IDans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs, la précision des équipements d'inspection des plaquettes est cruciale pour garantir la qualité des circuits intégrés. Les bases de machines en granit de haute précision, comme celles fournies par ZHHIMG®, jouent un rôle essentiel dans l'amélioration des performances de ces équipements. Voici comment elles font la différence.
Stabilité dimensionnelle exceptionnelle : le granit présente un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, d'environ (4–8)×10⁻⁶/℃, nettement inférieur à celui de nombreux métaux. Dans l'environnement hautement contrôlé des usines de semi-conducteurs, où même de légères variations de température peuvent entraîner des erreurs de mesure, les bases de machines en granit restent stables. Cette stabilité garantit la précision du positionnement des composants dans les équipements d'inspection de plaquettes, évitant ainsi tout écart thermique susceptible d'affecter la précision des résultats d'inspection.
Amortissement supérieur des vibrations : les sols de production sont souvent soumis à des vibrations de diverses sources. Les propriétés d'amortissement inhérentes au granit, avec un coefficient d'amortissement de 0,05 à 0,1, absorbent et dissipent efficacement ces vibrations. Pour l'inspection des plaquettes
Dans la section, qui exige une imagerie haute résolution et des relevés de capteurs précis, la réduction des vibrations offerte par les bases en granit est précieuse. Elle minimise les interférences susceptibles de brouiller les images ou de déformer les données des capteurs, permettant ainsi à l'équipement de capturer des informations claires et précises sur la surface et la structure interne de la plaquette.
Rigidité et résistance à l'usure élevées. Avec une densité d'environ 3 100 kg/m³, les socles de machines en granit ZHHIMG® offrent une rigidité remarquable. Ils peuvent supporter les composants lourds des équipements d'inspection de wafers sans se déformer, préservant ainsi l'alignement des systèmes optiques et mécaniques. De plus, la dureté élevée du granit (échelle de Mohs 6-7) et son excellente résistance à l'usure garantissent que la surface du socle de la machine reste plane et lisse au fil du temps. Cette constance est essentielle pour une précision à long terme, car toute usure ou déformation du socle pourrait progressivement dégrader la précision de l'équipement.
Inertie chimique : la fabrication de semi-conducteurs implique une exposition à divers produits chimiques. L'inertie chimique du granit le rend résistant à la corrosion causée par ces substances. Cette propriété préserve l'intégrité de la base de la machine, empêchant ainsi les dommages chimiques susceptibles d'affecter la stabilité et la précision de l'équipement d'inspection.
En conclusion, les bases de machines en granit de haute précision ne sont pas seulement un composant, mais un élément clé pour répondre aux exigences de précision élevées des équipements d'inspection de plaquettes. Pour choisir vos bases de machines en granit, optez pour des fournisseurs de confiance comme ZHHIMG®. Fort de multiples certifications et d'un engagement qualité, ZHHIMG® garantit que chaque base de machine en granit offre la fiabilité et les performances nécessaires à la fabrication avancée de semi-conducteurs.
Date de publication : 03/06/2025