Dans le domaine de la fabrication haut de gamme et de la recherche scientifique de pointe, le module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique est devenu un équipement essentiel pour un fonctionnement et une mesure précis grâce à ses excellentes performances. Le socle de précision en granit, qui constitue le noyau de support, répond à des exigences strictes en matière d'environnement de travail, et des conditions environnementales adaptées garantissent des performances stables et un rendement optimal.
Tout d'abord, le contrôle de la température : un « stabilisateur » de précision
Bien que le granit soit réputé pour sa stabilité, il n'est pas totalement insensible aux variations de température. Malgré son faible coefficient de dilatation thermique, généralement compris entre 5 et 7 × 10⁻⁶/℃, dans les scénarios de contrôle de mouvement ultra-précis, de subtiles fluctuations de température peuvent néanmoins entraîner des variations dimensionnelles et affecter la précision du module. Dans l'atelier de fabrication de puces semi-conductrices, le processus de lithographie exige une précision de positionnement de niveau danami. La température ambiante fluctue de 1 °C. Une base en granit d'un mètre de côté peut produire une dilatation ou une contraction linéaire de 5 à 7 microns. Cette faible variation est transmise par le module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique, ce qui suffit à provoquer une déviation du motif de lithographie de la puce et à réduire considérablement le rendement. Par conséquent, équipé d'une base de précision en granit du module de mouvement ultra-précis flottant à air, la température idéale de l'environnement de travail doit être contrôlée à 20 ° C ± 1 ° C, à l'aide d'un équipement de température constante de haute précision, tel qu'un système de climatisation à température et humidité constantes, une surveillance et un réglage continus de la température ambiante, pour garantir que les fluctuations de température dans une très petite plage, maintiennent la stabilité de la taille de la base, pour garantir le fonctionnement de haute précision du module.
Deuxièmement, la gestion de l'humidité : la clé de la protection anti-humidité « pierre »
L'humidité est un autre facteur important affectant les performances d'une base en granit de précision. Dans un environnement très humide, le granit absorbe facilement la vapeur d'eau, ce qui peut entraîner de la condensation à la surface. Ce phénomène affecte non seulement la stabilité de la liaison entre le granit et le module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique, mais peut également provoquer une érosion de la surface et réduire la brillance et la précision à long terme. Dans un atelier de rectification de lentilles optiques, si l'humidité relative est supérieure à 60 % pendant une période prolongée, la vapeur d'eau adsorbée à la surface de la base en granit interfère avec le mouvement du coulisseau du flotteur pneumatique, ce qui réduit la précision de la rectification et engendre des défauts de surface. Par conséquent, l'humidité relative de l'environnement de travail doit être strictement contrôlée entre 40 % et 60 %. Cette humidité peut être surveillée et ajustée en temps réel grâce à l'installation de déshumidificateurs, de capteurs d'humidité et d'autres équipements afin d'éviter tout dommage à la base en granit dû à une humidité élevée et de garantir le bon fonctionnement du module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique.
Troisièmement, la garantie de propreté : le « gardien » de la précision
Les dommages causés par les particules de poussière à la base en granit de précision du module de mouvement ultra-précis de flottation à air ne doivent pas être sous-estimés. Une fois que ces particules pénètrent dans l'espace entre le coulisseau du flotteur à gaz et la base en granit, elles peuvent altérer l'uniformité du film gazeux, augmenter la friction et même rayer la surface de la base, réduisant ainsi la précision du mouvement. Dans l'atelier d'usinage ultra-précis de pièces aéronautiques, si des particules de poussière en suspension dans l'air tombent sur la base en granit, la trajectoire de l'outil peut être déviée, affectant ainsi la précision d'usinage des pièces. Par conséquent, la zone de travail doit être maintenue parfaitement propre, atteignant un niveau de propreté de 10 000 ou plus, grâce à l'installation d'équipements de purification de l'air, tels que des filtres à air haute efficacité (HEPA), qui filtrent les particules de poussière en suspension dans l'air. Parallèlement, le personnel doit porter des vêtements et des couvre-chaussures anti-poussière, etc., afin de réduire la poussière transportée par les humains. Maintenir un environnement de travail de haute précision pour la base en granit et le module de mouvement ultra-précis de flottation à air.
Quatre, isolation des vibrations : fonctionnement fluide du « shock pad »
Les vibrations externes compromettent la précision du module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique. Bien que la base en granit de précision présente une certaine capacité d'atténuation des vibrations, les vibrations de forte intensité peuvent dépasser sa limite d'amortissement. Les vibrations générées par la circulation autour de l'usine et le fonctionnement des gros équipements mécaniques sont transmises à la base en granit par le sol, ce qui perturbe la précision du mouvement du module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique. Sur les MMT haut de gamme, les vibrations peuvent rendre le contact entre la sonde de mesure et la pièce à mesurer instable, entraînant une distorsion des données de mesure. Pour résoudre ce problème, il est nécessaire d'adopter des mesures d'isolation vibratoire efficaces, telles que la pose de plots antivibratoires dans la zone d'installation de l'équipement, la construction de fondations antivibratoires ou l'utilisation d'un système d'isolation active des vibrations pour compenser activement les vibrations externes, et ainsi créer un environnement de travail silencieux et stable pour la base en granit et le module de mouvement ultra-précis du flotteur pneumatique.
Ce n'est qu'en répondant pleinement aux exigences environnementales de température, d'humidité, de propreté et de contrôle des vibrations que la base de précision en granit du module de mouvement ultra-précis du flotteur à air peut exploiter pleinement ses avantages en termes de performances, fournir une garantie fiable pour les opérations ultra-précises dans divers domaines et aider l'industrie à évoluer vers un niveau de fabrication et de recherche scientifique de plus grande précision.
Date de publication : 08/04/2025