Les matériaux de granit sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes caractéristiques, telles que une stabilité élevée, une faible expansion thermique et une forte résistance à la corrosion. Ces propriétés font du granit un matériau idéal pour construire des composants de haute précision dans un système de transfert de plaquettes.
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, le système de transfert de plaquette joue un rôle essentiel dans le transport de plaquettes à travers différentes étapes du processus de fabrication. La précision et la précision sont les exigences essentielles de ces systèmes car même de légers déviations pourraient compromettre l'ensemble du processus. Par conséquent, les composants du système de transfert de plaquette doivent être fabriqués à partir de matériaux de haute qualité, et le granit répond à ces critères.
Certaines parties du système de transfert de plaquettes fabriquées à partir de matériaux de granit comprennent:
1.
La table du mandrin à vide est utilisée pour maintenir la tranche pendant le processus, et elle doit avoir une surface stable pour s'assurer que la tranche n'est pas endommagée. Le granit est un matériau idéal pour fabriquer ce tableau car il a une surface plate et non poreuse qui offre une stabilité élevée et une précision. De plus, le granit a un faible coefficient d'expansion thermique, ce qui le rend résistant aux changements de température qui pourraient provoquer des changements dimensionnels dans la tranche.
2. Étape porteuse d'air
L'étape d'air est utilisée pour transporter la tranche à travers différentes étapes du processus de fabrication. La scène est conçue pour fournir un mouvement sans frottement, qui nécessite une précision et une stabilité à haute teneur. Le granit est utilisé dans cette application car il s'agit d'une pierre rigide et dure, et elle résiste à la déformation et à l'usure au fil du temps.
3. Guides de mouvement linéaire
Les guides de mouvement linéaire sont utilisés pour guider l'étape de porte d'air, et ils doivent être positionnés avec précision pour minimiser les erreurs. Le granit est utilisé pour construire ce guide car il a une excellente stabilité mécanique et résistance. Le matériau est également résistant à la corrosion, ce qui assure la longévité du système de guidage.
4. Équipement de métrologie
L'équipement de métrologie est utilisé pour mesurer les dimensions et les propriétés de la plaquette pendant le processus de fabrication. Le granit est un matériau idéal pour construire cet équipement car il a une rigidité élevée, une faible extension et une déformation minimale sous charge. De plus, la stabilité thermique de Granite garantit que l'équipement de métrologie reste stable et précis au fil du temps.
En conclusion, l'industrie des semi-conducteurs s'appuie sur la précision et la précision, et les matériaux de granit se sont révélés très fiables et stables dans le processus de fabrication. Avec de nombreux composants critiques dans le système de transfert de plaquette nécessitant une stabilité élevée, une précision et une faible extension thermique, les ingénieurs se sont tournés vers des matériaux de granit pour répondre à ces exigences critiques.
Heure du poste: 19 mars-2024