Dans le domaine du rainurage de plaquettes de semi-conducteurs, la précision est essentielle. Une base en granit discrète peut offrir un saut qualitatif aux performances de l'équipement de rainurage ! Quels « super-pouvoirs » cache-t-elle réellement ? Pourquoi dit-on que choisir la bonne base en granit signifie avoir réussi à moitié ? Aujourd'hui, nous vous expliquons tout en détail !
I. Résistance inhérente : les trois « avantages inhérents » du granit
La résistance sismique est aussi stable que le mont Tai
Le granit a une densité pouvant atteindre 2 800 à 3 100 kg/m³ et sa structure est aussi dense qu'une forteresse de pierre. Dans l'environnement vibratoire haute fréquence du rainurage des plaquettes (l'équipement rainure plus de 100 fois par minute), il peut absorber plus de 90 % de l'énergie vibratoire, comme si l'équipement était équipé de la technologie noire antichoc ! Les données mesurées dans une usine de puces montrent qu'après l'utilisation de la base en granit, l'amplitude de vibration de la tête de rainurage est passée de 15 µm à 3 µm, et les bords des micro-rainures sculptées sont lisses comme un miroir.
2. « Constitution résistante à la chaleur » Ne craint pas les différences de température
Les matériaux ordinaires se dilatent et se déforment lorsqu'ils sont chauffés et se contractent et se déforment lorsqu'ils sont refroidis. Or, le coefficient de dilatation thermique du granit est faible, à seulement 4-8 × 10⁻⁶/℃, soit seulement 1/5 de celui des métaux ! Même en cas de fortes variations de température de 10 ℃ en 24 heures dans l'atelier, sa déformation est inférieure à 0,01 mm et est quasiment négligeable. Ainsi, quelle que soit l'alternance jour-nuit, le fonctionnement prolongé et la production de chaleur de l'équipement, la base en granit maintient la position de la rainure immobile en permanence.
3. Résistance à l'usure indestructible
La dureté Mohs du granit atteint 6 à 7, comparable à celle du quartz, et sa résistance à l'usure est trois fois supérieure à celle de l'acier ordinaire ! Sous l'effet du frottement haute fréquence prolongé du rainurage des plaquettes, la surface de la base s'use à peine. Après cinq ans d'utilisation de bases en granit par une fonderie, la planéité est restée constante à ± 0,5 µm/m lors de l'inspection, et la précision du rainurage est restée constante, ce qui a permis d'importantes économies d'étalonnage et de remplacement des équipements.
Ii. Adaptation précise : comment le granit répond-il aux différentes exigences de rainurage ?
Scène 1 : Rainurage ultra-fin (micro-rainures inférieures à 10 μm)
Exigence : Planéité ultime
Avantages du granit : grâce à un usinage haute précision à cinq axes, la planéité est contrôlée avec une précision de ± 0,5 µm/m, ce qui signifie que sur une longueur d'un mètre, l'erreur de hauteur est 200 fois plus fine qu'un cheveu ! La distance entre la tête de rainurage et la plaquette est toujours précise et l'erreur de largeur des micro-rainures gravées ne dépasse pas ± 0,1 µm.
Scène 2 : Rainurage de production de masse à grande vitesse
Exigence : Super performance d'absorption des chocs
Avantages du granit : ses propriétés d'amortissement naturelles permettent d'atténuer rapidement les vibrations des équipements. Après l'introduction de bases en granit dans une usine de panneaux, la vitesse de rainurage a augmenté de 40 % et le rendement est passé de 85 % à 96 %, permettant ainsi un doublement de l'efficacité et de la qualité de la production !
Scène 3 : Rainurage en environnement complexe (Haute température/corrosion)
Exigences : Résistance aux hautes températures et à la corrosion
Avantages du granit : stabilité chimique exceptionnelle, résistance à la corrosion acide et alcaline ; faible coefficient de dilatation thermique et indéformabilité, même à température ambiante élevée (150 °C) lors du rainurage laser. Un socle en granit, utilisé en laboratoire avec une solution de rainurage corrosive, a été utilisé en continu pendant trois ans, et sa surface est restée intacte.
Iii. Comment choisir une base en granit « authentique de haute qualité » ?
Regardez la densité : le granit avec une densité ≥ 2800 kg/m³ a une structure plus compacte.
Vérifiez les certifications : Assurez-vous de reconnaître les certifications faisant autorité telles que ISO 9001 et CNAS pour garantir la qualité.
Données de vérification : Le fabricant est tenu de fournir des rapports d'essai sur le coefficient de dilatation thermique (< 8×10⁻⁶/℃) et la planéité (±0,5μm/m).
Test sur site : tapotez la base. Un son clair indique qu'il n'y a aucune fissure à l'intérieur. Une surface tactile lisse comme un miroir indique une grande précision de traitement.
Conclusion : Choisissez le bon granit et gagnez la moitié de la bataille du rainurage !
Résistant aux chocs, à la chaleur et à l'usure, le support en granit, avec sa beauté naturelle et sa robustesse à toute épreuve, est devenu un allié précieux pour les équipements de rainurage de plaquettes. À l'ère actuelle de la fabrication de semi-conducteurs, axée sur la précision nanométrique, un support en granit de haute qualité représente non seulement un investissement en équipement, mais aussi une garantie durable d'efficacité de production et de qualité des produits !
Date de publication : 17 juin 2025