Les lits en granit sont très prisés dans la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés, telles qu'une grande stabilité dimensionnelle, une rigidité élevée, une faible dilatation thermique, de bonnes propriétés d'amortissement et une haute résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont largement utilisés dans plusieurs composants critiques de l'industrie des équipements pour semi-conducteurs, comme les systèmes d'inspection, de mesure et de manipulation des plaquettes.
Systèmes d'inspection de plaquettes
Les systèmes d'inspection de plaquettes utilisent des plateaux en granit pour fournir une surface stable et plane permettant l'inspection des plaquettes de semi-conducteurs. Ces plateaux servent de support à la plaquette à inspecter. Leur planéité et leur rigidité garantissent une inspection précise tout en minimisant les risques d'endommagement ou de contamination. Les plateaux en granit contribuent également à atténuer les effets des vibrations environnementales et autres facteurs externes.
Systèmes de mesure de plaquettes
Dans les systèmes de mesure de plaquettes, la précision est essentielle. Les plateaux en granit sont largement utilisés à cette fin en raison de leur excellente stabilité dimensionnelle. Ils offrent une base rigide permettant une mesure précise de l'épaisseur, de la forme et des caractéristiques de surface des plaquettes. De plus, leur résistance à l'usure et à l'abrasion les rend idéaux pour une utilisation continue et prolongée.
Systèmes de manipulation de plaquettes
Les supports en granit sont également utilisés dans les systèmes de manipulation de plaquettes. Dans ces systèmes, ils servent de guide précis pour le positionnement de la plaquette lors de sa manipulation. La grande rigidité et la planéité du support en granit garantissent un positionnement précis et reproductible de la plaquette, réduisant ainsi les risques de dommages.
Autres composants
Outre les composants mentionnés ci-dessus, les supports en granit sont également utilisés dans d'autres éléments critiques de la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs, tels que les socles de platines, les structures de support et d'autres pièces de haute précision. La grande stabilité dimensionnelle des supports en granit contribue à réduire les erreurs dues à la déformation des pièces, aux variations thermiques et aux vibrations.
Conclusion
En conclusion, les plateaux en granit sont un élément essentiel de la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs, car ils offrent une grande stabilité dimensionnelle, une faible dilatation thermique et une excellente résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont indispensables pour garantir des performances précises, répétables et fiables des systèmes d'inspection, de mesure et de manipulation de plaquettes, ainsi que d'autres équipements de haute précision. L'utilisation de plateaux en granit permet aux fabricants d'équipements pour semi-conducteurs de produire des équipements de haute qualité répondant aux normes rigoureuses de l'industrie moderne des semi-conducteurs.
Date de publication : 3 avril 2024