Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, les machines à rainurer les plaquettes jouent un rôle crucial dans la création de canaux précis sur les plaquettes. Leurs performances peuvent avoir une influence significative.
Le choix du socle de la machine est déterminant. Les socles de machine en granit de haute précision, comme ceux proposés par ZHHIMG®, ont révolutionné ce domaine.
Stabilité pour un rainurage précis
La stabilité est primordiale pour le rainurage des plaquettes. Le granit, avec sa densité élevée d'environ 3 100 kg/m³, offre une base extrêmement stable. Pendant le rainurage, l'outil de coupe exerce une force sur la plaquette. Une base de machine stable, comme celle en granit, garantit le maintien du mécanisme de maintien de la plaquette. Cette stabilité minimise les mouvements et vibrations indésirables de la plaquette, permettant à l'outil de coupe de créer des rainures d'une grande précision. À l'inverse, un matériau de base moins stable peut entraîner un léger décalage de la plaquette, créant des rainures trop larges, trop étroites ou non rectilignes, ce qui peut sérieusement compromettre la fonctionnalité du semi-conducteur final.
Amortissement des vibrations pour un fonctionnement fluide
Les vibrations sont un problème inhérent à tout processus d'usinage, et le rainurage de plaquettes ne fait pas exception. La rotation à grande vitesse de l'outil de coupe dans une machine à rainurer les plaquettes génère des vibrations. Si ces vibrations ne sont pas efficacement amorties, elles peuvent entraîner un écaillage des bords des plaquettes, des profondeurs de rainure irrégulières et un mauvais état de surface. Le granit possède d'excellentes propriétés d'amortissement des vibrations. Sa structure naturelle, composée de grains minéraux imbriqués, agit comme un amortisseur naturel. Lorsque les vibrations se produisent, l'énergie est dissipée dans le granit, réduisant ainsi l'impact sur la plaquette et l'outil de coupe. Il en résulte des opérations de coupe plus fluides, une durée de vie de l'outil prolongée et des plaquettes rainurées de meilleure qualité.
Résistance thermique pour des résultats cohérents
Les installations de fabrication de semi-conducteurs fonctionnent souvent dans des environnements contrôlés, mais de légères fluctuations de température peuvent néanmoins survenir. Le granit présente un très faible coefficient de dilatation thermique. Ainsi, même si la température varie légèrement pendant le rainurage des plaquettes (en raison de la chaleur générée par l'outil de coupe ou des variations de température ambiante), la base de la machine en granit ne se dilate ni ne se contracte de manière significative. Lors du rainurage des plaquettes, où les tolérances de précision sont de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre, les variations dimensionnelles induites par la chaleur peuvent être désastreuses. La stabilité thermique du granit contribue à maintenir l'alignement des composants de la machine, garantissant ainsi la précision et la régularité du rainurage au fil du temps.
Durabilité pour une utilisation à long terme
Les machines à rainurer les plaquettes sont utilisées en continu dans la fabrication de semi-conducteurs en grande série. La base de la machine est soumise à des contraintes mécaniques, des frottements et des impacts occasionnels. La grande dureté et la résistance à l'usure du granit en font un matériau idéal pour une utilisation à long terme. Il résiste aux rigueurs d'un fonctionnement quotidien sans usure ni déformation significatives. Cette durabilité réduit les remplacements fréquents et les coûts de maintenance liés aux problèmes liés à la base. De plus, le granit est chimiquement inerte, ce qui signifie qu'il résiste à la corrosion due aux produits chimiques utilisés dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, ce qui prolonge encore sa durée de vie.
En conclusion, une base de machine en granit de haute précision peut effectivement améliorer les performances des machines de rainurage de plaquettes. En assurant stabilité, amortissement des vibrations, résistance aux variations thermiques et durabilité à long terme, les bases de machine en granit contribuent à des opérations de rainurage de plaquettes plus précises, efficaces et fiables. Lors de la mise à niveau ou de l'achat d'une nouvelle machine de rainurage de plaquettes, choisir une machine équipée d'une base de machine en granit de haute précision, comme celles de ZHHIMG®, est une décision judicieuse qui peut améliorer considérablement la qualité et la productivité de la fabrication de semi-conducteurs.
Date de publication : 03/06/2025