Le granit est une roche naturelle utilisée depuis longtemps dans la fabrication d'équipements de traitement de plaquettes. Il est reconnu pour ses excellentes propriétés : faible dilatation thermique, grande rigidité et bonne stabilité. Cependant, comme tout matériau, le granit présente des défauts susceptibles d'affecter la qualité des équipements de traitement de plaquettes.
L'un des principaux défauts du granit est sa tendance à se fissurer ou à se briser. Ceci est dû à la présence de microfissures qui peuvent se former lors de la formation de la roche. Si ces microfissures ne sont pas détectées et traitées correctement, elles peuvent se propager et entraîner la défaillance de l'équipement. Pour éviter cela, les fabricants d'équipements de traitement doivent utiliser un granit de haute qualité, traité et testé afin de garantir l'absence de microfissures.
Un autre défaut du granit est sa sensibilité à la corrosion. Au contact d'environnements corrosifs, les équipements en granit peuvent se dégrader progressivement, ce qui peut les endommager ou entraîner un dysfonctionnement. Pour éviter cela, les fabricants doivent s'assurer que le granit utilisé dans leurs équipements est correctement traité et revêtu afin de prévenir toute corrosion.
Le granit est également sujet à la déformation au fil du temps en raison de ses propriétés thermiques intrinsèques. En effet, son coefficient de dilatation thermique est très faible, ce qui signifie qu'il ne se dilate ni ne se contracte que très peu sous l'effet des variations de température. Cependant, même une légère dilatation ou contraction peut entraîner une déformation de l'équipement à terme. Il est donc essentiel que le fabricant prenne en compte les propriétés thermiques du granit lors de la conception de son équipement afin de prévenir ce défaut.
Enfin, la porosité du granit peut engendrer des problèmes de contamination. Si le granit n'est pas correctement scellé, il peut absorber des contaminants susceptibles d'altérer la qualité de la plaquette. Ceci peut entraîner des arrêts de production coûteux et des pertes de production. Pour éviter cela, les fabricants doivent sceller correctement le granit afin d'empêcher toute absorption de contaminants.
En conclusion, le granit est un excellent matériau pour les équipements de traitement des plaquettes. Toutefois, il est important de connaître ses défauts et de prendre les précautions nécessaires pour les prévenir. Avec un entretien et des soins appropriés, les équipements en granit peuvent fonctionner pendant de nombreuses années et fournir des plaquettes de haute qualité à l'industrie des semi-conducteurs.
Date de publication : 27 décembre 2023