Le lit de granit est un composant important de nombreux dispositifs semi-conducteurs. Matériau extrêmement stable et rigide, le granit est largement utilisé comme base pour les équipements de traitement des semi-conducteurs. Il se caractérise par son faible coefficient de dilatation thermique, sa grande stabilité dimensionnelle et ses excellentes propriétés mécaniques. Grâce à ces propriétés, le lit de granit est principalement utilisé dans trois types de dispositifs semi-conducteurs : les équipements de métrologie, de lithographie et d'inspection.
Les équipements de métrologie servent à mesurer et à détecter les dimensions critiques des semi-conducteurs. Ils jouent un rôle crucial dans le maintien de la qualité et de la régularité du processus de fabrication des semi-conducteurs. Ils comprennent des instruments tels que les microscopes optiques, les microscopes électroniques et les microscopes à force atomique (AFM). La performance de ces instruments de mesure dépendant de leur stabilité, de leur précision et de leur résistance aux vibrations, le granit est le matériau de base idéal. L'uniformité et la stabilité du granit offrent une plateforme stable aux instruments, améliorant ainsi leur précision et leur fiabilité.
Un équipement de lithographie est utilisé pour réaliser les motifs des micropuces sur la plaquette. Le procédé de lithographie exige un haut niveau de précision et d'exactitude pour créer des circuits complexes et améliorer les performances des puces. Cet équipement comprend des systèmes pas à pas et des scanners qui utilisent la lumière pour transférer les images sur la plaquette. Le procédé de lithographie étant très sensible aux vibrations et aux variations thermiques, un lit de haute qualité est essentiel pour garantir la stabilité et la répétabilité du processus. Les lits en granit offrent la stabilité requise et une excellente atténuation des vibrations pour les systèmes de lithographie. Le lit en granit permet au système pas à pas ou au scanner de maintenir des relations spatiales précises, garantissant ainsi une grande précision et la qualité du produit final.
Les équipements d'inspection sont utilisés pour détecter les défauts des semi-conducteurs. Ils comprennent des systèmes tels que des microscopes à balayage laser, des microscopes électroniques et des microscopes optiques. Ces appareils devant être extrêmement précis, stables et résistants aux vibrations, les lits en granit constituent le matériau idéal. Les propriétés mécaniques et la stabilité dimensionnelle du granit contribuent à l'isolation des vibrations, améliorant ainsi la précision des résultats de l'équipement d'inspection.
En conclusion, le lit de granit est essentiel à l'industrie des semi-conducteurs et est largement utilisé dans différents types d'équipements. Ses propriétés uniques, telles que sa stabilité dimensionnelle, son faible coefficient de dilatation thermique et son excellente stabilité mécanique, font du granit le matériau idéal pour les équipements semi-conducteurs. Ce lit de granit de haute qualité offre la stabilité, la précision et la résistance aux vibrations nécessaires aux équipements semi-conducteurs, améliorant ainsi la qualité du produit final. Par conséquent, l'utilisation du lit de granit dans les équipements semi-conducteurs est vouée à perdurer pendant de nombreuses années.
Date de publication : 03/04/2024