Dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs et d'optoélectronique, le granit est principalement utilisé pour des pièces clés telles que les plateformes de mouvement de précision, les bases de rails de guidage, les structures de support d'isolation vibratoire et les substrats d'installation de composants optiques. Ces pièces sont soumises à des exigences extrêmement élevées en matière de précision, de stabilité et de tolérance environnementale. Les caractéristiques du granit permettent de répondre précisément aux exigences strictes des industries des semi-conducteurs et de l'optoélectronique. Voici une analyse des scénarios d'application et des avantages spécifiques :
I. Principales parties de l'application
Plateformes de mouvement de précision (telles que les plates-formes de plaquettes pour machines de photolithographie et machines de collage)
Il est utilisé pour transporter des composants de précision tels que des plaquettes et des lentilles optiques, réalisant des mouvements de translation et de rotation avec une précision à l'échelle nanométrique.
Equipement typique : table porte-pièce de machine de photolithographie, plate-forme de positionnement d'équipement de mesure.
Base du rail de guidage et structure du cadre
En tant que base d'installation pour les guides linéaires et les guides de flottaison d'air, il prend en charge le mécanisme de mouvement de base de l'équipement.
Equipements typiques : châssis mécaniques d'équipements de conditionnement de semi-conducteurs et instruments d'inspection optique.
Structure de support et de stabilisation d'isolation des vibrations
Il est utilisé pour isoler les vibrations externes (telles que les vibrations provenant du sol de l'usine ou pendant le fonctionnement de l'équipement), garantissant la stabilité des systèmes optiques ou des machines de précision.
Scénarios typiques : Support de base pour microscopes optiques et interféromètres laser.
Substrat de montage de composants optiques
Fixez des dispositifs optiques tels que des miroirs, des prismes et des lasers pour assurer la stabilité à long terme de la précision d'alignement du système de chemin optique.
Equipements typiques : Equipements de packaging optoélectronique, systèmes de couplage de fibres optiques.
Date de publication : 29 mai 2025