Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, la précision submicronique est la clé pour garantir les performances des puces, et la base en granit (ZHHIMG®), avec ses propriétés matérielles, son traitement précis et sa conception innovante, est devenue la garantie principale pour atteindre cette précision.
Du point de vue des propriétés du matériau, le granit noir sélectionné par ZHHIMG® présente une densité d'environ 3 100 kg/m³ et une structure interne dense. Cette densité élevée lui confère une stabilité et une rigidité exceptionnelles. Lors du fonctionnement des équipements semi-conducteurs, la rotation des moteurs et le mouvement des composants mécaniques à l'intérieur génèrent des vibrations. La base en granit peut absorber efficacement plus de 90 % de l'énergie vibratoire, réduisant ainsi considérablement leur impact sur la précision de l'équipement. De plus, son coefficient de dilatation thermique extrêmement faible lui permet de limiter sa déformation aux variations de température ambiante, offrant ainsi une base stable aux équipements semi-conducteurs et empêchant le déplacement des composants dû aux variations de température, susceptible d'affecter la précision.
En termes d'usinage et de fabrication, l'usine ZHHIMG® est dotée d'équipements de pointe internationaux et de quatre rectifieuses de très grande taille (chacune coûtant plus de 500 000 USD), capables d'effectuer un meulage de haute précision sur le granit. Grâce à l'usinage CNC à cinq axes et à d'autres procédés, la planéité de la base de la machine atteint l'échelle nanométrique, offrant une surface de référence ultra-plate pour l'installation d'équipements semi-conducteurs et garantissant le positionnement précis de chaque composant. De plus, l'atelier à température et humidité constantes (d'une superficie de 10 000 mètres carrés) offre un environnement stable pour l'usinage. Les tranchées antivibratoires de 500 mm de large et de 2 000 mm de profondeur, ainsi que les grues silencieuses, isolent efficacement les vibrations externes et garantissent la précision d'usinage de la base de la machine.
De plus, ZHHIMG® offre une forte capacité de personnalisation. Pour répondre aux exigences spécifiques des équipements semi-conducteurs, des trous d'installation et des chemins de câbles précis peuvent être préfabriqués afin d'assurer une compatibilité parfaite entre l'équipement et la base. Parallèlement, grâce à des équipements de métrologie et de test de pointe tels que la jauge minute allemande Mahr (d'une précision de 0,5 µm) et le niveau électronique suisse WYLER, la base de la machine est rigoureusement inspectée et calibrée afin de garantir que chaque base réponde aux exigences strictes des équipements semi-conducteurs en matière de précision submicronique.
C'est précisément la combinaison de ces avantages qui fait de la base en granit ZHHIMG® un choix fiable pour atteindre une précision submicronique dans les équipements semi-conducteurs, aidant la fabrication de semi-conducteurs à évoluer vers des domaines de plus haute précision.
Date de publication : 18 juin 2025