Les matériaux granitiques sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes caractéristiques, telles qu'une grande stabilité, un faible coefficient de dilatation thermique et une forte résistance à la corrosion. Ces propriétés font du granit un matériau idéal pour la fabrication de composants de haute précision dans un système de transfert de plaquettes.
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, le système de transfert de plaquettes joue un rôle crucial dans le transport de ces plaquettes à travers les différentes étapes de production. La précision et l'exactitude sont essentielles pour ces systèmes, car même de légères variations peuvent compromettre l'ensemble du processus. Par conséquent, les composants du système de transfert de plaquettes doivent être fabriqués à partir de matériaux de haute qualité, et le granit répond à ces critères.
Certaines pièces du système de transfert de plaquettes fabriquées à partir de matériaux granitiques comprennent :
1. Table à mandrin à vide
La table de maintien sous vide sert à maintenir la plaquette pendant le processus et doit présenter une surface stable afin d'éviter tout dommage. Le granit est un matériau idéal pour la fabrication de cette table grâce à sa surface plane et non poreuse qui garantit une grande stabilité et une excellente précision. De plus, son faible coefficient de dilatation thermique le rend insensible aux variations de température susceptibles d'entraîner des déformations dimensionnelles de la plaquette.
2. Étage à coussin d'air
La plateforme à coussin d'air sert à transporter la plaquette à travers les différentes étapes du processus de fabrication. Conçue pour assurer un mouvement sans frottement, elle exige une grande précision et une excellente stabilité. Le granit est utilisé dans cette application car c'est une pierre rigide et dure, qui résiste à la déformation et à l'usure.
3. Guides de mouvement linéaire
Les guides linéaires servent à guider la platine à coussin d'air et leur positionnement précis est essentiel pour minimiser les erreurs. Le granit est utilisé pour leur fabrication en raison de son excellente stabilité et résistance mécaniques. De plus, sa résistance à la corrosion garantit la longévité du système de guidage.
4. Équipement de métrologie
L'équipement de métrologie sert à mesurer les dimensions et les propriétés des plaquettes lors de leur fabrication. Le granit est un matériau idéal pour la construction de cet équipement grâce à sa grande rigidité, sa faible dilatation et sa déformation minimale sous charge. De plus, sa stabilité thermique garantit la stabilité et la précision de l'équipement de métrologie dans le temps.
En conclusion, l'industrie des semi-conducteurs repose sur la précision et l'exactitude, et les matériaux granitiques se sont révélés extrêmement fiables et stables lors des processus de fabrication. De nombreux composants critiques du système de transfert de plaquettes nécessitant une grande stabilité, une précision élevée et une faible dilatation thermique, les ingénieurs se sont tournés vers les matériaux granitiques pour répondre à ces exigences essentielles.
Date de publication : 19 mars 2024