Dans le monde de la fabrication de semi-conducteurs, des équipements précis et exacts sont essentiels pour produire des puces de haute qualité. De nombreux composants d'une usine de fabrication de semi-conducteurs doivent utiliser des matériaux aux propriétés spécifiques pour garantir un fonctionnement fiable et de haute précision.
Le granit est devenu un matériau standard pour les équipements semi-conducteurs. Réputé pour sa résistance et sa stabilité, il est un excellent matériau pour la construction et la fabrication de composants utilisés dans ces équipements. Voici quelques-unes des pièces d'équipements semi-conducteurs qui utilisent couramment le granit :
1. Plaques de base
Les plaques de base des équipements semi-conducteurs doivent être extrêmement planes et stables afin de minimiser les vibrations et les variations de température. Le granit est l'un des rares matériaux à répondre à ces exigences. Ce matériau dimensionnellement stable résiste à la déformation et à la dilatation thermique, garantissant ainsi la planéité de la plaque de base au fil du temps.
2. Étapes
Les platines sont des composants essentiels des équipements de semi-conducteurs. Elles effectuent des mouvements précis lors des processus de fabrication tels que le positionnement, la gravure et le dépôt des plaquettes. Les platines en granit sont largement utilisées dans les équipements de semi-conducteurs en raison de leur grande rigidité, de leur faible dilatation thermique et de leurs excellentes propriétés d'amortissement. Grâce à ces platines, les mouvements sont plus précis et les risques de panne sont réduits.
3. Guides linéaires
Les guidages linéaires sont des dispositifs mécaniques assurant un mouvement linéaire le long de deux rails parallèles. Ils doivent être extrêmement stables et précis, et le granit est le matériau idéal pour cela. Sa grande rigidité et ses propriétés d'amortissement en font un choix populaire pour les guidages linéaires utilisés dans les équipements de semi-conducteurs, garantissant stabilité et précision lors du processus de fabrication.
4. Mandrins
Les mandrins servent à maintenir et positionner les plaquettes lors de divers processus de fabrication. Les mandrins en granit sont appréciés pour leur planéité et leur stabilité thermique. Grâce à la faible dilatation thermique du granit, les mandrins fabriqués dans ce matériau ne se déforment pas et ne changent pas de dimensions lorsqu'ils sont exposés aux variations de température.
5. Plaques d'inspection
Les plaques d'inspection servent à vérifier la qualité des produits fabriqués dans les équipements de semi-conducteurs. Ces plaques doivent être extrêmement planes et stables, et capables de réfléchir la lumière avec précision. La haute réflectivité, la planéité de surface et la stabilité dimensionnelle du granit en font un choix populaire pour les plaques d'inspection des équipements de semi-conducteurs.
En conclusion, les éléments en granit sont largement utilisés pour les pièces de précision des équipements semi-conducteurs, et leur utilisation devrait se développer grâce à leurs excellentes propriétés. Grâce à leur grande rigidité, leur faible dilatation thermique et leurs excellentes propriétés d'amortissement, les éléments en granit offrent la stabilité, la précision et la répétabilité nécessaires à la réalisation d'opérations à l'échelle nanométrique dans les équipements semi-conducteurs. Les entreprises qui produisent des équipements semi-conducteurs de haute qualité investissent dans les meilleurs matériaux pour optimiser leurs chances de succès, et le granit reste un matériau de référence grâce à ses excellentes propriétés et à sa fiabilité.
Date de publication : 19 mars 2024