Dans le secteur de la fabrication des semi-conducteurs, un équipement précis et fiable est essentiel à la production de puces de haute qualité. De nombreux éléments d'une usine de fabrication de semi-conducteurs nécessitent l'utilisation de matériaux aux propriétés spécifiques pour garantir un fonctionnement fiable et de haute précision.
Le granit est devenu un matériau standard dans la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs. Reconnu pour sa robustesse et sa stabilité, il constitue un excellent matériau pour la construction et la fabrication de composants utilisés dans ces équipements. Voici quelques exemples de pièces d'équipements pour semi-conducteurs qui utilisent couramment le granit :
1. Plaques de base
Les plaques de base des équipements pour semi-conducteurs doivent être extrêmement planes et stables afin de minimiser les vibrations et les variations de température. Le granit est l'un des rares matériaux capables de répondre à ces exigences. Matériau dimensionnellement stable, il résiste à la déformation et à la dilatation thermique, garantissant ainsi la planéité de la plaque de base dans le temps.
2. Étapes
Les platines sont des composants essentiels des équipements pour semi-conducteurs. Elles permettent des mouvements précis lors de procédés de fabrication tels que le positionnement, la gravure et le dépôt de plaquettes. Les platines en granit sont largement utilisées dans ce secteur en raison de leur grande rigidité, de leur faible dilatation thermique et de leurs excellentes propriétés d'amortissement. Grâce à elles, les mouvements sont plus précis et le risque de panne est réduit.
3. Guides linéaires
Les guides linéaires sont des dispositifs mécaniques assurant un mouvement linéaire le long de deux rails parallèles. Ils doivent être extrêmement stables et précis, et le granit est le matériau idéal à cet effet. La rigidité et les propriétés d'amortissement élevées du granit en font un choix privilégié pour les guides linéaires utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, garantissant ainsi stabilité et précision lors de la fabrication.
4. Chucks
Les mandrins servent à maintenir et positionner les plaquettes lors de divers procédés de fabrication. Les mandrins en granit sont prisés pour leur planéité et leur stabilité thermique. Grâce à la faible dilatation thermique du granit, les mandrins fabriqués dans ce matériau ne se déforment pas et leurs dimensions restent inchangées même en cas de variations de température.
5. Plaques d'inspection
Les plaques d'inspection servent à contrôler la qualité des produits fabriqués dans les équipements pour semi-conducteurs. Ces plaques doivent être extrêmement planes et stables, et capables de réfléchir la lumière avec précision. La réflectivité élevée, la planéité de surface et la stabilité dimensionnelle du granit en font un matériau de choix pour les plaques d'inspection dans les équipements pour semi-conducteurs.
En conclusion, les éléments en granit sont largement utilisés pour la fabrication de pièces de précision dans les équipements semi-conducteurs, et leur utilisation devrait se développer grâce à leurs excellentes propriétés. Leur grande rigidité, leur faible dilatation thermique et leurs excellentes propriétés d'amortissement leur confèrent la stabilité, la précision et la répétabilité requises pour les opérations à l'échelle nanométrique dans les équipements semi-conducteurs. Les entreprises qui produisent des équipements semi-conducteurs de haute qualité investissent dans les meilleurs matériaux pour optimiser les chances de succès de leurs produits, et le granit demeure un matériau de choix grâce à ses propriétés exceptionnelles et sa fiabilité.
Date de publication : 19 mars 2024