Comment assembler, tester et calibrer le banc de machine en granit pour les produits Wafer Processing Equipment

Les bancs de machines en granit sont largement utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes en raison de leurs excellentes propriétés de stabilité, de rigidité et d’amortissement des vibrations.L'assemblage, le test et l'étalonnage d'un banc de machine en granit nécessitent une approche précise et minutieuse pour garantir des performances précises et fiables.Dans cet article, nous vous guiderons à travers le processus étape par étape d'assemblage, de test et d'étalonnage d'un banc de machine en granit pour les produits d'équipement de traitement de plaquettes.

Étape 1 : Vérification et préparation de la plaque de surface en granit

La première étape consiste à vérifier la plaque de surface en granit pour déceler tout défaut ou dommage.Inspectez la plaque pour déceler toute fissure, éclat ou rayure et assurez-vous qu'elle est propre et exempte de tout débris.Si vous constatez des dommages ou des défauts, la plaque doit être réparée ou remplacée.

Après avoir vérifié la plaque de surface, utilisez un niveau pour vous assurer qu'elle est parfaitement plane.Si des écarts par rapport à la planéité sont détectés, ils doivent être corrigés à l'aide de cales ou d'autres ajustements de nivellement.

Étape 2 : Mise en place du lit de la machine en granit

La deuxième étape consiste à placer le banc de la machine en granit dans sa position définitive.Assurez-vous que le lit est de niveau et stable, et alignez-le avec le reste de l'équipement de traitement des plaquettes.Le bâti de la machine en granit doit être solidement fixé pour empêcher tout mouvement pendant l’utilisation.

Étape 3 : Fixation des composants de l'équipement de traitement de plaquettes

La troisième étape consiste à fixer les composants de l'équipement de traitement des plaquettes au banc de la machine en granit.Cela doit être fait avec soin, en suivant les instructions du fabricant et en s'assurant que tous les composants sont solidement fixés.

Étape 4 : Test du banc de machine en granit pour la stabilité et l'amortissement des vibrations

Une fois tous les composants de l’équipement de traitement des plaquettes fixés, les propriétés de stabilité et d’amortissement des vibrations du banc de machine en granit doivent être testées.Pour ce faire, connectez l’équipement de traitement des plaquettes à un analyseur de vibrations et effectuez une série de tests.

Ces tests permettront d'identifier les sources de vibrations et l'amplitude des vibrations que le banc de la machine en granit peut absorber.Tous les problèmes identifiés lors de ces tests doivent être résolus et le système d'amortissement des vibrations du banc de machine en granit doit être ajusté en conséquence.

Étape 5 : Calibrage du lit de la machine en granit

Une fois que les propriétés de stabilité et d'amortissement des vibrations du banc de machine en granit ont été testées et ajustées, le lit doit être calibré afin qu'il puisse être utilisé avec une précision précise.Cela implique l'utilisation d'un système de mesure de haute précision pour déterminer la planéité de la plaque de surface et ajuster le niveau du banc de la machine en conséquence.

Conclusion

L'assemblage, le test et l'étalonnage d'un banc de machine en granit nécessitent une approche précise et minutieuse pour garantir des performances précises et fiables.En suivant ces étapes, vous pouvez vous assurer que vos équipements de traitement de plaquettes reposent sur une base stable et solide, ce qui est essentiel pour une précision précise et des performances fiables.

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Heure de publication : 29 décembre 2023