IDans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs, la précision des équipements d'inspection des plaquettes est essentielle pour garantir la qualité des circuits intégrés. Les socles de machines en granit de haute précision, tels que ceux fournis par ZHHIMG®, jouent un rôle crucial dans l'amélioration des performances de ces équipements. Voici comment ils font la différence.
Stabilité dimensionnelle exceptionnelle : le granit présente un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, de l’ordre de (4–8)×10⁻⁶/°C, nettement inférieur à celui de nombreux métaux. Dans l’environnement rigoureusement contrôlé des usines de semi-conducteurs, où même de faibles variations de température peuvent engendrer des erreurs de mesure, les socles de machines en granit conservent une stabilité optimale. Cette stabilité garantit la précision du positionnement des composants dans les équipements d’inspection de plaquettes, évitant ainsi toute déviation thermique susceptible d’affecter la précision des résultats d’inspection.
Amortissement supérieur des vibrations : Les sols de production sont souvent soumis à des vibrations de diverses sources. Les propriétés d'amortissement intrinsèques du granit, avec un coefficient d'amortissement de 0,05 à 0,1, absorbent et dissipent efficacement ces vibrations. Pour l'inspection des plaquettes
Pour les applications nécessitant une imagerie haute résolution et des mesures précises des capteurs, la réduction des vibrations offerte par les socles en granit est inestimable. Elle minimise les interférences susceptibles de brouiller les images ou de fausser les données des capteurs, permettant ainsi à l'équipement de capturer des informations claires et précises sur la surface et la structure interne de la plaquette.
Rigidité et résistance à l'usure exceptionnelles. Avec une densité d'environ 3 100 kg/m³, les socles en granit de ZHHIMG® offrent une rigidité remarquable. Ils supportent les composants lourds des équipements d'inspection de plaquettes sans se déformer, préservant ainsi l'alignement des systèmes optiques et mécaniques. De plus, la dureté élevée du granit (6 à 7 sur l'échelle de Mohs) et son excellente résistance à l'usure garantissent la planéité et la douceur de la surface du socle dans le temps. Cette constance est essentielle pour une précision durable, car toute usure ou déformation du socle pourrait progressivement dégrader la précision de l'équipement.
Inertie chimique : La fabrication de semi-conducteurs implique l’exposition à divers produits chimiques. L’inertie chimique du granit le rend résistant à la corrosion causée par ces substances. Cette propriété préserve l’intégrité du bâti de la machine, évitant ainsi les dommages d’origine chimique qui pourraient affecter la stabilité et la précision de l’équipement d’inspection.
En conclusion, les socles de machines en granit de haute précision ne sont pas de simples composants, mais un élément essentiel pour atteindre les exigences de précision extrêmes des équipements d'inspection de plaquettes. Pour le choix de vos socles de machines en granit, privilégiez des fournisseurs de confiance comme ZHHIMG®. Forte de multiples certifications et d'un engagement constant envers la qualité, ZHHIMG® garantit que chaque socle de machine en granit offre la fiabilité et les performances nécessaires à la fabrication de semi-conducteurs de pointe.
Date de publication : 3 juin 2025