir la stabilité et la répétabilité du processus de lithographie.Les lits de granit offrent la stabilité requise et des performances d’amortissement des vibrations rigoureuses pour les systèmes de lithographie.Le lit de granit permet au système pas à pas ou au scanner de maintenir des relations spatiales précises garantissant une grande précision et la qualité du produit final.
L'équipement d'inspection est utilisé pour détecter tout défaut dans les dispositifs semi-conducteurs.L'équipement d'inspection comprend des systèmes tels que des microscopes à balayage laser, des microscopes électroniques et des microscopes optiques.Ces appareils devant être très précis, stables et résistants aux vibrations, les lits de granit sont le matériau idéal.Les propriétés mécaniques et la stabilité dimensionnelle du granit contribuent à l'isolation des vibrations, ce qui améliore la précision des résultats de l'équipement d'inspection.
En conclusion, le lit de granit est crucial pour l’industrie des semi-conducteurs et est largement utilisé dans différents types d’équipements.Ses propriétés uniques telles que la stabilité dimensionnelle, le faible coefficient de dilatation thermique et l’excellente stabilité mécanique font du granit le choix idéal pour le matériau du lit des équipements semi-conducteurs.Comme le lit de granit de haute qualité offre la stabilité, la précision et la résistance aux vibrations nécessaires à l’équipement semi-conducteur, il améliore en fin de compte la qualité du produit final.Par conséquent, l’utilisation de lits de granit dans les équipements semi-conducteurs se poursuivra certainement dans les années à venir.
Heure de publication : 03 avril 2024