La plateforme en granit, outil de référence pour les mesures et les traitements de précision, voit sa précision maintenue de façon optimale, ce qui influe directement sur la qualité de la production. Le plan de maintenance systématique décrit ci-après comprend le contrôle environnemental, la maintenance quotidienne et l'étalonnage professionnel afin de garantir une précision nanométrique durable de la plateforme.
1. Contrôle environnemental : Construire une barrière de protection de précision
Gestion de la température et de l'humidité
La température ambiante de travail doit être stabilisée à 20 ± 1 °C. Toute fluctuation de 1 °C entraîne une déformation thermique de la plateforme en granit de 0,5 à 1 µm/m. Un système de régulation de température peut être installé dans l'atelier afin d'éviter que l'air des bouches de climatisation ne soit soufflé directement sur la plateforme.
L'humidité doit être maintenue entre 40 % et 60 %. Une humidité excessive peut facilement provoquer de la rouille sur les pièces métalliques, tandis qu'une humidité trop faible peut entraîner des interférences d'électricité statique lors des mesures.
Isolation des vibrations
La plateforme doit être maintenue à l'écart des sources de vibrations telles que les presses à emboutir et les fraiseuses. Il est recommandé de respecter une distance de plus de 3 mètres par rapport aux équipements vibrants.
Si les vibrations ne peuvent être évitées, des amortisseurs à ressort pneumatique peuvent être installés au bas de la plateforme pour réduire l'impact des vibrations environnementales sur la planéité de la plateforme (ce qui peut réduire les vibrations externes de plus de 80 %).
2. Entretien quotidien : Contrôle rigoureux du nettoyage à la protection
Spécifications de nettoyage de surface
Nettoyage : Essuyez quotidiennement la surface avec un chiffon doux ou non pelucheux, toujours dans le même sens, afin d’éviter que les particules de poussière (≥ 5 µm) ne rayent la plateforme. Les taches tenaces peuvent être nettoyées délicatement avec de l’éthanol anhydre (pureté ≥ 99,7 %). N’utilisez en aucun cas de solvants puissants tels que l’acétone.
Dégraissage : En cas de contact avec des taches d’huile, essuyez avec un nettoyant neutre dilué, puis rincez à l’eau déminéralisée et laissez sécher à l’air libre pour empêcher l’huile minérale de pénétrer dans les minuscules pores de la plateforme.
Protection contre les charges et les collisions
La capacité de charge de la plateforme doit être contrôlée à moins de 70 % de la charge nominale (par exemple, pour une plateforme de 1000 kg, il est recommandé que la charge soit ≤ 700 kg) afin d'éviter toute déformation permanente due à une surcharge locale.
Il est strictement interdit de frapper les pièces à usiner sur la plateforme. Lors de la manipulation d'outils, portez des gants souples afin d'éviter que des objets pointus ne rayent la surface (les rayures d'une profondeur supérieure à 20 µm affecteront la mesure du trajet de la lumière réfléchie).
3. Étalonnage professionnel : la base du maintien scientifique de la précision
Réglage du cycle d'étalonnage
Scénarios d'utilisation conventionnels : Calibrer une fois par trimestre et utiliser un interféromètre laser pour détecter la planéité (avec une précision de ±0,5 μm/m).
Utilisation fréquente ou environnements difficiles : étalonnage mensuel, en portant une attention particulière à la surveillance des zones sensibles à la température (comme le bord de la plateforme près des sources de chaleur).
Traitement post-étalonnage
En cas de défaut de planéité (par exemple > ±1 µm/m), la surface doit être rectifiée par un technicien qualifié à l'aide de micro-poudre W1.5. Tout ponçage manuel est strictement interdit.
Après l'étalonnage, les données doivent être enregistrées et archivées, et une courbe d'atténuation de la précision de la plateforme doit être établie afin de prévoir les besoins de maintenance.
4. Stockage et transport : éviter les pertes de précision cachées
Points clés pour le stockage à long terme
Lors du stockage, il convient de la recouvrir d'une housse étanche à l'humidité et à la poussière. La base doit reposer sur trois points d'appui (le point d'appui principal se situant aux 2/9 de la longueur de la plateforme) afin d'éviter toute déformation due à la gravité (une plateforme d'un mètre peut s'affaisser de 0,3 µm en cas de support prolongé sur un seul point).
Déplacer régulièrement (mensuellement) la position des points de support de la plateforme afin d'éviter une pression locale à long terme.
plan de protection des transports
Transport sur courte distance : envelopper de mousse absorbant les chocs, fixer dans un cadre rigide et maintenir l'accélération en dessous de 2 g.
Transport longue distance : L’appareil doit être emballé sous vide et rempli d’azote sec. À réception, il convient de le laisser reposer 24 heures afin que la température s’équilibre avant de le déballer, pour éviter que la condensation n’affecte sa précision.
5. Prédiction des pannes : Techniques d’identification précoce des problèmes
Inspection visuelle : Examinez régulièrement la surface à l’aide d’une loupe grossissante de 40x. La présence de rayures continues ou d’une diminution importante du brillant peut indiquer une baisse de la précision.
Détection sonore : Tapotez légèrement la plateforme. Si le son devient rauque (il devrait normalement être clair), il se peut qu’il y ait des microfissures à l’intérieur. Cessez immédiatement de l’utiliser pour effectuer une vérification.
Grâce à ce système de maintenance, la plateforme en granit ZHHIMG® conserve une planéité de ±1 μm/m pendant 10 ans, soit plus de trois fois la durée de vie des plateformes mal entretenues. L'expérience a démontré qu'après l'adoption de cette solution par une usine de semi-conducteurs, la fréquence d'étalonnage de la plateforme a été réduite de moitié et les coûts de maintenance annuels ont été réduits de plus de 150 000 yuans.
Date de publication : 18 juin 2025