Dans la course à la nanoprécision qui caractérise la fabrication des semi-conducteurs, la moindre erreur lors de la découpe des plaquettes peut rendre une puce inutilisable. Le socle en granit, véritable pilier de l'industrie, garantit une précision de positionnement répétitive de ±5 µm et redéfinit les règles de la fabrication de précision grâce à ses trois propriétés exceptionnelles.
Le « support de stabilisation » contre la déformation thermique : Le coefficient de dilatation thermique du granit est extrêmement faible (5 à 7 × 10⁻⁶/°C), soit seulement un tiers de celui des métaux. Sous l’effet de la chaleur générée par le fonctionnement à grande vitesse des équipements de découpe de plaquettes, les matériaux ordinaires se déforment en raison de la dilatation et de la contraction thermiques, ce qui entraîne un déplacement de la tête de découpe. En revanche, la base en granit reste parfaitement stable, éliminant ainsi tout écart de positionnement dû à la déformation thermique et garantissant une précision optimale.
Le « bouclier silencieux » de l'absorption des vibrations : Le vrombissement constant des machines-outils et les vibrations continues des équipements d'atelier peuvent nuire gravement à la précision. La structure cristalline unique du granit agit comme un amortisseur naturel, capable de convertir rapidement les vibrations externes et mécaniques générées par le fonctionnement des équipements en énergie thermique pour leur dissipation. Alors que d'autres supports oscillent encore sous l'effet des vibrations, le support en granit offre une plateforme stable à la tête de coupe, la maintenant parfaitement immobile et permettant ainsi une précision de ±5 µm.
« Forteresse éternelle » résistante à la corrosion : Les ateliers de semi-conducteurs regorgent de substances corrosives telles que les solutions de gravure et les nettoyants acides et alcalins. Dans un tel environnement, les supports métalliques rouillent et se déforment progressivement. Le granit, grâce à sa stabilité chimique intrinsèque, ne réagit absolument pas avec ces substances. Quelle que soit la durée d’utilisation, il conserve son intégrité structurelle et garantit une découpe de haute précision en continu.
Du choix des matériaux à l'usinage ultra-précis, le socle en granit a démontré, par sa robustesse, que tous les matériaux ne peuvent relever les défis extrêmes de la fabrication des semi-conducteurs. C'est précisément grâce à ces avantages naturels irremplaçables que les socles en granit sont devenus indispensables aux équipements de découpe de plaquettes pour atteindre une précision de positionnement répétable de ±5 µm, et ont incité l'industrie des semi-conducteurs à progresser sans cesse vers une précision toujours plus grande.
Date de publication : 14 mai 2025