Le socle en granit est largement utilisé dans l'industrie manufacturière, notamment dans le traitement des plaquettes de silicium. Il constitue un élément essentiel des machines pour un traitement efficace et précis de ces plaquettes. L'assemblage, les tests et le calibrage d'un socle en granit requièrent une grande attention aux détails et une expertise pointue. Cet article décrit étape par étape le processus d'assemblage, de test et de calibrage d'un socle en granit pour les machines de traitement des plaquettes de silicium.
1. Assemblage du socle de la machine à granit
La première étape pour assembler un socle de machine en granit consiste à préparer tous les composants nécessaires et à vérifier leur qualité. Ces composants peuvent inclure une dalle de granit, un cadre en aluminium, des cales de nivellement et des boulons. Voici les étapes d'assemblage d'un socle de machine en granit :
Étape 1 - Placez la dalle de granit sur une surface plane et propre.
Étape 2 - Fixez le cadre en aluminium autour de la dalle de granit à l'aide de boulons et assurez-vous que le cadre soit aligné avec les bords du granit.
Étape 3 - Installez les patins de nivellement sur la face inférieure du cadre en aluminium pour garantir que la base de la machine est de niveau.
Étape 4 - Serrez tous les boulons et assurez-vous que la base de la machine à granit est robuste et stable.
2. Test de la base de la machine à granit
Après avoir assemblé le socle en granit, il est nécessaire de le tester afin de s'assurer de son bon fonctionnement. Ce test consiste à vérifier son niveau, sa planéité et sa stabilité. Voici les étapes à suivre :
Étape 1 - Utilisez un niveau de précision pour vérifier le niveau de la base de la machine en la plaçant sur différents points de la dalle de granit.
Étape 2 - À l’aide d’une règle ou d’un marbre de contrôle, vérifiez la planéité du socle de la machine en le posant à différents endroits de la dalle de granit. La tolérance de planéité doit être inférieure à 0,025 mm.
Étape 3 - Appliquer une charge sur le bâti de la machine pour vérifier sa stabilité. La charge ne doit provoquer aucune déformation ni aucun mouvement du bâti.
3. Calibrage du socle de la machine à granit
Le calibrage du socle de la machine à granit consiste à ajuster la précision de positionnement de la machine et à l'aligner avec les autres composants afin d'assurer des performances optimales. Voici les étapes à suivre pour calibrer le socle de la machine à granit :
Étape 1 - Installez les instruments de mesure, tels qu'une plateforme optique ou un système d'interféromètre laser, sur la base en granit de la machine.
Étape 2 - Effectuer une série de tests et de mesures pour déterminer les erreurs et les écarts de positionnement de la machine.
Étape 3 - Ajuster les paramètres de positionnement de la machine afin de minimiser les erreurs et les écarts.
Étape 4 - Effectuez une vérification finale pour vous assurer que la base de la machine est correctement calibrée et qu'il n'y a pas d'erreur ou d'écart dans les mesures.
Conclusion
En conclusion, l'assemblage, les tests et le calibrage d'un socle en granit pour la fabrication de produits de traitement de plaquettes sont essentiels pour garantir une précision optimale. Avec les composants, les outils et l'expertise nécessaires, le respect des étapes décrites ci-dessus assure un assemblage, des tests et un calibrage corrects du socle. Un socle en granit bien conçu et calibré garantit des résultats performants et précis pour la fabrication de produits de traitement de plaquettes.
Date de publication : 7 novembre 2023