Le granit est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de ses excellentes caractéristiques, telles qu'une grande stabilité, une faible dilatation thermique et une grande résistance à la corrosion. Ces propriétés font du granit un matériau idéal pour la fabrication de composants de haute précision dans les systèmes de transfert de plaquettes.
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, le système de transfert de plaquettes joue un rôle essentiel dans le transport des plaquettes à travers les différentes étapes du processus. La précision et l'exactitude sont des exigences essentielles pour ces systèmes, car le moindre écart peut compromettre l'ensemble du processus. Par conséquent, les composants du système de transfert de plaquettes doivent être fabriqués à partir de matériaux de haute qualité, et le granit répond à ces critères.
Certaines pièces du système de transfert de plaquettes fabriquées à partir de matériaux en granit comprennent :
1. Table de mandrin à vide
La table de serrage à vide sert à maintenir la plaquette pendant le processus. Sa surface doit être stable pour éviter tout dommage. Le granit est un matériau idéal pour sa fabrication, car sa surface plane et non poreuse assure une stabilité et une précision élevées. De plus, son faible coefficient de dilatation thermique le rend résistant aux variations de température susceptibles d'entraîner des variations dimensionnelles de la plaquette.
2. Étage à palier à air
La platine à coussin d'air assure le transport de la plaquette à travers les différentes étapes du processus de fabrication. Elle est conçue pour assurer un mouvement sans frottement, exigeant une précision et une stabilité élevées. Le granit est utilisé dans cette application car c'est une pierre rigide et dure, résistante à la déformation et à l'usure.
3. Guides de mouvement linéaire
Les guides de mouvement linéaire servent à guider l'étage à palier à air et doivent être positionnés avec précision pour minimiser les erreurs. Le granit est utilisé pour sa fabrication en raison de son excellente stabilité mécanique et de sa résistance. Ce matériau est également résistant à la corrosion, ce qui garantit la longévité du système de guidage.
4. Équipement de métrologie
Les équipements de métrologie permettent de mesurer les dimensions et les propriétés des plaquettes pendant le processus de fabrication. Le granit est un matériau idéal pour la fabrication de ces équipements, car il présente une grande rigidité, une faible dilatation et une déformation minimale sous charge. De plus, sa stabilité thermique garantit la stabilité et la précision des équipements de métrologie au fil du temps.
En conclusion, l'industrie des semi-conducteurs repose sur la précision et l'exactitude, et les matériaux en granit se sont avérés extrêmement fiables et stables lors de leur fabrication. De nombreux composants critiques du système de transfert de plaquettes nécessitant une stabilité, une précision et une faible dilatation thermique, les ingénieurs se sont tournés vers les matériaux en granit pour répondre à ces exigences critiques.
Date de publication : 19 mars 2024