Dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs et d'optoélectronique, le granit est principalement utilisé pour des pièces essentielles telles que les plateformes de mouvement de précision, les bases de rails de guidage, les structures de support antivibratoires et les substrats d'installation de composants optiques. Ces pièces doivent répondre à des exigences extrêmement élevées en matière de précision, de stabilité et de résistance environnementale. Les caractéristiques du granit permettent de satisfaire précisément aux exigences strictes des industries des semi-conducteurs et de l'optoélectronique. Voici une analyse des cas d'application spécifiques et des avantages du granit :
I. Principales parties de l'application
Plateformes de mouvement de précision (telles que les plateformes pour plaquettes de photolithographie et les machines de collage)
Il est utilisé pour transporter des composants de précision tels que des plaquettes et des lentilles optiques, permettant des mouvements de translation et de rotation avec une précision nanométrique.
Équipement typique : table porte-pièce de la machine de photolithographie, plateforme de positionnement de l’équipement de mesure.
structure de base et de cadre du rail de guidage
Servant de base d'installation pour les guides linéaires et les guides à flottaison d'air, elle supporte le mécanisme de mouvement principal de l'équipement.
Équipements typiques : châssis mécaniques d’équipements d’encapsulation de semi-conducteurs et instruments d’inspection optique.
structure de support et de stabilisation pour l'isolation des vibrations
Il est utilisé pour isoler les vibrations externes (telles que les vibrations provenant du sol de l'usine ou pendant le fonctionnement des équipements), assurant ainsi la stabilité des systèmes optiques ou des machines de précision.
Scénarios typiques : Support de base pour microscopes optiques et interféromètres laser.
substrat de montage de composants optiques
Fixez les dispositifs optiques tels que les miroirs, les prismes et les lasers afin d'assurer la stabilité à long terme de la précision d'alignement du système de chemin optique.
Équipements typiques : équipements d’emballage optoélectronique, systèmes de couplage de fibres optiques.
Date de publication : 29 mai 2025