Le lit de granit est un composant important dans divers appareils semi-conducteurs. En tant que matériau très stable et rigide, le granit est largement utilisé comme base pour l'équipement de traitement des semi-conducteurs. Il se caractérise par son coefficient de dilatation thermique faible, sa stabilité dimensionnelle élevée et ses excellentes propriétés mécaniques. En raison de ces propriétés, le lit de granit est le plus souvent utilisé dans trois types différents de dispositifs semi-conducteurs - équipement de métrologie, équipement de lithographie et équipement d'inspection.
L'équipement de métrologie est utilisé pour mesurer et détecter les dimensions critiques des dispositifs semi-conducteurs. Il joue un rôle crucial dans le maintien de la qualité et de la cohérence du processus de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement de métrologie comprend des instruments tels que les microscopes optiques, les microscopes électroniques et les microscopes à force atomique (AFMS). Étant donné que les performances de ces instruments de mesure dépendent de leur stabilité, de leur précision et de leur résistance aux vibrations, le granit est le choix idéal pour leur matériau de lit. L'uniformité et la stabilité du lit de granit offrent une plate-forme stable pour les instruments, ce qui améliore leur précision et leur fiabilité.
L'équipement de lithographie est utilisé pour fabriquer les modèles de micropuce sur la tranche. Le processus de lithographie nécessite un niveau élevé de précision et de précision pour créer des circuits complexes et améliorer les performances des puces. L'équipement de lithographie comprend des systèmes de stepper et de scanner qui utilisent la lumière pour transférer des images sur la tranche. Étant donné que le processus de lithographie est très sensible aux vibrations et aux changements thermiques, un lit de haute qualité est essentiel pour assurer la stabilité et la répétabilité du processus de lithographie. Les lits de granit offrent la stabilité requise et les performances d'amortissement vibrations strictes pour les systèmes de lithographie. Le lit de granit permet au système pas à pas ou au scanner de maintenir des relations spatiales précises garantissant une grande précision et une qualité finale du produit.
L'équipement d'inspection est utilisé pour détecter tous les défauts des appareils semi-conducteurs. L'équipement d'inspection comprend des systèmes tels que les microscopes à balayage laser, les microscopes électroniques et les microscopes optiques. Avec la nécessité que ces appareils soient très précis, stables et résistants aux vibrations, les lits de granit sont le matériau parfait. Les propriétés mécaniques du granit et la stabilité dimensionnelle aident à l'isolement des vibrations, ce qui améliore la précision de la sortie de l'équipement d'inspection.
En conclusion, le lit de granit est crucial pour l'industrie des semi-conducteurs et est largement utilisé dans différents types d'équipements. Ses propriétés uniques telles que la stabilité dimensionnelle, le faible coefficient d'expansion thermique et une excellente stabilité mécanique font du granit le choix idéal pour le matériau de lit de l'équipement semi-conducteur. Comme le lit de granit de haute qualité fournit la stabilité, la précision et la résistance aux vibrations nécessaires à l'équipement de semi-conducteur, il améliore finalement la qualité du produit final. Par conséquent, l'utilisation du lit de granit dans l'équipement de semi-conducteur ne sera pas sûre pour les années à venir.
Temps de poste: APR-03-2024