Le granit est l'un des matériaux les plus utilisés dans les semi-conducteurs. C'est une roche ignée dure qui se décline en différentes nuances de gris, de rose et de blanc. Le granit est reconnu pour sa durabilité, son faible coefficient de dilatation thermique et son excellente conductivité thermique, ce qui en fait un matériau idéal pour les sous-systèmes de semi-conducteurs.
L'un des principaux sous-systèmes utilisant le granit dans les semi-conducteurs est le sous-système de manipulation et de traitement des plaquettes. Ce sous-système joue un rôle crucial dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. La plaquette constitue le substrat de départ du dispositif, et le sous-système de manipulation et de traitement assure le transfert des plaquettes entre les différentes chambres et les équipements de traitement. Le granit permet de créer des surfaces de manipulation de plaquettes planes et extrêmement précises, et offre une plateforme stable pour leur traitement.
Un autre sous-système essentiel utilisant le granit est le sous-système de vide. Dans les semi-conducteurs, des chambres à vide sont utilisées pour éviter la contamination pendant la fabrication. Pour que ce système fonctionne efficacement, la chambre doit être parfaitement étanche, et c'est là que le granit entre en jeu. Le granit est un matériau idéal pour les chambres à vide, car il présente un très faible taux de dégazage et permet de maintenir un environnement de vide stable. De plus, la haute précision d'usinage du granit permet une étanchéité parfaite, offrant un environnement de vide fiable pour le traitement des plaquettes.
Le sous-système d'alignement est un autre système essentiel qui exploite les propriétés uniques du granit. Ce sous-système permet d'aligner avec précision les différentes pièces des semi-conducteurs. Le granit est utilisé dans la conception et la construction des étages d'alignement pour garantir une rigidité et une stabilité élevées. La grande rigidité du granit permet d'obtenir une grande précision d'alignement, permettant ainsi la production de semi-conducteurs extrêmement précis et fiables.
Enfin, le sous-système de métrologie est un autre système de semi-conducteurs utilisant le granit. La métrologie joue un rôle essentiel dans le traitement des plaquettes, et la précision de ce sous-système est essentielle pour garantir la qualité du dispositif. Le granit offre une plateforme stable et rigide qui contribue à réduire les vibrations et à minimiser l'effet des fluctuations de température. Ceci permet d'obtenir des mesures très précises dans le sous-système de métrologie, permettant ainsi la production de semi-conducteurs de haute qualité.
En conclusion, le granit est un matériau essentiel à la fabrication de semi-conducteurs. Ses propriétés uniques, telles qu'une grande rigidité, une faible dilatation thermique et une excellente conductivité thermique, en font un matériau de choix pour plusieurs sous-systèmes de semi-conducteurs, notamment la manipulation et le traitement des plaquettes, les sous-systèmes de vide, d'alignement et de métrologie. De plus, l'utilisation du granit dans les semi-conducteurs a contribué à la production de dispositifs hautement précis, fiables et performants qui ont transformé de nombreux secteurs industriels.
Date de publication : 19 mars 2024