Les matériaux granitiques sont largement utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes caractéristiques, telles qu’une stabilité élevée, une faible dilatation thermique et une résistance élevée à la corrosion.Ces propriétés font du granit un matériau idéal pour construire des composants de haute précision dans un système de transfert de tranches.
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, le système de transfert de tranches joue un rôle essentiel dans le transport des tranches à travers les différentes étapes du processus de fabrication.La précision et l'exactitude sont des exigences essentielles pour ces systèmes, car même de légers écarts pourraient compromettre l'ensemble du processus.Par conséquent, les composants du système de transfert de tranches doivent être fabriqués à partir de matériaux de haute qualité, et le granit répond à ces critères.
Certaines parties du système de transfert de plaquettes fabriquées à partir de matériaux en granit comprennent :
1. Table de mandrin à vide
La table de serrage à vide est utilisée pour maintenir la plaquette pendant le processus et elle doit avoir une surface stable pour garantir que la plaquette ne soit pas endommagée.Le granit est un matériau idéal pour fabriquer cette table car il possède une surface plane et non poreuse qui offre une grande stabilité et précision.De plus, le granit a un faible coefficient de dilatation thermique, ce qui le rend résistant aux changements de température qui pourraient entraîner des changements dimensionnels dans la plaquette.
2. Étage à coussin d'air
L’étage sur coussin d’air est utilisé pour transporter la plaquette à travers différentes étapes du processus de fabrication.La scène est conçue pour fournir un mouvement sans friction, ce qui nécessite une grande précision et stabilité.Le granit est utilisé dans cette application car c’est une pierre rigide et dure, qui résiste à la déformation et à l’usure dans le temps.
3. Guides de mouvement linéaire
Les guides de mouvement linéaire sont utilisés pour guider la platine à coussin d’air et doivent être positionnés avec précision pour minimiser les erreurs.Le granit est utilisé pour construire ce guide car il possède une excellente stabilité mécanique et une excellente résistance.Le matériau est également résistant à la corrosion, ce qui garantit la longévité du système de guidage.
4. Équipement de métrologie
L'équipement de métrologie est utilisé pour mesurer les dimensions et les propriétés de la plaquette pendant le processus de fabrication.Le granit est un matériau idéal pour construire cet équipement car il présente une rigidité élevée, une faible expansion et une déformation minimale sous charge.De plus, la stabilité thermique du granit garantit que l'équipement de métrologie reste stable et précis dans le temps.
En conclusion, l’industrie des semi-conducteurs repose sur la précision et l’exactitude, et les matériaux granitiques se sont révélés très fiables et stables dans le processus de fabrication.Étant donné que de nombreux composants critiques du système de transfert de tranches nécessitent une stabilité, une précision et une faible dilatation thermique élevées, les ingénieurs se sont tournés vers des matériaux en granit pour répondre à ces exigences critiques.
Heure de publication : 19 mars 2024