Les lits en granit sont très prisés dans la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés, telles qu'une grande stabilité dimensionnelle, une grande rigidité, une faible dilatation thermique, de bonnes propriétés d'amortissement et une grande résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont largement utilisés dans plusieurs composants critiques de l'industrie des semi-conducteurs, tels que les systèmes d'inspection, de mesure et de manutention de plaquettes, etc.
Systèmes d'inspection de plaquettes
Les systèmes d'inspection de plaquettes utilisent des lits en granit pour offrir une surface stable et plane pour l'inspection des plaquettes de semi-conducteurs. Ces lits servent de plateforme pour la plaquette à inspecter. Leur planéité et leur rigidité garantissent une inspection précise tout en minimisant les dommages et la contamination de la plaquette. Ils contribuent également à atténuer les effets des vibrations environnementales et autres facteurs externes.
Systèmes de mesure de plaquettes
Dans les systèmes de mesure de plaquettes, la précision est essentielle. Les lits en granit sont largement utilisés à cette fin en raison de leur excellente stabilité dimensionnelle. Ils offrent une base rigide pour la mesure précise de l'épaisseur, de la forme et des caractéristiques de surface des plaquettes. De plus, ces lits en granit sont résistants à l'usure et à l'abrasion, ce qui les rend idéaux pour une utilisation continue sur une longue période.
Systèmes de manipulation de plaquettes
Les lits en granit sont également utilisés dans les systèmes de manutention de plaquettes. Dans ces systèmes, ils servent de guide précis pour positionner la plaquette pendant le processus de manutention. Leur grande rigidité et leur planéité garantissent un positionnement précis et reproductible de la plaquette, réduisant ainsi les risques d'endommagement.
Autres composants
Outre les composants mentionnés ci-dessus, les lits en granit sont également utilisés dans d'autres pièces critiques de la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs, telles que les bases de platine, les structures de support et autres pièces de haute précision. La grande stabilité dimensionnelle des lits en granit permet de réduire les erreurs dues à la déformation des pièces, aux variations thermiques et aux vibrations.
Conclusion
En conclusion, les lits en granit sont un composant essentiel de la fabrication d'équipements pour semi-conducteurs, car ils offrent une grande stabilité dimensionnelle, une faible dilatation thermique et une excellente résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont essentiels pour des performances précises, reproductibles et fiables des systèmes d'inspection, de mesure et de manipulation de plaquettes, ainsi que d'autres équipements de haute précision. L'utilisation de lits en granit permet aux fabricants d'équipements pour semi-conducteurs de produire des produits de haute qualité répondant aux normes rigoureuses de l'industrie moderne des semi-conducteurs.
Date de publication : 03/04/2024