Le support en granit est un composant essentiel de nombreux dispositifs semi-conducteurs. Matériau très stable et rigide, le granit est largement utilisé comme socle pour les équipements de traitement des semi-conducteurs. Il se caractérise par son faible coefficient de dilatation thermique, sa grande stabilité dimensionnelle et ses excellentes propriétés mécaniques. Grâce à ces propriétés, le support en granit est principalement utilisé dans trois types de dispositifs semi-conducteurs : les équipements de métrologie, de lithographie et d’inspection.
Les équipements de métrologie servent à mesurer et à contrôler les dimensions critiques des dispositifs semi-conducteurs. Ils jouent un rôle essentiel dans le maintien de la qualité et de la constance du processus de fabrication des semi-conducteurs. Parmi ces équipements figurent des instruments tels que les microscopes optiques, les microscopes électroniques et les microscopes à force atomique (AFM). La performance de ces instruments de mesure dépendant de leur stabilité, de leur précision et de leur résistance aux vibrations, le granit est le matériau idéal pour leur support. L'uniformité et la stabilité du support en granit offrent une plateforme stable aux instruments, ce qui améliore leur précision et leur fiabilité.
L'équipement de lithographie sert à créer les motifs des microprocesseurs sur la plaquette. Ce procédé exige une grande précision pour réaliser des circuits complexes et optimiser les performances des puces. L'équipement de lithographie comprend des systèmes de projection et de numérisation qui utilisent la lumière pour transférer les images sur la plaquette. La lithographie étant très sensible aux vibrations et aux variations thermiques, un plateau de haute qualité est essentiel pour garantir sa stabilité et sa reproductibilité. Les plateaux en granit offrent la stabilité requise et une excellente absorption des vibrations. Ils permettent au système de projection ou de numérisation de maintenir des relations spatiales précises, assurant ainsi une grande exactitude et une qualité optimale du produit final.
Les équipements d'inspection servent à détecter les défauts des dispositifs semi-conducteurs. Parmi ces équipements figurent des systèmes tels que les microscopes à balayage laser, les microscopes électroniques et les microscopes optiques. Compte tenu des exigences élevées en matière de précision, de stabilité et de résistance aux vibrations, les supports en granit constituent le matériau idéal. Les propriétés mécaniques et la stabilité dimensionnelle du granit contribuent à l'isolation des vibrations, ce qui améliore la précision des mesures effectuées par les équipements d'inspection.
En conclusion, le support en granit est essentiel à l'industrie des semi-conducteurs et largement utilisé dans différents types d'équipements. Ses propriétés uniques, telles que sa stabilité dimensionnelle, son faible coefficient de dilatation thermique et son excellente stabilité mécanique, font du granit le matériau idéal pour les supports des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Un support en granit de haute qualité assure la stabilité, la précision et la résistance aux vibrations nécessaires à ces équipements, améliorant ainsi la qualité du produit final. Par conséquent, l'utilisation du support en granit dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs est appelée à se poursuivre pendant de nombreuses années.
Date de publication : 3 avril 2024