Les lits de granit sont hautement préférés dans la fabrication d'équipements semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés telles qu'une stabilité dimensionnelle élevée, une rigidité élevée, une faible dilatation thermique, de bonnes propriétés d'amortissement et une résistance élevée à l'usure et à l'abrasion.Ils sont largement utilisés dans plusieurs composants critiques de l'industrie de fabrication d'équipements à semi-conducteurs, tels que les systèmes d'inspection de plaquettes, les systèmes de mesure de plaquettes, les systèmes de manipulation de plaquettes, etc.
Systèmes d'inspection des plaquettes
Les systèmes d'inspection de plaquettes utilisent des lits de granit pour fournir une surface stable et plane pour l'inspection des plaquettes semi-conductrices.Les lits de granit sont utilisés comme plate-forme scénique sur laquelle repose la plaquette en cours d’inspection.La planéité et la rigidité du lit de granit garantissent une inspection précise tout en minimisant les dommages ou la contamination de la plaquette.Les lits de granit contribuent également à réduire les effets des vibrations environnementales et d’autres facteurs externes.
Systèmes de mesure de plaquettes
Dans les systèmes de mesure de plaquettes, la précision est essentielle.Les lits de granit sont largement utilisés à cette fin en raison de leur excellente stabilité dimensionnelle.Ils fournissent une base rigide pour la mesure précise de l’épaisseur, de la forme et des caractéristiques de surface des plaquettes.Les lits de granit sont également résistants à l’usure et à l’abrasion, ce qui les rend idéaux pour une utilisation continue sur une période prolongée.
Systèmes de manipulation de plaquettes
Les lits de granit sont également utilisés dans les systèmes de manipulation de plaquettes.Dans ces systèmes, les lits de granit sont utilisés comme guide précis pour positionner la plaquette pendant le processus de manipulation.La grande rigidité et la planéité du lit de granit garantissent un positionnement précis et reproductible de la plaquette, réduisant ainsi le risque de dommages.
Autres composants
Outre les composants ci-dessus, les lits de granit sont également utilisés dans d'autres parties critiques de la fabrication d'équipements à semi-conducteurs, telles que les bases de scène, les structures de support et d'autres pièces de haute précision.La stabilité dimensionnelle élevée des lits de granit contribue à réduire les erreurs causées par la déformation des pièces, les changements thermiques et les vibrations.
Conclusion
En conclusion, les lits de granit sont un composant essentiel dans la fabrication d’équipements semi-conducteurs car ils offrent une stabilité dimensionnelle élevée, une faible dilatation thermique et une excellente résistance à l’usure et à l’abrasion.Ils sont essentiels pour des performances précises, reproductibles et fiables dans les systèmes d’inspection de plaquettes, les systèmes de mesure de plaquettes, les systèmes de manipulation de plaquettes et autres équipements de haute précision.L'utilisation de lits de granit garantit que les fabricants d'équipements semi-conducteurs peuvent fabriquer des produits de haute qualité répondant aux normes rigoureuses exigées par l'industrie moderne des semi-conducteurs.
Heure de publication : 03 avril 2024