Le granit est l'un des matériaux les plus utilisés dans les dispositifs semi-conducteurs. C'est une roche ignée dure qui se décline en différentes nuances de gris, de rose et de blanc. Le granit est reconnu pour sa durabilité, son faible coefficient de dilatation thermique et son excellente conductivité thermique, ce qui en fait un matériau idéal pour les sous-systèmes de dispositifs semi-conducteurs.
L'un des principaux sous-systèmes utilisant le granit dans la fabrication des semi-conducteurs est le sous-système de manipulation et de traitement des plaquettes. Ce sous-système joue un rôle crucial dans le processus de fabrication. La plaquette constitue le substrat initial du dispositif, et le sous-système de manipulation et de traitement assure son transfert entre les différentes chambres et équipements de traitement. Le granit permet de créer des surfaces de manipulation de plaquettes extrêmement précises et planes, et offre une plateforme stable pour le traitement des plaquettes.
Un autre sous-système critique utilisant le granit est le sous-système de vide. Dans les dispositifs semi-conducteurs, des chambres à vide sont utilisées pour éviter toute contamination lors de la fabrication. Pour que ce système fonctionne efficacement, la chambre doit être parfaitement étanche, et c'est là que le granit intervient. Le granit est un matériau idéal pour les chambres à vide car il présente un très faible taux de dégazage et permet de maintenir un vide stable. De plus, la haute précision d'usinage du granit garantit une étanchéité parfaite, assurant ainsi un vide fiable pour le traitement des plaquettes.
Le sous-système d'alignement est un autre système essentiel qui tire parti des propriétés uniques du granit. Ce sous-système assure l'alignement précis des différentes parties des dispositifs semi-conducteurs. Le granit est utilisé dans la conception et la construction des plateaux d'alignement afin de garantir une rigidité et une stabilité élevées. La grande rigidité du granit contribue à une précision d'alignement optimale, permettant ainsi la production de dispositifs semi-conducteurs hautement précis et fiables.
Enfin, le sous-système de métrologie est un autre système de dispositifs semi-conducteurs utilisant du granit. La métrologie joue un rôle essentiel dans le traitement des plaquettes, et la précision de ce sous-système est cruciale pour garantir la qualité du dispositif. Le granit offre une plateforme stable et rigide qui contribue à réduire les vibrations et à minimiser l'effet des fluctuations de température. Ceci permet d'obtenir des mesures de haute précision dans le sous-système de métrologie, et donc de produire des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
En conclusion, le granit est un matériau essentiel à la fabrication des dispositifs semi-conducteurs. Ses propriétés uniques, telles qu'une rigidité élevée, une faible dilatation thermique et une excellente conductivité thermique, en font un matériau de choix pour plusieurs sous-systèmes de ces dispositifs, notamment la manipulation et le traitement des plaquettes, le sous-système de vide, le sous-système d'alignement et le sous-système de métrologie. De plus, l'utilisation du granit dans les dispositifs semi-conducteurs a contribué à la production de dispositifs hautement précis, fiables et performants, qui ont transformé de nombreux secteurs industriels.
Date de publication : 19 mars 2024