Les socles de machines en granit sont largement utilisés dans les équipements de traitement des plaquettes en raison de leurs propriétés supérieures, telles que leur rigidité, leur stabilité et leur précision. L'assemblage, le test et l'étalonnage d'un socle de machine en granit sont des processus critiques qui exigent une attention particulière aux détails, une précision et une exactitude maximales. Dans cet article, nous aborderons étape par étape le processus d'assemblage, de test et d'étalonnage d'un socle de machine en granit pour les équipements de traitement des plaquettes.
Assemblage
La première étape consiste à préparer la plaque de granit, la base et la colonne pour l'assemblage. Assurez-vous que toutes les surfaces sont propres, sèches et exemptes de débris, de poussière ou d'huile. Insérez les goujons de nivellement dans la base et placez la plaque de granit dessus. Ajustez les goujons de nivellement pour que la plaque soit horizontale et de niveau. Assurez-vous que la plaque de granit soit au même niveau que la base et la colonne.
Ensuite, installez la colonne sur la base et fixez-la avec des boulons. Utilisez une clé dynamométrique pour serrer les boulons au couple recommandé par le fabricant. Vérifiez le niveau de la colonne et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Enfin, installez l'ensemble broche sur le dessus de la colonne. À l'aide d'une clé dynamométrique, serrez les boulons au couple de serrage recommandé par le fabricant. Vérifiez le niveau de l'ensemble broche et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Essai
Après avoir assemblé la base de la machine, l'étape suivante consiste à tester son fonctionnement et sa précision. Branchez l'alimentation électrique et mettez la machine sous tension. Assurez-vous que tous les composants tels que les moteurs, les engrenages, les courroies et les roulements fonctionnent correctement et sans anomalie ni bruit inhabituel.
Pour tester la précision de la machine, utilisez un comparateur de précision pour mesurer le faux-rond de la broche. Placez le comparateur sur la plaque de surface et faites tourner la broche. Le faux-rond maximal autorisé doit être inférieur à 0,002 mm. Si le faux-rond est supérieur à la limite autorisée, ajustez les goujons de nivellement et vérifiez à nouveau.
Étalonnage
L'étalonnage est une étape cruciale pour garantir la précision et l'exactitude de la base de la machine. Ce processus consiste à tester et à ajuster les paramètres de la machine, tels que la vitesse, le positionnement et la précision, afin de garantir sa conformité aux spécifications du fabricant.
Pour calibrer la machine, vous aurez besoin d'un outil d'étalonnage, comprenant un interféromètre laser, un laser de poursuite ou un Ballbar. Ces outils mesurent le mouvement, la position et l'alignement de la machine avec une grande précision.
Commencez par mesurer les axes linéaires et angulaires de la machine. Utilisez l'outil d'étalonnage pour mesurer le mouvement et la position de la machine sur une distance ou un angle spécifié. Comparez les valeurs mesurées aux spécifications du fabricant. En cas d'écart, ajustez les paramètres de la machine, tels que les moteurs, les engrenages et les entraînements, afin de ramener les valeurs mesurées dans les limites autorisées.
Testez ensuite la fonction d'interpolation circulaire de la machine. Utilisez l'outil d'étalonnage pour créer une trajectoire circulaire et mesurer le mouvement et la position de la machine. Comparez les valeurs mesurées aux spécifications du fabricant et ajustez les paramètres si nécessaire.
Enfin, testez la répétabilité de la machine. Mesurez la position de la machine à différents points sur une période donnée. Comparez les valeurs mesurées et vérifiez les écarts éventuels. En cas d'écart, ajustez les paramètres de la machine et répétez le test.
Conclusion
L'assemblage, le test et l'étalonnage d'une base de machine en granit destinée à l'usinage de plaquettes est un processus crucial qui exige patience, minutie et précision. En suivant ces étapes, vous vous assurez que la machine répond aux spécifications du fabricant et fonctionne avec précision, stabilité et exactitude.
Date de publication : 28 décembre 2023