Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, la précision submicronique est la clé pour garantir les performances des puces, et la base en granit (ZHHIMG®), avec ses propriétés matérielles, son traitement précis et sa conception innovante, est devenue la garantie essentielle pour atteindre cette précision.
Du point de vue des propriétés des matériaux, le granit noir sélectionné par ZHHIMG® présente une densité d'environ 3 100 kg/m³ et une structure interne dense. Cette densité élevée lui confère une stabilité et une rigidité exceptionnelles. Lors du fonctionnement des équipements pour semi-conducteurs, la rotation des moteurs et le mouvement des composants mécaniques internes génèrent des vibrations. La base en granit absorbe efficacement plus de 90 % de l'énergie vibratoire, réduisant ainsi considérablement l'impact des vibrations sur la précision des équipements. Par ailleurs, son coefficient de dilatation thermique extrêmement faible lui permet de limiter sa déformation aux variations de température ambiante, assurant ainsi un support stable aux équipements pour semi-conducteurs et empêchant le déplacement des composants dû aux variations de température, ce qui pourrait affecter la précision.
En matière de traitement et de fabrication, l'usine ZHHIMG® utilise des équipements de pointe internationaux et dispose de quatre rectifieuses de très grande taille (d'une valeur unitaire supérieure à 500 000 USD), capables d'effectuer un meulage de haute précision sur du granit. Grâce à l'usinage CNC à cinq axes et à d'autres procédés, la planéité du bâti de la machine atteint le nanomètre, offrant ainsi une surface de référence ultra-plane pour l'installation d'équipements semi-conducteurs et garantissant le positionnement précis de chaque composant. De plus, un atelier à température et hygrométrie constantes (d'une superficie de 10 000 mètres carrés) assure un environnement de traitement stable. Les tranchées anti-vibrations de 500 mm de large et 2 000 mm de profondeur qui l'entourent, ainsi que les ponts roulants silencieux, isolent efficacement les vibrations externes et garantissent la précision d'usinage du bâti de la machine.
De plus, ZHHIMG® offre une grande capacité de personnalisation. Pour répondre aux exigences spécifiques des équipements pour semi-conducteurs, des trous de fixation précis et des chemins de câbles peuvent être préfabriqués afin d'assurer une compatibilité parfaite entre l'équipement et le socle. Par ailleurs, grâce à des équipements de métrologie et de test de pointe, tels que le micromètre Mahr allemand (précision de 0,5 µm) et le niveau électronique WYLER suisse, le socle de la machine est rigoureusement inspecté et calibré afin de garantir sa conformité aux exigences strictes de précision submicronique des équipements pour semi-conducteurs.
C’est précisément la combinaison de ces avantages qui fait de la base en granit ZHHIMG® un choix fiable pour atteindre une précision submicronique dans les équipements semi-conducteurs, aidant ainsi la fabrication de semi-conducteurs à évoluer vers des domaines de plus haute précision.
Date de publication : 18 juin 2025