Les lits de granit sont hautement préférés dans la fabrication d'équipements de semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés telles que la stabilité dimensionnelle élevée, la rigidité élevée, la faible extension thermique, les bonnes propriétés d'amortissement et la haute résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont largement utilisés dans plusieurs composants critiques de l'industrie de la fabrication d'équipements de semi-conducteurs, tels que les systèmes d'inspection de plaquettes, les systèmes de mesure de la plaquette, les systèmes de manutention des plaquettes, etc.
Systèmes d'inspection des plaquettes
Les systèmes d'inspection des plaquettes utilisent des lits de granit pour fournir une surface stable et plate pour l'inspection des plaquettes de semi-conducteur. Les lits de granit sont utilisés comme plate-forme de scène qui maintient la tranche en cours d'inspection. La planéité et la rigidité du lit de granit assure une inspection précise tout en minimisant les dommages ou la contamination à la tranche. Les lits de granit aident également à réduire les effets des vibrations environnementales et d'autres facteurs externes.
Systèmes de mesure de la plaquette
Dans les systèmes de mesure des plaquettes, la précision est critique. Les lits de granit sont largement utilisés à cette fin en raison de leur excellente stabilité dimensionnelle. Ils fournissent une base rigide pour la mesure précise de l'épaisseur, de la forme et des caractéristiques de la surface des plaquettes. Les lits de granit sont également résistants à l'usure et à l'abrasion, ce qui les rend idéaux pour une utilisation continue sur une période prolongée.
Systèmes de manutention des plaquettes
Les lits de granit sont également utilisés dans les systèmes de manutention des plaquettes. Dans ces systèmes, les lits de granit sont utilisés comme guide précis pour positionner la tranche pendant le processus de manipulation. La rigidité élevée et la planéité du lit de granit assurent un positionnement précis et reproductible de la tranche, ce qui réduit le risque de dommages.
Autres composants
Outre les composants ci-dessus, les lits de granit sont également utilisés dans d'autres parties critiques de la fabrication d'équipements de semi-conducteurs tels que les bases de scène, les structures de support et d'autres pièces de haute précision. La stabilité dimensionnelle élevée des lits de granit aide à réduire les erreurs causées par la déformation des pièces, les changements thermiques et les vibrations.
Conclusion
En conclusion, les lits de granit sont un élément essentiel de la fabrication d'équipements semi-conducteurs car ils offrent une stabilité dimensionnelle élevée, une faible augmentation thermique et une excellente résistance à l'usure et à l'abrasion. Ils sont essentiels pour des performances précises, reproductibles et fiables dans les systèmes d'inspection de plaquettes, les systèmes de mesure des plaquettes, les systèmes de manutention des plaquettes et d'autres équipements de haute précision. L'utilisation de lits de granit garantit que les fabricants d'équipements de semi-conducteurs peuvent produire des produits de haute qualité qui répondent aux normes rigoureuses exigées par l'industrie des semi-conducteurs modernes.
Temps de poste: APR-03-2024