Les plateaux en granit sont largement utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes de silicium grâce à leur excellente stabilité, leur rigidité et leurs propriétés d'amortissement des vibrations. L'assemblage, les tests et le calibrage d'un plateau en granit requièrent une approche précise et rigoureuse afin de garantir des performances fiables et optimales. Cet article vous guidera pas à pas dans le processus d'assemblage, de test et de calibrage d'un plateau en granit pour les équipements de traitement de plaquettes de silicium.
Étape 1 : Vérification et préparation de la plaque de surface en granit
La première étape consiste à vérifier l'état de la plaque de granit. Inspectez-la pour déceler d'éventuelles fissures, ébréchures ou rayures, et assurez-vous qu'elle est propre et exempte de débris. Si vous constatez des dommages ou des défauts, la plaque doit être réparée ou remplacée.
Après avoir vérifié la planéité de la plaque de surface, utilisez un niveau pour vous assurer qu'elle est parfaitement plane. Si des défauts de planéité sont constatés, ils doivent être corrigés à l'aide de cales ou d'autres dispositifs de nivellement.
Étape 2 : Mise en place du plateau de la machine à granit
La deuxième étape consiste à positionner le plateau en granit de la machine à son emplacement définitif. Assurez-vous qu'il soit de niveau et stable, et alignez-le avec le reste de l'équipement de traitement des plaquettes. Le plateau en granit doit être solidement fixé afin d'éviter tout mouvement pendant son utilisation.
Étape 3 : Fixation des composants de l’équipement de traitement des plaquettes
La troisième étape consiste à fixer les composants de l'équipement de traitement des plaquettes sur le bâti en granit de la machine. Cette opération doit être effectuée avec soin, en suivant les instructions du fabricant et en veillant à ce que tous les composants soient solidement fixés.
Étape 4 : Test de stabilité et d’amortissement des vibrations du bâti de la machine en granit
Une fois tous les composants de l'équipement de traitement des plaquettes fixés, il convient de tester la stabilité et les propriétés d'amortissement des vibrations du bâti en granit. Pour ce faire, connectez l'équipement à un analyseur de vibrations et effectuez une série de tests.
Ces tests permettront d'identifier les sources de vibrations et l'amplitude des vibrations que le bâti en granit de la machine peut absorber. Tout problème détecté lors de ces tests devra être résolu et le système d'amortissement des vibrations du bâti en granit ajusté en conséquence.
Étape 5 : Calibrage du plateau de la machine à granit
Une fois la stabilité et les propriétés d'amortissement des vibrations du banc en granit testées et ajustées, il convient de calibrer ce dernier afin de garantir une précision d'utilisation optimale. Cette opération implique l'utilisation d'un système de mesure de haute précision pour déterminer la planéité du marbre et ajuster le niveau du banc en conséquence.
Conclusion
L'assemblage, les tests et le calibrage d'un bâti de machine en granit exigent une approche précise et rigoureuse afin de garantir des performances fiables et exactes. En suivant ces étapes, vous vous assurez que vos équipements de traitement de plaquettes reposent sur une base stable et robuste, condition essentielle à une précision et une fiabilité optimales.
Date de publication : 29 décembre 2023