Les bases de machines en granit sont largement utilisées dans les équipements de traitement de plaquettes en raison de leurs propriétés supérieures telles qu'une rigidité, une stabilité et une précision élevées.L'assemblage, le test et l'étalonnage d'une base de machine en granit sont un processus critique qui exige la plus grande attention aux détails, à la précision et à l'exactitude.Dans cet article, nous discuterons du processus étape par étape d'assemblage, de test et de calibrage d'une base de machine en granit pour les produits d'équipement de traitement de plaquettes.
Assemblage
La première étape consiste à préparer la plaque de surface en granit, la base et la colonne pour l'assemblage.Assurez-vous que toutes les surfaces sont propres, sèches et exemptes de tout débris, poussière ou huile.Insérez les goujons de nivellement dans la base et placez la plaque de surface dessus.Ajustez les goujons de nivellement pour que la plaque de surface soit horizontale et de niveau.Assurez-vous que la plaque de surface affleure la base et la colonne.
Ensuite, installez la colonne sur la base et fixez-la avec des boulons.Utilisez une clé dynamométrique pour serrer les boulons au couple recommandé par le fabricant.Vérifiez le niveau de la colonne et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Enfin, installez l'ensemble de broche sur le dessus de la colonne.Utilisez une clé dynamométrique pour serrer les boulons au couple recommandé par le fabricant.Vérifiez le niveau de l'ensemble de broche et ajustez les goujons de nivellement si nécessaire.
Essai
Après avoir assemblé la base de la machine, l'étape suivante consiste à tester sa fonctionnalité et sa précision.Connectez l'alimentation électrique et allumez la machine.Assurez-vous que tous les composants tels que les moteurs, les engrenages, les courroies et les roulements fonctionnent correctement et sans aucune anomalie ni bruit inhabituel.
Pour tester la précision de la machine, utilisez un indicateur à cadran de précision pour mesurer le faux-rond de la broche.Réglez le comparateur à cadran sur la plaque de surface et faites tourner la broche.Le faux-rond maximum autorisé doit être inférieur à 0,002 mm.Si le faux-rond est supérieur à la limite autorisée, ajustez les goujons de nivellement et vérifiez à nouveau.
Étalonnage
L'étalonnage est l'étape critique pour garantir l'exactitude et la précision de la base de la machine.Le processus d'étalonnage implique de tester et d'ajuster les paramètres de la machine, tels que la vitesse, le positionnement et la précision, pour garantir que la machine répond aux spécifications du fabricant.
Pour calibrer la machine, vous aurez besoin d'un outil d'étalonnage, qui comprend un interféromètre laser, un laser tracker ou un Ballbar.Ces outils mesurent le mouvement, la position et l'alignement de la machine avec une grande précision.
Commencez par mesurer les axes linéaires et angulaires de la machine.Utilisez l'outil d'étalonnage pour mesurer le mouvement et la position de la machine sur une distance ou un angle spécifié.Comparez les valeurs mesurées avec les spécifications du fabricant.En cas d'écart, ajustez les paramètres de la machine, tels que les moteurs, les engrenages et les entraînements, pour ramener les valeurs mesurées dans les limites autorisées.
Ensuite, testez la fonction d'interpolation circulaire de la machine.Utilisez l'outil d'étalonnage pour créer une trajectoire circulaire et mesurer le mouvement et la position de la machine.Comparez à nouveau les valeurs mesurées avec les spécifications du fabricant et ajustez les paramètres si nécessaire.
Enfin, testez la répétabilité de la machine.Mesurez la position de la machine à différents points sur une période spécifiée.Comparez les valeurs mesurées et vérifiez les éventuels écarts.S'il y a des écarts, ajustez les paramètres de la machine et répétez le test.
Conclusion
L'assemblage, le test et l'étalonnage d'une base de machine en granit pour les produits d'équipement de traitement de plaquettes sont un processus critique qui nécessite de la patience, une attention aux détails et de la précision.En suivant ces étapes, vous pouvez vous assurer que la machine répond aux spécifications et fonctionne du fabricant avec exactitude, stabilité et précision.
Heure de publication : 28 décembre 2023