Le granit est couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication d'équipements de précision, notamment pour le traitement des plaquettes. Ceci s'explique par les excellentes propriétés du matériau, telles qu'une rigidité élevée, une faible dilatation thermique et un fort amortissement des vibrations. Il offre une surface stable et plane, essentielle à la production de circuits électroniques miniatures sur plaquettes.
Lors de l'utilisation du granit dans les équipements de traitement de plaquettes, il est important de prendre les précautions nécessaires pour garantir une efficacité et une durée de vie optimales. Voici quelques conseils pour une utilisation et un entretien appropriés du granit.
1. Manipulation et installation correctes
Le granit est un matériau extrêmement lourd et fragile qui exige une manipulation et une installation appropriées. Il est crucial de s'assurer que la surface est parfaitement plane avant la pose. Toute irrégularité peut endommager l'équipement et affecter la qualité des plaquettes produites. Le granit doit être manipulé avec précaution et son transport et sa pose doivent être effectués à l'aide d'équipements spécialisés.
2. Nettoyage régulier
Les équipements de traitement de plaquettes utilisant du granit doivent être nettoyés régulièrement afin d'éviter l'accumulation de débris et de saletés en surface. Cette accumulation peut provoquer des rayures ou des fissures, affectant ainsi la qualité des plaquettes produites. Un chiffon doux et une solution savonneuse douce suffisent pour nettoyer les surfaces en granit. Il convient d'éviter les détergents et produits chimiques agressifs, car ils risquent d'endommager la surface.
3. Maintenance préventive
La maintenance préventive est essentielle au bon fonctionnement des équipements de traitement des plaquettes. Il convient d'inspecter régulièrement les équipements et la surface en granit, et de remédier immédiatement à tout signe de dommage. Cela permet de détecter les problèmes au plus tôt et d'éviter qu'ils ne s'aggravent et n'entraînent des réparations plus coûteuses.
4. Évitez les cycles thermiques.
Le granit est sensible aux variations de température et les cycles thermiques doivent être évités. Des changements rapides de température peuvent provoquer la dilatation et la contraction du granit, entraînant des fissures ou des déformations en surface. Le maintien d'une température stable dans la salle de traitement permet de prévenir ces problèmes. De plus, il est important d'éviter de poser des objets chauds sur la surface du granit afin de prévenir tout choc thermique.
En conclusion, le granit est un matériau couramment utilisé dans les équipements de traitement de plaquettes grâce à ses propriétés supérieures qui contribuent à la production de plaquettes de haute qualité. Pour garantir une efficacité et une durée de vie maximales, une manipulation appropriée, un nettoyage régulier, une maintenance préventive et l'évitement des cycles thermiques sont essentiels. Ces pratiques permettent de maintenir l'équipement en excellent état, assurant ainsi une productivité optimale et des plaquettes de haute qualité.
Date de publication : 27 décembre 2023