Dans les domaines de la fabrication de précision et de la recherche scientifique, la planéité des plateformes de précision en granit est un indicateur clé pour garantir la précision des équipements. Voici une introduction détaillée à plusieurs méthodes de détection courantes et à leurs procédures de fonctionnement.
I. Méthode de détection par interféromètre laser
L'interféromètre laser est l'outil privilégié pour la détection de planéité de haute précision. Prenons l'exemple de l'interféromètre laser ZYGO GPI XP : sa résolution peut atteindre 0,1 nm. Pour la détection, il faut d'abord aligner la source lumineuse de l'interféromètre avec la plateforme et diviser la surface de la plateforme en zones de grille de 50 mm × 50 mm. Les données des franges d'interférence ont ensuite été collectées point par point, puis ajustées et analysées à l'aide du polynôme de Zernike pour obtenir l'erreur de planéité. Cette méthode est applicable aux plateformes de haute précision et permet de détecter des erreurs de planéité ≤ 0,5 µm/m². Elle est couramment utilisée pour la détection des machines de photolithographie et des plateformes de machines de mesure tridimensionnelles haut de gamme.
II. Méthode du réseau de niveaux électroniques
La détection par réseau de niveaux électroniques est simple d'utilisation et très efficace. Le niveau électronique TESA A2 (avec une résolution de 0,01 μm/m) a été sélectionné et disposé en réseau 9×9 le long de l'axe X/Y de la plateforme. La collecte synchrone des données d'inclinaison de chaque niveau, puis le calcul par la méthode des moindres carrés, permettent d'obtenir avec précision la valeur de planéité. Cette méthode permet d'identifier efficacement les conditions locales de concavité et de convexité de la plateforme. Par exemple, une fluctuation de 0,2 μm sur une plage de 50 mm peut également être détectée, ce qui est adapté à une détection rapide en production de masse.
Iii. Méthode du cristal plat optique
La méthode du cristal optique plat est adaptée à la détection de plateformes de petite surface. Fixez fermement le cristal optique plat sur la surface à tester et observez les franges d'interférence formées entre elles sous l'éclairage d'une source lumineuse monochromatique (telle qu'une lampe au sodium). Si les bandes sont droites et parallèles, cela indique une bonne planéité. Si des bandes courbes apparaissent, calculez l'erreur de planéité en fonction de leur degré de courbure. Chaque bande courbe représente une différence de hauteur de 0,316 μm, et les données de planéité peuvent être obtenues par simple conversion.
Quatre. Méthode d'inspection de la machine à mesurer tridimensionnelle
La machine à mesurer tridimensionnelle permet des mesures de haute précision dans l'espace tridimensionnel. Placez la plateforme en granit sur la table de la machine et utilisez la sonde pour collecter uniformément les données de plusieurs points de mesure à la surface de la plateforme. La machine traite et analyse ces données pour générer un rapport de planéité de la plateforme. Cette méthode permet non seulement de détecter la planéité, mais aussi d'obtenir simultanément d'autres paramètres géométriques de la plateforme, et convient à la détection complète des grandes plateformes en granit.
La maîtrise de ces méthodes de détection peut vous aider à évaluer avec précision la planéité de la plate-forme de précision en granit et fournir une garantie fiable pour le fonctionnement stable de l'équipement de précision.
Date de publication : 29 mai 2025