Les socles en granit sont largement utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes en raison de leurs propriétés supérieures, telles que leur grande rigidité, leur stabilité et leur précision. L'assemblage, les tests et le calibrage d'un socle en granit constituent un processus critique qui exige une attention extrême aux détails, à la précision et à l'exactitude. Cet article décrit étape par étape le processus d'assemblage, de test et de calibrage d'un socle en granit destiné aux équipements de traitement de plaquettes.
Assemblage
La première étape consiste à préparer la plaque de granit, le socle et la colonne pour l'assemblage. Assurez-vous que toutes les surfaces soient propres, sèches et exemptes de débris, de poussière ou d'huile. Insérez les goujons de nivellement dans le socle et placez la plaque de granit dessus. Ajustez les goujons de nivellement afin que la plaque de granit soit horizontale et de niveau. Vérifiez que la plaque de granit affleure le socle et la colonne.
Ensuite, installez la colonne sur la base et fixez-la à l'aide de boulons. Serrez les boulons au couple recommandé par le fabricant à l'aide d'une clé dynamométrique. Vérifiez le niveau de la colonne et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Enfin, installez l'ensemble de broche en haut de la colonne. Serrez les boulons au couple recommandé par le fabricant à l'aide d'une clé dynamométrique. Vérifiez le niveau de l'ensemble de broche et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Essai
Après avoir assemblé le socle de la machine, l'étape suivante consiste à tester son fonctionnement et sa précision. Branchez l'alimentation et mettez la machine en marche. Assurez-vous que tous les composants, tels que les moteurs, les engrenages, les courroies et les roulements, fonctionnent correctement et sans anomalies ni bruits inhabituels.
Pour vérifier la précision de la machine, utilisez un comparateur à cadran de précision afin de mesurer le faux-rond de la broche. Placez le comparateur sur le marbre et faites tourner la broche. Le faux-rond maximal admissible doit être inférieur à 0,002 mm. Si le faux-rond dépasse cette limite, ajustez les goujons de nivellement et effectuez une nouvelle vérification.
Étalonnage
L'étalonnage est une étape cruciale pour garantir la précision et l'exactitude du bâti de la machine. Ce processus consiste à tester et à ajuster les paramètres de la machine, tels que la vitesse, le positionnement et la précision, afin de garantir sa conformité aux spécifications du fabricant.
Pour calibrer la machine, vous aurez besoin d'un outil de calibration, tel qu'un interféromètre laser, un tracker laser ou une barre à billes. Ces outils mesurent avec une grande précision le mouvement, la position et l'alignement de la machine.
Commencez par mesurer les axes linéaires et angulaires de la machine. Utilisez l'outil d'étalonnage pour mesurer le mouvement et la position de la machine sur une distance ou un angle spécifié. Comparez les valeurs mesurées aux spécifications du fabricant. En cas d'écart, ajustez les paramètres de la machine, tels que les moteurs, les engrenages et les transmissions, afin de ramener les valeurs mesurées dans les limites admissibles.
Ensuite, testez la fonction d'interpolation circulaire de la machine. Utilisez l'outil d'étalonnage pour créer une trajectoire circulaire et mesurez le mouvement et la position de la machine. Comparez ensuite les valeurs mesurées aux spécifications du fabricant et ajustez les paramètres si nécessaire.
Enfin, testez la répétabilité de la machine. Mesurez sa position en différents points sur une période donnée. Comparez les valeurs mesurées et vérifiez l'absence d'écarts. Le cas échéant, ajustez les paramètres de la machine et répétez le test.
Conclusion
L'assemblage, les tests et le calibrage d'un socle en granit pour une machine de traitement de plaquettes constituent un processus crucial qui exige patience, minutie et précision. En suivant ces étapes, vous vous assurez que la machine est conforme aux spécifications du fabricant et fonctionne avec exactitude, stabilité et fiabilité.
Date de publication : 28 décembre 2023