La plateforme en granit, outil de référence pour la mesure et le traitement précis, a un impact direct sur la qualité de la production. Ce qui suit présente un plan de maintenance systématique couvrant le contrôle environnemental, l'entretien quotidien et l'étalonnage professionnel afin de garantir une précision nanométrique durable.
1. Contrôle environnemental : Construisez une barrière de protection de précision
Gestion de la température et de l'humidité
La température ambiante de travail doit être stabilisée à 20 ± 1 °C. Toute variation de 1 °C entraînera une déformation thermique de la plateforme en granit de 0,5 à 1 μm/m. Un système de régulation de température peut être installé dans l'atelier afin d'éviter que les bouches d'aération de la climatisation ne soufflent directement sur la plateforme.
L'humidité doit être maintenue entre 40 % et 60 %. Une humidité excessive peut facilement provoquer la rouille des pièces métalliques, tandis qu'une humidité trop faible peut entraîner des interférences d'électricité statique lors des mesures.
Isolation des vibrations
La plateforme doit être tenue à l'écart des sources de vibrations telles que les machines d'emboutissage et les fraiseuses. Il est recommandé de maintenir une distance de plus de 3 mètres avec les équipements vibrants.
Si les vibrations ne peuvent être évitées, des amortisseurs à ressort pneumatique peuvent être installés au bas de la plate-forme pour réduire l'impact des vibrations environnementales sur la planéité de la plate-forme (ce qui peut réduire les vibrations externes de plus de 80 %).
2. Entretien quotidien : Contrôle méticuleux du nettoyage à la protection
Spécifications de nettoyage de surface
Dépoussiérage : Essuyez la surface avec une peau de cerf ou un chiffon non pelucheux dans le même sens chaque jour pour éviter que les particules de poussière (≥ 5 μm) ne rayent la plateforme. Les taches tenaces peuvent être essuyées délicatement avec de l'éthanol anhydre (pureté ≥ 99,7 %). Les solvants puissants comme l'acétone sont à proscrire.
Dégraissage : En cas de contact avec des taches d'huile, essuyez-le avec un nettoyant neutre dilué, puis rincez à l'eau déionisée et laissez sécher à l'air libre pour éviter que l'huile minérale ne pénètre dans les minuscules pores de la plateforme.
Protection contre les charges et les collisions
La capacité de charge de la plate-forme doit être contrôlée à 70 % de la charge nominale (par exemple, pour une plate-forme de 1 000 kg, il est recommandé que la charge soit ≤ 700 kg) pour éviter une déformation permanente causée par une surcharge locale.
Il est strictement interdit de heurter les pièces sur la plateforme. Lors de la manipulation des outils, portez des gants souples pour éviter que des objets tranchants ne rayent la surface (des rayures d'une profondeur supérieure à 20 μm affecteront la mesure du trajet lumineux réfléchi).
3. Étalonnage professionnel : le cœur du maintien scientifique de la précision
Réglage du cycle d'étalonnage
Scénarios d'utilisation conventionnels : Calibrer une fois par trimestre et utiliser un interféromètre laser pour détecter la planéité (avec une précision de ±0,5 μm/m).
Utilisation haute fréquence ou environnements difficiles : étalonnage mensuel, en mettant l'accent sur la surveillance des zones sensibles à la température (comme le bord de la plateforme à proximité des sources de chaleur).
Traitement post-étalonnage
En cas d'écart de planéité (> ± 1 μm/m), la surface doit être rectifiée et réparée par un technicien professionnel à l'aide d'une micropoudre W1.5. L'auto-ponçage au papier de verre est strictement interdit.
Après l'étalonnage, les données doivent être enregistrées et archivées, et une courbe d'atténuation de la précision de la plate-forme doit être établie pour prévoir à l'avance les besoins de maintenance.
4. Stockage et transport : éviter les pertes de précision cachées
Points clés pour le stockage à long terme
Lors du stockage, il convient de la recouvrir d'une housse étanche à l'humidité et à la poussière. Le fond doit être soutenu par trois points (le point d'appui étant situé aux 2/9 de la longueur de la plateforme) afin d'éviter toute déformation due à la gravité (une plateforme d'un mètre peut s'affaisser de 0,3 μm en raison d'un appui ponctuel prolongé).
Déplacez régulièrement (mensuellement) la position des points de support de la plateforme pour éviter une pression locale à long terme.
Plan de protection des transports
Transport courte distance : Envelopper avec de la mousse absorbant les chocs, fixer dans un cadre rigide et maintenir l'accélération à moins de 2 g.
Transport longue distance : l'appareil doit être emballé sous vide et rempli d'azote sec. Après réception, il doit être laissé au repos pendant 24 heures jusqu'à ce que la température atteigne l'équilibre avant d'être déballé afin d'éviter que la condensation n'affecte la précision.
5. Prédiction des pannes : techniques d'identification précoce des problèmes
Inspection visuelle : Observez régulièrement la surface avec une loupe grossissante 40x. La présence de rayures continues ou d'une baisse significative de brillance peut indiquer une baisse de précision.
Détection du son : Tapotez doucement la plateforme. Si le son devient rauque (normalement, il devrait être clair), il est possible que des microfissures soient présentes à l'intérieur. Cessez immédiatement de l'utiliser pour détecter le son.
Grâce à ce système de maintenance, la plateforme en granit ZHHIMG® peut conserver une planéité de ±1 μm/m pendant 10 ans, soit plus de trois fois la durée de vie de précision des plateformes mal entretenues. L'expérience a démontré qu'après l'adoption de cette solution par une usine de semi-conducteurs, la fréquence d'étalonnage de la plateforme a été réduite de 50 % et les coûts de maintenance annuels ont été économisés de plus de 150 000 yuans.
Date de publication : 18 juin 2025